一种硅片喷砂机的制作方法

文档序号:9463122阅读:308来源:国知局
一种硅片喷砂机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种硅片喷砂机。
【背景技术】
[0002]硅片在生产过程中,将硅锭切割成硅片后部分硅片可能需要进行喷砂处理,以利于硅片的后续处理。
[0003]现有技术中没有专门针对硅片进行喷砂处理的装置,由于硅片生产过程中可能并不需要对所有硅片进行喷砂,因此,现有技术中对硅片进行喷砂时均在生产现场直接进行,硅片喷砂处理过程中砂料回收率低,并且,由于喷砂时没有防护措施,硅片的喷砂过程对环境影响大。为此,现有技术中有采用其它喷砂设备对硅片进行喷砂处理,但是现有技术中的喷砂设备结构不合理,长期使用后观察口上积聚较多的灰尘,观察口清洁不方便,造成操作人员无法直观地观察喷砂过程,影响硅片的喷砂质量。

【发明内容】

[0004]本发明提供的一种硅片喷砂机,旨在克服现有技术中喷砂设备结构不合理、观察口清洁不方便的不足。
[0005]为了解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:一种硅片喷砂机,包括箱体,所述箱体内设有将箱体分为上腔和下腔的隔板,所述隔板上开设有排砂口,所述箱体上开设有取放窗口,所述箱体上还开设有观察窗口,所述取放窗口和观察窗口均与上腔相通,所述箱体上还固定有封闭观察窗口的亚克力板,所述箱体上设有封闭取放窗口的密封板,所述箱体上开设有放置亚克力板的装配槽,所述装配槽内固定有将亚克力板压紧在装配槽内的压紧框,所述压紧框通过压紧螺钉固定在箱体上,所述亚克力板上卡接有密封圈,所述密封圈上开设有与亚克力板配合的卡槽,所述卡槽的侧壁与亚克力板之间涂设有粘接层,所述亚克力板上还固定有便于取下亚克力板的提手;所述密封板通过合页转动连接在箱体上,所述密封板上设有与取放窗口配合的凸块,所述凸块与密封板为一体式结构,所述取放窗口的侧壁上卡接有密封垫圈,所述密封垫圈上开设有卡口,所述卡口的侧壁与取放窗口的侧壁之间涂有粘接层,所述密封板上固定有便于打开密封板的把手;该硅片喷砂机还包括喷枪,所述喷枪位于上腔内,所述下腔内固定有喷砂器,所述排砂口与喷砂器之间通过排砂管连接,所述喷砂器通过喷砂管与喷枪连接,所述隔板上开设有穿设喷砂管的通孔,所述喷砂器包括控制开关,所述控制开关位于上腔内,所述控制开关固定在隔板上,所述箱体上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口,所述手持窗口上固定有封闭手持窗口的手套,所述手套位于上腔内。
[0006]上述构成中,箱体上开设有装配槽,亚克力板固定在装配槽内,并且由压紧框将亚克力板压紧在装配槽内,位于箱体上的观察窗口由亚克力板封闭,并且,亚克力板上还卡接有密封圈,长期使用后,需要对亚克力板进行清洁时,可以方便地将压紧框取出,然后利用提手将亚克力板拆下进行清洗,卡接于亚克力板边缘处的密封圈还可以起到保持亚克力板的作用,避免在清洗时损坏压克力板。
[0007]—种可选的方案,所述箱体上在位于取放窗口的下侧处还固定有放置产品的放置板,所述放置板通过螺栓固定在箱体上,所述放置板与箱体之间固定有支撑肋,所述放置板上开设有避免产品滑落的放置槽。在箱体上固定放置板更有利于操作人员对密封板进行操作,使用方便;放置板上开设放置槽可以避免产品滑落。
[0008]—种可选的方案,所述隔板的形状为利于砂料进入排砂口的漏斗状,所述箱体上焊接有固定隔板的凸棱,所述隔板上设置有搭接在凸棱上的挡肩,所述凸棱与挡肩之间设有垫片,所述挡肩通过固定螺钉固定在凸棱上。将隔板设置为漏斗状,便于砂料集中至排砂口,提高了砂料的回收利用率;另外,利用焊接在箱体上的凸棱对隔板进行固定,隔板固定效果好,垫片的设置避免了砂料泄漏,进一步提高了砂料的回收利用率。
[0009]与现有技术相比,本发明提供的一种硅片喷砂机,具有如下优点:箱体上开设有放置亚克力板的装配槽,亚克力板放置在装配槽内以后由压紧框对亚克力板进行压紧,亚克力板上卡接有密封圈以提高亚克力板的密封性能,密封圈可以避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境,长期使用后,封闭观察窗口的亚克力板上可能积聚较多的杂物,影响操作人员的视线,此时,操作人员可以方便地松开压紧框,然后利用提手将亚克力板拆下进行清洗,清洗完毕后再将亚克力板装配至装配槽内,操作十分方便;
[0010]另外,取放窗口的侧壁上固定有密封垫圈,并且在密封板上设有凸块,凸块插入取放窗口内与密封垫圈紧密贴合,可以良好地将取放窗口封闭,避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境,优化了喷砂机的使用性能。
【附图说明】
[0011]附图1是本发明一种硅片喷砂机的主视图;
[0012]附图2是附图1中A-A处剖视图;
[0013]附图3是附图1中B-B处剖视图;
[0014]附图4是附图2中C处放大图。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图,对本发明的一种硅片喷砂机作进一步说明。如图1、图2、图3、图4所示,一种硅片喷砂机,包括箱体1,所述箱体I内设有将箱体I分为上腔2和下腔3的隔板4,所述隔板4上开设有排砂口 5,所述隔板4的形状为利于砂料进入排砂口 5的漏斗状,所述箱体I上焊接有固定隔板4的凸棱28,所述隔板4上设置有搭接在凸棱28上的挡肩,所述凸棱28与挡肩之间设有垫片29,所述挡肩通过固定螺钉固定在凸棱28上;喷砂过程中只有少量的砂料会保留在硅片上,大部分砂料会掉落在隔板4上,然后汇聚至排砂口 5,经排砂口 5排出回收利用;
[0016]参见图1,所述箱体I上开设有取放窗口 6,取放窗口 6用于对产品进行取放操作,所述箱体I上还开设有观察窗口 7,观察窗口 7用于对喷砂过程进行观察,所述取放窗口 6和观察窗口 7均与上腔2相通,所述箱体I上还固定有封闭观察窗口 7的亚克力板8,所述箱体I上设有封闭取放窗口 6的密封板9,参见图1、图2、图4,所述箱体I上开设有放置亚克力板8的装配槽10,所述装配槽10内固定有将亚克力板8压紧在装配槽10内的压紧框11,所述压紧框11通过压紧螺钉固定在箱体I上,所述亚克力板8上卡接有密封圈12,所述密封圈12上开设有与亚克力板8配合的卡槽,所述卡槽的侧壁与亚克力板8之间涂设有粘接层,所述亚克力板8上还固定有便于取下亚克力板8的提手13 ;对亚克力板8进行清洁时
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