技术特征：
1.用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，其特征在于，包括：覆膜系统(1)，所述覆膜系统(1)包括布置有反应腔的容器(11)、布置在反应腔内部的镀膜组件、开设在容器(11)表面的至少一个第一豁口和与第一豁口对应设置的可以开关闭合的观察窗(12)；架体(2)，所述架体(2)包括柱体(22)和在柱体(22)表面布置的至少一个沿柱体(22)侧边设置的凸起(23)，所述凸起(23)开设有多个豁槽，硅片放置在凸起(23)位置处，硅片与所述豁槽对应设置；轨迹系统(3)，所述轨迹系统(3)包括在第一豁口二侧布置的第一轨道(31)和第二轨道(32)，第一轨道(31)在反应腔外部设置，第二轨道(32)在反应腔内部设置；载具(4)，布置为沿所述轨迹系统(3)移动往返于架体(2)和反应腔外部空间之间，所述载具(4)包括移动部件、在移动部件上设置的升降组件(43)和连接所述升降组件(43)的板体(44)；其中，所述升降组件(43)带动所述板体(44)运动，板体(44)与凸起(23)的数目相同，当板体(44)运动到架体(2)位置处时，所述板体(44)与所述豁槽对齐设置。2.如权利要求1所述的用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，其特征在于，所述容器(11)呈圆柱状设计，所述容器(11)侧壁周向等间距开设有五个第一豁口，所述柱体(22)侧壁周向等间距开设有五个豁槽。3.如权利要求1所述的用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，其特征在于，所述架体(2)还包括驱动系统(21)，所述驱动系统(21)带动所述柱体(22)旋转。4.如权利要求1所述的用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，其特征在于，所述观察窗(12)用于密封第一豁口，设置有驱动组件自动开关或开启观察窗(12)。5.如权利要求4所述的用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，其特征在于，所述移动部件包括外壳(41)、带动外壳(41)运动的轮体(42)和驱动轮体(42)运动的动力驱动系统。6.如权利要求5所述的用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，其特征在于，所述升降组件(43)包括第一板体、上下滑动连接第一板体的第二板体和驱动所述第二板体沿第一板体运动的伸缩设备。
技术总结
本实用新型公开了用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，涉及perc电池加工技术领域，其结构包括覆膜系统，覆膜系统包括布置有反应腔的容器、布置在反应腔内部的镀膜组件、开设在容器表面的至少一个第一豁口和与第一豁口对应设置的可以开关闭合的观察窗；架体，架体包括柱体和在柱体表面布置的至少一个沿柱体侧边设置的凸起，凸起开设有多个豁槽，硅片放置在凸起位置处；轨迹系统包括在第一豁口二侧布置的第一轨道和第二轨道，第一轨道在反应腔外部设置，第二轨道在反应腔内部设置；载具布置为沿轨迹系统移动往返于架体和反应腔外部空间之间，相比于现有技术，本实用新型可以通过快速的将硅片放置在设备内进行覆膜，覆膜效率高，减轻工作人员负担。减轻工作人员负担。减轻工作人员负担。
技术研发人员：何飞 蔡鹏 李亚楠
受保护的技术使用者：江苏宏润光电科技有限公司
技术研发日：2021.07.22
技术公布日：2022/1/14