真空泵36的泵功率。第三节流阀也是可调整的。第三流体洗涤器37处于第三真空泵36下游。
[0037]在图3所示的第三实施例，不同于第一实施例只使用一个真空泵16。唯一的真空泵16布置在这两个节流阀15、25的下游。一个共用的流体洗涤器17处于真空泵16的下游
[0038]在图4所示的第四实施例中，真空泵16、26处于净化机构18、28的上游，但在供气位置12、22的下游。在此，真空泵16、26以恒定的泵功率进行泵送。在此，截止阀11、21下游压力通过改变两个补偿气体的质量流进行调节。
[0039]在图4所示的实施例中，可以作相反的改变，在真空泵16的上游或真空泵26的上游，但在测量总压力P^P洒测量点的下游，可以布置节流阀11，21，以此可由控制装置9调节总压力。
[0040]在图5所示的实施例中、在唯一的真空泵16的上游仅使用一个可调节的节流阀15。采用这个节流阀15基本上可以只影响第一废气装置10的总压力。第二废气装置20具有调节到固定值上的节流阀25。在此，还在供气位置12、22上提供由调节器9调节的补偿气体，以便可以调整尤其与废气管道5分离的废气装置中的总压力。
[0041]上述实施方式用于阐述在申请中整体包含的发明，该发明至少通过以下特征组合分别独立地扩展了现有技术，即:
[0042]一种设备，其特征在于，在彼此不同的处理步骤中能够向反应器3内输入彼此不同的处理气体，并且所述反应器3具有废气管道5，在彼此不同的处理步骤中通过所述废气管道5能够将彼此不同的废气导出所述反应器3，所述设备还具有第一废气装置10，所述第一废气装置10借助阀门装置11、21能够与所述废气管道5流动连接并与之断开，所述设备还具有第一净化机构18，用于处理在彼此不同的处理步骤的第一处理步骤中产生的废气，所述设备还具有布置在所述阀门装置11、21和所述第一净化机构18之间的第一供气装置12，用于供给第一补偿气体，所述设备还具有第一压力传感器13，用于获取所述第一废气装置10中的第一总压力Pf，并且所述设备还具有第二废气装置20，所述第二废气装置20借助所述阀门装置11、21能够与所述废气管道5流动连接并与之断开，所述设备还具有第二净化机构28，用于处理在彼此不同的处理步骤的第二处理步骤中产生的废气，所述设备还具有布置在所述阀门装置11、21和所述第二净化机构28之间的第二供气装置22，用于供给第二补偿气体，所述设备还具有第二压力传感器23，用于获取所述第二废气装置20中的第二总压力Pt，其中，设有控制装置9，所述控制装置9的调节量是第一废气装置10中的总压力匕与第二废气装置20中的总压力Pt之间的压力差，并且如此设置所述控制装置9，使得至少在所述阀门装置11、21转换时将该压力差调整到零。
[0043]一种的方法或控制程序，为了运行反应器3，在彼此不同的处理步骤中向所述反应器3内输入彼此不同的处理气体，并且其中，在彼此不同的处理步骤中通过废气管道5将彼此不同的废气导出所述反应器3，其中，在第一处理步骤中第一废气装置10借助阀门装置11、21与所述废气管道5流动连接，并且至少一个第二废气装置20与所述废气管道5断开，其中，第一废气通过第一废气装置10的第一净化机构18处理，并且借助尤其具有第一质量流调节器12'的第一供气装置12在所述阀门装置11、21和所述第一净化机构18之间供给第一补偿气体，并且通过第一压力传感器13获取所述第一废气装置10中的总压力PF，其中，在第二处理步骤中第二废气装置20借助阀门装置11、21与所述废气管道5流动连接，并且至少所述第一废气装置10与所述废气管道5断开，其中，第二废气通过第二废气装置20的第二净化机构28处理，并且借助尤其具有第二质量流调节器22'的第二供气装置22在所述阀门装置11、21和所述第二净化机构28之间供给第二补偿气体，并且通过第二压力传感器23获取所述第二废气装置20中的总压力Ρτ，其中，借助控制装置9至少在所述阀门装置转换时将第一废气装置10中的总压力PF与第二废气装置20中的总压力P:之间的压力差调整到零。
[0044]一种设备或方法，其特征在于，第一或第二补偿气体分别是惰性气体、尤其氮气。
[0045]一种设备或方法，其特征在于，所述控制装置9的执行机构是质量流调节器12'、22r和/或一个或多个布置在泵16、26上游的节流阀16、26。
[0046]一种设备或方法，其特征在于，所述第一净化机构18是过滤器和/或所述第二净化机构28是冷却塔。
[0047]用于控制方法流程的控制装置，其特征在于，处理步骤、尤其第一处理步骤是基板覆层步骤，其中，向所述反应器3内输入尤其氢化物、尤其NH3。
[0048]控制装置，其特征在于，处理步骤、尤其第二处理步骤是清洗步骤，其中，向所述反应器3内输入清洗气体、尤其是含有卤素、尤其(:12的气体。
[0049]一种设备或方法，其特征在于，借助所述阀门装置11、21能够与所述废气管道5流动连接并与之断开的第三废气装置30，所述第三废气装置30具有第三净化机构38，所述第三废气装置30还具有尤其具备第三质量流调节器32'的第三供气装置32，用于供给第三补偿气体，并且所述第三废气装置30还具有第三压力传感器33，用于获取所述第三废气装置30中的总压力，其中，所述控制装置9将所述第三废气装置30中的总压力调整到所述第一或第二废气装置10、20中的总压力。
[0050]一种设备或方法，其特征在于，所有废气装置10、20、30分别具有节流阀15、25、35和/或至少一个废气装置10、20、30没有节流阀15、25、35。
[0051]—种设备或方法，其特征在于，所述阀门装置11、21、31具有两个或三个能够独立转换的单个阀门11、21、31，它们在上游与所述废气管道5相连接并且在下游与所述废气装置10、20、30相连接。
[0052]—种设备或方法，其特征在于，所述压力传感器13、23、33布置在所述净化机构18、28、38的上游并且尤其布置在供气装置12、22、32和净化机构18、28、38之间。
[0053]一种设备或方法，其特征在于，布置在所述净化机构18、28、38下游的另外的压力传感器13' ,23r ,33r，用于获取废气装置10、20、30中的总压力。
[0054]—种设备或方法，其特征在于，每个废气装置10、20、30均具有沿流动方向布置在各自的真空泵16、26、36后面的气体净化装置17、27、37。
[0055]用于控制方法流程的控制装置，其特征在于，当进行第一处理步骤时，由控制装置9尤其通过改变节流阀15的阀位，将由压力传感器4获取的处理室压力Pk保持在额定值上，在从第一处理步骤向第二处理步骤转换之前，将所述第一废气装置10的总压力Pf和所述第二废气装置20的总压力Pt分别调整到同一个额定值上，在这两个废气装置10、20中的总压力PF、匕稳定之后，首先打开所述阀门装置的使所述第二废气装置20与所述废气管道5相连接的截止阀21，并且随后关闭所述阀门装置的使所述第一废气装置10与所述废气管道5相连接的截止阀11，并且之后，所述控制装置9通过改变节流阀25的阀位，将由压力传感器4获取的处理室压力Pk调整到额定值上。
[0056]所有公开的特征(本身及其相互组合)都有发明意义或发明价值。在本申请的公开文件中，所属/附属的优先权文本(在先申请文件)的公开内容也被完全包括在内，为此也将该优先权文本中的特征纳入本申请的权利要求书中。从属权利要求的特征都是对于现有技术有独立发明意义或价值的改进设计，尤其可以这些从属权利要求为基础提出分案申请。
[0057]附图标记列表
[0058]I 气源
[0059]2 气源
[0060]2'气源
[0061]3 反应器
[0062]4 压力传感器
[0063]5 废气管道
[0064]6 进气机构
[0065]7 基座
[0066]8 基板
[0067]9 控制装置
[0068]10 废气净化装置
[0069]11 截流阀/阀门装置
[0070]12 供气装置
[0071]12'质量流调节器
[0072]13压力传感器
[0073]13r压力传感器
[0074]15节流阀
[0075]16真空泵
[0076]17气体净化装置/洗涤器
[0077]18过滤器/净化机构
[0078]20废气净化装置
[0079]21截流阀/阀门装置
[0080]22供气装置
[0081]22'质量流调节器
[0082]23压力传感器
[0083]23'压力传感器
[0084]25定值节流阀/节流阀
[0085]25定值节流阀/节流阀
[0086]26真空泵
[0087]27气体净化装置/洗涤器
[0088]28冷却塔/净化机构
[0089]30废气净化装置