一调节板20固定在底座10上；当第二调节板30在Y方向调整后，还可以通过第二腰孔310和第二固定孔230将第二调节板30固定在第一调节板20上，装配简单灵活。
[0033]如图1所示，在本实施例中，第一腰孔220和第一固定孔120、第二腰孔310和第二固定孔230均通过固定螺丝80进行锁紧。
[0034]如图1至图3、图5和图6所示，在本实施例中，第一调节机构40包括第一螺杆410、第一调节螺母420和第一锁紧螺母430，底座10设有与第一螺杆410配合的第一通孔130，第一调节板20设有与第一螺杆410配合的第一螺纹孔240，第一螺杆410 —端与第一调节螺母420连接，另一端穿过第一通孔130后套设于第一螺纹孔240内，第一锁紧螺母430位于第一间隙60内、并套设于第一螺杆410上。通过转动第一调节螺母420来带动第一螺杆410在X方向的移动，同时带动第一调节板20在X方向的移动，操作简单快捷。当第一调节板20在X方向的调整完成后，通过第一调节螺母420和第一锁紧螺母430对第一螺杆410进行固定，防止在研磨过程中，第一螺杆410发生移动，保证芯片分离制样固定装置工作的稳定性。第一调节机构40还可以根据实际需要设置为其他可以驱动第一调节板20移动的其他结构。
[0035]在本实施例中，第一螺纹孔240位于其所在第一调节板20侧面的中心位置，第一螺纹孔240还可以根据实际需要设置在其他位置。
[0036]如图1所示，芯片分离制样固定装置还包括与底座10固定连接的限位架90，限位架90的横截面呈“几”字型，限位架90和所述底座10之间配合形成限位腔910，限位腔910内容纳有第一调节螺母420。通过限位架90防止第一螺杆410在X方向往第一调节螺母420 一侧的过度移动，保证第一调节板20始终套设在第一螺杆410上。
[0037]如图1和图7，第二调节板30的外周设有第一开口 320，第一螺杆410远离第一调节螺母420的一端位于第一开口 320内。通过第二调节板30位于第一开口 320内的外周防止第一螺杆410在X方向往第二调节板30 —侧的过度移动，保证第一调节螺母420始终套设在第一螺杆410上。
[0038]如图1、图4、图6和图7所示，第二调节机构50包括第二锁紧螺母510、第二螺杆520、及位于第一间隙60内的第二调节螺母530，第一调节板20设有与第二螺杆520配合的第二通孔260，第二调节板30设有与第二螺杆520配合的第二螺纹孔330，第二螺杆520 —端与第二调节螺母530连接，另一端穿过第二通孔260后套设于第二螺纹孔330内，第二锁紧螺母510位于第二间隙70内、并套设于第二螺杆520上。通过转动第二调节螺母530来带动第二螺杆520在Y方向的移动，同时带动第二调节板30在Y方向的移动，操作简单快捷。当第二调节板30在Y方向的调整完成后，通过第二调节螺母530和第二锁紧螺母510对第二螺杆520进行固定，防止在研磨过程中，第二螺杆520发生移动，保证芯片分离制样固定装置工作的稳定性。第二调节机构50还可以根据实际需要设置为其他可以驱动第二调节板30移动的其他结构。
[0039]在本实施例中，第二螺纹孔330位于其所在第二调节板30侧面的中心位置，第二螺纹孔330还可以根据实际需要设置在其他位置。
[0040]如图1和图6所示，第一调节板20的外周设有第二开口 250，第二调节螺母530位于所述第二开口 250内。将第二调节螺母530收纳于第二开口 250内，保证第一调节板20在X方向移动的时候，第二调节螺母530不会和底座10之间发生干涉。
[0041]在本实施例中，如图1所示，第一调节螺母420、第一锁紧螺母430、第二调节螺母530、第二锁紧螺母510的外周均开有滚花，便于对螺母的转动。第一调节螺母420和第二调节螺母530还可以根据实际需要在第一调节螺母420和第二调节螺母530的外周设有刻度线，使对样品的调整更准确。
[0042]本发明通过第一调节机构40和第二调节机构50分别对第一调节板20和第二调节板30进行调整，在研磨过程中，发现研磨区域偏离所需要暴露的范围时，则通过第一调节机构40调整第一调节板20在X方向上的移动，同时带动第二调节板30上的样品在X方向的移动，同时还可以通过第二调节机构50调整第二调节板30在Y方向上的移动，重新调整样品的研磨区域，无需再通过调整钻头和融化热熔蜡的情况对样品进行调整，操作方便，且可以对样品在X方向和Y方向的偏离位置进行调整，调整准确，保证芯片在研磨过程中不会造成损坏。
[0043]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0044]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种芯片分离制样固定装置，其特征在于，包括底座、第一调节板、第二调节板、第一调节机构和第二调节机构，所述底座设有第一安装槽，所述第一调节板位于所述第一安装槽内，所述第一调节板的外周与所述第一安装槽之间存在第一间隙，所述第一调节板设有与所述第二调节板配合的第二安装槽，所述第二调节板的外周与所述第二安装槽之间存在第二间隙，所述第一调节机构驱动所述第一调节板沿X方向移动，所述第二调节机构驱动所述第二调节板沿Y方向移动，所述Y方向与所述X方向相互垂直。
2.根据权利要求1所述的芯片分离制样固定装置，其特征在于，所述第一调节机构包括第一螺杆和第一调节螺母，所述底座设有与所述第一螺杆配合的第一通孔，所述第一调节板设有与所述第一螺杆配合的第一螺纹孔，所述第一螺杆一端与所述第一调节螺母连接，另一端穿过所述第一通孔后套设于所述第一螺纹孔内。
3.根据权利要求2所述的芯片分离制样固定装置，其特征在于，所述第一调节机构还包括第一锁紧螺母，所述第一锁紧螺母位于所述第一间隙内、并套设于所述第一螺杆上。
4.根据权利要求2所述的芯片分离制样固定装置，其特征在于，还包括与所述底座固定连接的限位架，所述限位架和所述底座之间配合形成限位腔，所述限位腔内容纳有所述第一调节螺母。
5.根据权利要求2所述的芯片分离制样固定装置，其特征在于，所述第二调节板的外周设有第一开口，所述第一螺杆远离所述第一调节螺母的一端位于所述第一开口内。
6.根据权利要求1所述的芯片分离制样固定装置，其特征在于，所述第二调节机构包括第二螺杆、及位于所述第一间隙内的第二调节螺母，所述第一调节板设有与所述第二螺杆配合的第二通孔，所述第二调节板设有与所述第二螺杆配合的第二螺纹孔，所述第二螺杆一端与所述第二调节螺母连接，另一端穿过所述第二通孔后套设于所述第二螺纹孔内。
7.根据权利要求6所述的芯片分离制样固定装置，其特征在于，所述第二调节机构还包括第二锁紧螺母，所述第二锁紧螺母位于所述第二间隙内、并套设于所述第二螺杆上。
8.根据权利要求6所述的芯片分离制样固定装置，其特征在于，所述第一调节板的外周设有第二开口，所述第二调节螺母位于所述第二开口内。
9.根据权利要求1至8任一项所述的芯片分离制样固定装置，其特征在于，所述第一安装槽、所述第二安装槽、所述第一调节板和所述第二调节板的横截面均呈“T”字型。
10.根据权利要求9所述的芯片分离制样固定装置，其特征在于，所述第一调节板设有第一腰孔，所述底座设有与所述第一腰孔配合的第一固定孔，第二调节板设有第二腰孔，所述第一调节板设有与所述第二腰孔配合的第二固定孔。
【专利摘要】本发明涉及一种芯片分离制样固定装置，包括底座、第一调节板、第二调节板、第一调节机构和第二调节机构，底座设有第一安装槽，第一调节板位于第一安装槽内，第一调节板的外周与第一安装槽之间存在第一间隙，第一调节板设有与第二调节板配合的第二安装槽，第二调节板的外周与第二安装槽之间存在第二间隙，第一调节机构驱动第一调节板沿X方向移动，第二调节机构驱动第二调节板沿Y方向移动，Y方向与X方向相互垂直。在研磨过程中，发现研磨区域偏离所需要暴露的范围时，则通过第一调节机构调整第一调节板在X方向上的移动，还可以通过第二调节机构调整第二调节板在Y方向上的移动，重新调整样品的研磨区域，调整方便且准确，保证芯片不会损坏。
【IPC分类】G01N1-28, B24B37-30
【公开号】CN104625946
【申请号】CN201510009394
【发明人】林晓玲, 梁朝辉
【申请人】工业和信息化部电子第五研究所
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2015年1月7日