体气体喷气通道202和第二前体气体喷气通道201的喷气通道相互平行。第一前体气体喷气通道202和第二前体气体喷气通道201的喷口直径为Φ
0.3_ Φ 3 ο
[0027]在较佳的实施例中，第一前体气体分配通道203为圆形或椭圆形。
[0028]在具体应用实例中，在圆形结构板的下平面206与第一前体气体分配管道203之间还分布有冷却液通道204。作为优选方案，冷却液通道204的截面可以为圆形或椭圆形。
[0029]进一步，作为较佳的实施例，在圆形结构板的上平面208与下平面206之间还分布有观察窗通道205，观察窗通道205分布在不同圆周半径的同一条直线上。即，在本实例中该观察窗通道205处于第一前体气体分配管道203的中心线上，第一前体气体分配通道203在观察窗通道205处断开。作为优选方案，观察窗通道205与第一前体气体喷气通道202和第二前体气体喷气通道201的喷气通道相平行。
[0030]在本实例中，冷却液通道204与第一前体气体分配通道203相互垂直。
[0031]参见图3，在其他实施例中，冷却液通道204的横截面为圆形，并且还可以做成多层冷却。
[0032]如图4所示，为本发明微孔喷淋头所应用的一个具体实例。该反应器包括反应器本体6和反应器上盖5，反应器本体6内部为反应室，反应室的上方是反应器上盖5，反应器本体6与反应室上盖5形成一密封空间；在密封空间内还分布有加热器、隔热板、导流板、旋转支撑等装置(图中未示出)。本发明中喷淋头主体9上的第一前体气体喷气通道202、第二前体气体喷气通道201、第一前体气体分配通道203、冷却液通道204分别通过反应器上盖5与第一管道1、第二管道2、第三管道3、第四管道4相连通。本发明中喷淋头主体9的下方为载片盘8，载片盘8上放置有基片7。
[0033]本发明的上述微孔喷淋头的制作工艺过程为:
S1:使用精密电火花穿孔，在圆形结构板的圆环面207上做出第一前体气体分配通道203及冷却液通道204的引导孔，该引导孔的直径为Φ 0.3- Φ 3。
[0034]S2:使用电火花线切割或深孔钻床的方式加工出第一前体气体分配通道203及冷却液通道204。若通道为椭圆形，则使用电火花线切割的方式加工通道。
S3:使用精密电火花打孔机打出第一前体气体喷气通道202和第二前体气体喷气通道201的喷气通道。
[0035]以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种微孔喷淋头，其特征在于，它包括喷淋头主体(9)，所述喷淋头主体(9)由一整块的圆形结构板制成，所述圆形结构板上设置有下平面(206)、圆环面(207)和上平面(208);所述喷淋头主体(9)上开设有第一前体气体喷气通道(202)、第二前体气体喷气通道(201)和第一前体气体分配通道(203)，所述第一前体气体喷气通道(202)贯穿圆形结构板的上平面(208)及下平面(206)，所述第二前体气体喷气通道(201)贯穿第一前体气体分配通道(203)及圆形结构板的下平面(206)，所述第一前体气体分配通道(203)贯穿了圆形结构板的圆环面(207)。2.根据权利要求1所述的微孔喷淋头，其特征在于，所述第一前体气体喷气通道(202)及第二前体气体喷气通道(201)与圆形结构板的下平面(206)垂直。3.根据权利要求1所述的微孔喷淋头，其特征在于，所述第一前体气体喷气通道(202)及第二前体气体喷气通道(201)与圆形结构板的下平面(206)成非垂直的角度。4.根据权利要求1或2或3所述的微孔喷淋头，其特征在于，所述第一前体气体喷气通道(202)和第二前体气体喷气通道(201)的喷气通道相互平行。5.根据权利要求1或2或3所述的微孔喷淋头，其特征在于，所述第一前体气体喷气通道(202)和第二前体气体喷气通道(201)的喷口直径为Φ0.3-Φ 3cm。6.根据权利要求1或2或3所述的微孔喷淋头，其特征在于，所述第一前体气体分配通道的截面(203)为圆形或椭圆形。7.根据权利要求1或2或3所述的微孔喷淋头，其特征在于，所述圆形结构板的下平面(206)与第一前体气体分配管道(203)之间还分布有冷却液通道(204)。8.根据权利要求7所述的微孔喷淋头，其特征在于，所述冷却液通道(204)的截面为圆形或椭圆形。9.根据权利要求7所述的微孔喷淋头，其特征在于，所述冷却液通道(204)与第一前体气体分配通道(203)相互垂直。10.根据权利要求1或2或3所述的微孔喷淋头，其特征在于，所述圆形结构板的上平面(208)与下平面(206)之间还分布有观察窗通道(205)，所述观察窗通道(205)分布在不同圆周半径的同一条直线上。11.一种用来制作上述权利要求1?9中任意一项所述微孔喷淋头的制作方法，其特征在于，步骤为: S1:使用精密电火花穿孔，在圆形结构板的圆环面(207)上做出第一前体气体分配通道(203)及冷却液通道(204)的引导孔； S2:使用电火花线切割或深孔钻床的方式加工出第一前体气体分配通道(203)及冷却液通道(204); S3:使用精密电火花打孔机打出第一前体气体喷气通道(202)和第二前体气体喷气通道(201)的喷气通道。
【专利摘要】本发明公开了一种微孔喷淋头及制作方法，该微孔喷淋头包括喷淋头主体，喷淋头主体由一整块的圆形结构板制成，圆形结构板上设置有下平面、圆环面和上平面；喷淋头主体上开设有第一前体气体喷气通道、第二前体气体喷气通道和第一前体气体分配通道，第一前体气体喷气通道贯穿圆形结构板的上平面及下平面，第二前体气体喷气通道贯穿第一前体气体分配通道及圆形结构板的下平面，第一前体气体分配通道贯穿了圆形结构板的圆环面。该方法用来制作微孔喷淋头。上述本发明具有结构简单紧凑、制作简单、可靠性好等优点。
【IPC分类】C23C16/455
【公开号】CN105483649
【申请号】CN201510912738
【发明人】罗才旺, 魏唯, 陈特超, 刘欣, 王慧勇
【申请人】中国电子科技集团公司第四十八研究所
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年12月11日