一种硅片喷砂装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种硅片喷砂装置。
【背景技术】
[0002]硅片在生产过程中，将硅锭切割成硅片后部分硅片可能需要进行喷砂处理，以利于硅片的后续处理。
[0003]现有技术中没有专门针对硅片进行喷砂处理的装置，由于硅片生产过程中可能并不需要对所有硅片进行喷砂，因此，现有技术中对硅片进行喷砂时均在生产现场直接进行，硅片喷砂处理过程中砂料回收率低，并且，由于喷砂时没有防护措施，硅片的喷砂过程对环境影响大。
【发明内容】
[0004]本发明提供的一种硅片喷砂装置，旨在克服现有技术中硅片喷砂处理过程中砂料回收率低、喷砂过程对环境污染严重的不足。
[0005]为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案:一种硅片喷砂装置，包括箱体，所述箱体内设有将箱体分为上腔和下腔的隔板，所述隔板上开设有排砂口，所述箱体上开设有取放窗口，所述箱体上还开设有观察窗口，所述取放窗口和观察窗口均与上腔相通，所述箱体上还固定有封闭观察窗口的亚克力板，所述箱体上设有封闭取放窗口的密封板，所述箱体上焊接有两根对密封板进行定位的立柱，所述立柱分别位于取放窗口的两侧，所述立柱上开设有供密封板上、下滑动的滑槽，所述取放窗口的下端固定有对密封板进行限位的限位台，所述限位台上开设有容纳密封板的容纳槽，所述上腔的顶壁上还固定有照明灯，所箱体上还固定有控制照明灯的照明开关，该硅片喷砂装置还包括喷枪，所述喷枪位于上腔内，所述下腔内固定有喷砂器，所述排砂口与喷砂器之间通过排砂管连接，所述喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，所述隔板上开设有穿设喷砂管的通孔，所述喷砂器包括控制开关，所述控制开关位于上腔内，所述控制开关固定在隔板上，所述箱体上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封闭手持窗口的手套，所述手套位于上腔内。
[0006]上述构成中，箱体内设有将箱体分为上腔和下腔的隔板，在隔板上开设有排砂口，位于箱体的下腔内设有喷砂器，位于箱体的上腔内设有喷枪，喷砂器与喷枪通过喷砂管连接，打开喷砂器后喷砂器向喷枪供给砂料，将硅片置于上腔内，利用喷枪对硅片进行喷砂处理，未保留在硅片上的砂料则会由排砂口回收到喷砂器内循环使用，砂料回收率高；
[0007]另外，箱体上设有取放窗口，取放窗口被密封板封闭，箱体上焊接有对密封板进行定位的立柱，密封板滑动连接在立柱上，密封板可以良好的封闭取放窗口，避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境。
[0008]—种可选的方案，所述箱体上在位于取放窗口的两侧分别设有密封条，所述密封条的轴线与立柱的轴线平行，所述密封板上开设有与密封条配合的密封槽。箱体上设置密封条、密封板上开设密封槽，密封条与密封槽配合、密封板与滑槽配合形成迷宫式密封效果，优化了密封板的密封性能。
[0009]—种可选的方案，所述隔板上在排砂口处设有伸入下腔的凸环，所述排砂管固定在凸环上。排砂管可以套接在凸环上以后再进行固定，避免砂料由排砂口处泄漏，提高了砂料的回收利用率。
[0010]一种可选的方案，所述密封板上固定有便于操作人员打开密封板的把手，所述把手通过粘接方式固定在密封板上。把手使得密封板操作方便，操作人员打开密封板进行取、放产品时操作更加方便。
[0011]—种可选的方案，所述箱体上还开设有检修喷砂器的检修口，所述箱体上固定有封闭检修口的门体，所述门体转动连接在箱体上。箱体上开设检修口，便于喷砂器的检修；在检修口上设置门体，可以避免无关人员操作喷砂器，喷砂器工作稳定；另外，通过设置门体也可以避免喷砂器意外泄漏砂料时造成环境污染。
[0012]与现有技术相比，本发明提供的一种硅片喷砂装置，具有如下优点:在箱体内设置隔板，隔板将箱体分为上腔和下腔，喷枪、控制开关、照明灯均位于上腔内，下腔内固定有喷砂器，隔板上开设有排砂口，在下腔内设置有喷砂器，排砂口通过排砂管与喷砂器连接，喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，喷砂器对砂料进行处理后经喷砂管送至喷枪，操作人员通过取放窗口将产品置于上腔内，然后利用喷枪对产品进行喷砂处理，喷砂过程中密封板将取放窗口密封，操作人员通过手持窗口将手伸入手套内对位于上腔内的产品进行相关操作，由于控制开关位于上腔内，因此，只有在上述操作完成后操作人员才可以通过控制开关打开喷砂器，此时，取放窗口已经被密封板封闭，大大减小了喷砂过程中砂料对环境的污染，另外，排砂口通过排砂管与喷砂器相接，砂料直接进入喷砂器回收利用，大大提高了砂料的回收利用率。
【附图说明】
[0013]附图1是本发明一种硅片喷砂装置的主视图；
[0014]附图2是附图1中A-A处剖视图；
[0015]附图3是附图2中B-B处剖视图；
[0016]附图4是附图3中C处的放大图。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图，对本发明的一种硅片喷砂装置作进一步说明。如图1、图2、图3、图4所示，一种硅片喷砂装置，包括箱体1，该箱体I包括架体和焊接在架体上的钢板，所述箱体I内设有将箱体I分为上腔3和下腔4的隔板2，所述隔板2通过焊接或可拆连接的方式固定在箱体I的侧壁上，所述隔板2上开设有排砂口 5 ;排砂口 5用于回收喷砂过程中未保留在广品上的砂料；
[0018]参见图1、图2，所述箱体I上开设有取放窗口 6，操作人员利用取放窗口 6将产品放入上腔3内，或者将喷砂处理后的产品由上腔3内取出，由于喷砂过程中上腔3应保持密封状态，因此产品仅能从取放窗口 6进行取放，所述箱体I上还开设有观察窗口 7，所述取放窗口 6和观察窗口 7均与上腔3相通，观察窗口 7用于使操作人员观察喷砂过程，所述箱体I上还固定有封闭观察窗口 7的亚克力板8，当然亚克力板8也可以由其它透明的板材代替；
[0019]所述箱体I上设有封闭取放窗口 6的密封板9，该密封板9也可以采用透明板材制造，参见图2、图3、图4，所述箱体I上焊接有两根对密封板9进行定位的立柱10，所述立柱10分别位于取放窗口 6的两侧，即两根立柱10分别位于取放窗口 6相对的两侧，所述立柱10上开设有供密封板9上、下滑动的滑槽11，所述滑槽11与密封板9配合以使密封板9可以上、下滑动，所述取放窗口 6的下端固定有对密封板9进行限位的限位台12，所述限位台12上开设有容纳密封板9的容纳槽，限位台12用于对密封板9进行限位，避免密封板9在重力作用下脱离滑槽11，当然，该限位台12也可以为隔板2代替，也就是说，由隔板2限制密封板9的最低位置；
[0020]取放窗口 6由于需要与外界相通，为了保证喷