于第一组坩祸和第二组坩祸的位置处具有开口的第二和/或第三气体供应管道)可与本文所述的其他实施例(例如，参考图1至图5、或图9至图17所述的实施例)组合，只要特征不彼此矛盾即可。
[0062]一般来说，对应于蒸发装置的另一部件(诸如，坩祸)的位置被定位的开口可以依赖于另一部件的位置来定位。根据一些实施例，对应于坩祸的位置被定位的开口可以在一个方向上位于与坩祸相同的位置处，但是在另一方向上被移位。例如，开口可在第二方向上从坩祸被移位，但是在第一方向上可具有与坩祸基本上相同的位置。
[0063]在图8中所示的实施例中，坩祸可描述为以交错的方式布置，这是由于在第二方向上第一线与第二线的位移，具体而言，是由于在第一方向上第一组坩祸和第二组坩祸的附加位移。在坩祸组的每一侧上安装具有在最接近每一条气体管线的坩祸位置处的开口(所述开口可配置成充当气体喷嘴)的附加的气体管线对于改善基板上的经涂覆的层的均匀性是有益的。图8中所示的实施例的一个效果在于，对于每一组坩祸存在一条气体供应管道，从而在因来自坩祸的经蒸发的材料的量而可能不具有充分的氧化的位置处提供附加的气体(诸如，氧)。实施例的结果可以是，在涂覆之后，直接形成透明的阻挡层的均匀的外观。通过将相应定位和/或间隔开的开口提供给附加的气体供应，能以成本有效的方式来实现该结果。
[0064]交错的坩祸布置在蒸发系统中是已知的。在交错的系统中，铝在交错的坩祸布置中蒸发，并且氧被均匀地馈送至跨蒸发器的宽度的铝雾的中间。
[0065]已经发现，由于已知的系统中的交错的坩祸布置，存在着具有略不同的化学计量的A10J1的位置，从而在经涂覆的基板上导致可见的条带。虽然可见的条带对经涂覆的基板的阻挡性能不具有大的影响，但是涂覆后直接形成的视觉外观不均匀。
[0066]利用根据本文所述的实施例的蒸发装置，可避免由交错的坩祸布置导致的条带，而不需要省略这种交错的布置，这改善了成品的光学外观并提高了产品的接受度。
[0067]图9示出蒸发装置500的实施例，所述蒸发装置500包括沿第一线520的第一组坩祸510以及沿第二线590布置的第二组坩祸580。至少在第一组坩祸510与支撑基板560的基板支撑件之间之间提供第一气体供应管道530。第一气体供应管道530具有用于将气体供应至基板560的开口 535。蒸发装置500进一步包括第二气体供应管道540，所述第二气体供应管道540用于在第一组蒸发坩祸510与基板支撑件之间提供气体。在图9中所示实施例中，第二气体供应管道540的开口 550经成形并定位以通过位于沿第一方向521基本上对应于第一组坩祸510中的坩祸的位置的位置处来改善材料的沉积的均匀性。一般来说，第一气体供应管道中的开口的数量可取决于蒸发装置中存在的坩祸的数量。根据一些实施例，第二和/或第三气体供应管道中的开口的数量也可取决于坩祸的数量或相应的坩祸组中的坩祸数量。
[0068]在图9中所示的实施例中，第一气体供应管道530中的开口的数量大于第二气体供应管道540中的开口的数量，具体来说，第一气体供应管道530中的开口的数量大于第二气体供应管道中每长度单位565的开口的数量。图9中示例性地示出的长度单位565在第一方向上、在第一组i甘祸510中的两个i甘祸上延伸。
[0069]在由图9所示的实施例中，第二气体供应管道540仅在第一组坩祸510中的坩祸的位置处具有开口 550，而第一气体供应管道530在第一组坩祸510和第二组坩祸580中的坩祸的位置处都具有开口 535。因此，对于每个长度单位565，第一气体供应管道530中的开口的数量是第二气体供应管道540中的开口的数量的两倍。
[0070]然而，技术人员将会理解，图9仅示出示例，并且第一气体供应管道和第二气体供应管道的开口的关系可与所述实施例有所偏差。例如，第一气体供应管道中的开口的数量可以比第二气体供应管道中的开口的数量大三倍、四倍、或甚至是五倍或更多倍。在一个实施例中，第一气体供应管道中的开口的数量不是第二气体供应管道中的开口的数量的整数倍。例如，第二气体供应管道中的开口的数量独立于第一气体供应管道中的开口的数量，但是与每长度单位的第一气体供应管道的开口的数量不同。
[0071]根据可与本文中所述的其他实施例结合的一个实施例，第一气体供应管道中的开口可以被引导向遮蔽设备，所述遮蔽设备使得在蒸发装置的第一方向上的气体分布均匀。利用遮蔽设备，在第一气体供应管道区域中，在第一方向上跨蒸发器宽度可实现恒定的气体分布。或者，为了实现恒定的气体分布，可以在第一气体供应管道中提供多个气体开口。
[0072]根据一些实施例，长度单位可依赖于坩祸来测量，但是也可独立于坩祸来定义。例如，长度单位可以是固定值，或者可依赖于待涂覆的基板的宽度等。
[0073]图9的实施例的第二气体供应管道有助于通过将开口的数量调整成适应于来自坩祸的经蒸发的材料的存在来改善所沉积的层的均匀性。因此，通过考虑化学计量条件改善了均匀性。
[0074]应当理解，参考图9所描述的特征还可用于前述实施例，诸如，仅具有一组坩祸的蒸发装置、或具有第二组坩祸和第三气体供应管道的蒸发装置、或具有设有对应于坩祸位置的开口的气体供应管道的蒸发装置、或本文所述蒸发装置的进一步的实施例。例如，图9中所示的实施例还可以与图10至图17中所示特征结合，只要这些特征彼此不矛盾即可。
[0075]图10示出蒸发坩祸600的实施例，所述蒸发坩祸600包括沿在第一方向621上延伸的第一线620对齐的第一组；t甘祸610，所述第一方向621可以基本上垂直于第二方向622延伸。第二方向622可以是待涂覆的基板660的移动方向。蒸发装置600还包括第一气体供应管道630和具有开口 650的第二气体供应管道640。第一气体供应管道630和第二气体供应管道640可以是如上所述的第一气体供应管道和第二气体供应管道。
[0076]在图10中所示的实施例中，第二气体供应管道640的直径与第一气体供应管道630的直径不同。在图11中可看出直径的差异，图11是图10中所示的实施例的主视图。第二气体供应管道640具有直径641。第一气体供应管道630具有直径631。在图11中可见，直径641小于直径631。
[0077]参考图10所描述的实施例可以通过在具有小于第一气体供应管道的直径的第二气体供应管道中提供开口来改善均匀性。可以考虑在供应管道中的气流的化学计量条件以及流体特性，以便确保材料在基板上的均匀的沉积。
[0078]应当理解，参考图10和图11所述的特征并不仅仅适用于图10和图11中所示的实施例。相反，气体供应管道的不同直径的特征可与本文所述的其他实施例(诸如，图1至图9和图12至图17的实施例)组合。例如，不同的直径还可应用于具有三个气体供应管道的实施例。另外，第三气体供应管道可以具有于第一气体供应管道的直径不同的直径。此外，不同直径的特征可应用于第二和/或第三气体供应管道在基本上垂直于第一方向621的第二方向622上从第一气体供应管道移位的实施例。
[0079]图12示出蒸发坩祸700的实施例，所述蒸发坩祸700包括沿在第一方向721上延伸的第一线720对齐的第一组坩祸710，所述第一方向721可以基本上垂直于第二方向722延伸。第二方向722可以是待涂覆的基板760的移动方向。蒸发装置700还包括第一气体供应管道730和具有开口 750的第二气体供应管道740。第一气体供应管道730和第二气体供应管道740可以是如上所述的第一气体供应管道和第二气体供应管道。
[0080]在图12中，第二气体供应管道740的开口 750可以在第二方向上相对于彼此移位。然而，虽然图12仅示出具有移位的开口 750的第二气体供应管道，但是也可如上所述提供第三气体供应管道。在一个实施例中，第三气体供应管道也可具有沿第二方向移位的开口。附加于或替代于第二气体供应管道的移位的开口，第三气体供应管道也可具有移位的开口。
[0081]第二和/或第三气体供应管道的开口在第二方向上的位移可进一步扩大由气体供应的区域，并且因此可以改善沉积的均匀性。
[0082]图13示出蒸发坩祸800的实施例，所述蒸发坩祸800包括沿在第一方向821上延伸的第一线820对齐的第一组坩祸810，所述第一方向821可以基本上垂直于第二方向822延伸。第二方向822可以是待涂覆的基板860的移动方向。另外，沿在第一方向821上延伸的第二线890对齐地提供第二组坩祸880。蒸发装置800还包括具有开口 850的第一气体供应管道830和第二气体供应管道840。第一气体供应管道830和第二气体供应管道840可以是如上所述的第一气体供应管道和第二气体供应管道。
[0083]根据一些实施例，第二气体管道的开口可通过具有不同的尺寸来改善材料沉积的均匀性。在图13中所示的实施例中，开口具有交替的尺寸。在图13中可见，第二气体供应管道840的开口 850在对应于第一组坩祸810中的坩祸的位置的位置处比在对应于第二组坩祸880中的坩祸的位置的位置处更大。
[0084]虽然图13仅示出第二气体供应管道，但是也可如上所述提供第三气体供应管道。根据一些实施例，附加于或替代于第二气体供应管道的不同尺寸的开口，第三气体供应管道可具有不同尺寸的开口。具体来说，第三气体供应管道的开口可以在对应于第二组坩祸中的坩祸的位置的位置处比在对应于第一组坩祸中的坩祸的位置的位置处更大。
[0085]图14示出蒸发坩祸900的实施例，所述蒸发坩祸900包括沿在第一方向921上延伸的第一线920对齐的第一组坩祸910，所述第一方向921可以基本上垂直于第二方向922延伸。第二方向922可以是待涂覆的基板960的移动方向。蒸发装置900还包括第一气体供应管道930和具有开口 950的第二气体供应管道940。第一气体供应管道930和第二气体供应管道940可以是如上所述的第一气体供应管道和第二气体供应管道。
[0086]图14中所示的实施例提供第二气体供应管道940的开口，所述开口具有取决于开口在第一方向上的位置的尺寸以改善在基板上的材料沉积的均匀性。例如，开口 951具有比位于沿第一线的另一位置处的开口 952更大的直径。另外，在图14中所示的实施例中，开口 953具有比开口 951和952更小的直径。根据一些实施例，朝着待涂覆的基板960的外缘，开口的尺寸(即，在圆形开口情况下的直径)可增加以改善涂覆的均匀性。
[0087]图15示出蒸发装置1000的实施例，所述蒸发装置1000包括沿在第一方向1021上延伸的第一线1020对齐的第一组坩祸1010。第二方向1022基本上垂直于第一方向1021。图15中所示的蒸发装置1000进一步包括第一气体供应管道1030，所述第一气体供应管道1030布置在第一组坩祸1010与支撑待涂覆的基板1060的基板支撑件之间。提供第二气体供应管道1040以将气体供应至第一组坩祸1010。第二气体供应管道1040可以具有用作气体出口的开口。
[0088]在图15中所示的实施例中，开口是矩形的。根据一些实施例，开口的尺寸有所不同，这可通过图15中的不同尺寸的开口 1051、1052和1053看出。除了不同的尺寸之外，开口 1051、1052和1053具有相对于彼此的不同的尺度(dimens1n)。例如，沿第一方向，从一个开口到其他开口，矩形开口的长度和/或宽度可有所不同。
[0089]在附图中，气体供应管道中的开口大多以基本上圆形的形状示出。然而，技术人员将会理解，本文所述的实施例不限于附图的示例中所示的圆形或矩形形状。