7位于第一平面镜15下面，并与第一平面镜15成90°角设置于腔体11内；聚焦镜18设于第二平面镜17的另一端，其镜面与第二平面镜17镜面平行，且聚焦镜18与腔体11的激光输出口成45°角；第一平面镜15、第二平面镜17以及聚焦镜18背面均设有水冷却装置16 ;位于激光输出口的腔体11外设有松套法兰19。
[0027]所述真空室2上设有观察窗21、真空室门22、导光装置连接口 23、压力表24以及数控系统入口 25，其中观察窗21为一大一小两个观察窗21，分别设于真空室2两侧，其中较大的观察窗21设于真空室门22上；数控系统入口 25位于真空室2底部。
[0028]所述自动送粉器4包括同轴送粉喷嘴41以及送粉器42 ;同轴送粉喷嘴41设于真空室2内部，位于工作台3之上；送粉器42设于真空室2外部，位于真空室2之下；同轴送粉喷嘴41与送粉器42通过导管相连。
[0029]所述抽真空系统5包括真空泵51，真空泵51设于真空室2之下，用于对真空室2
抽真空。
[0030]实施例2
[0031]与实施例1的不同之处在于:所述抽真空系统5还设有压力传感器52，压力传感器52设于真空室2侧壁。
[0032]实施例3
[0033]与实施例1的不同之处在于:所述导光装置I的水冷却装置16包括水冷腔161，入水管162、出水管163和法兰，第一平面镜15、第二平面镜17、聚焦镜18分别与腔体11形成的空间构成水冷腔161，冷却水通过入水管162进入水冷腔161，再通过设在入水管162上面的出水管163排出，入水管162和出水管163通过法兰固定在腔体11上；水冷腔161内还设有螺旋形的流道，以提高冷却效率。所述第一平面镜5与第二平面镜7为紫铜镀膜的平面镜。
[0034]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空激光熔覆加工装置，其特征在于:所述装置包括激光器、导光装置(1)、真空室(2)、工作台(3)、自动送粉器(4)、抽真空系统(5)以及数控系统(6);使用时，激光器位于真空室(2)前端，导光装置(I)设于真空室(2)上，工作台(3)和自动送粉器(4)的喷嘴设置在真空室(2)内，抽真空系统(5)设置在真空室(2)的外部，数控系统(6)通过导线与工作台(3)以及自动送粉器(4)相连，并通过终端控制设备￠1)来控制工作台(3)和自动送粉器⑷； 其中导光装置⑴包括腔体(11)、光阑(12)、透镜(13)、气体冷却装置(14)、第一平面镜(15)、水冷却装置(16)、第二平面镜(17)、聚焦镜(18)以及法兰； 光阑(12)位于腔体(11)的激光输入口处，光阑(12)后腔体(11)内设有透镜(13)，透镜(13)周围设有气体冷却装置(14);透镜(13)远离光阑(12)的一端设有第一平面镜(15)，第一平面镜(15)与腔体(11)以及透镜(13)成45°角；第二平面镜(17)位于第一平面镜(15)下面，并与第一平面镜(15)成90°角设置于腔体(11)内；聚焦镜(18)设于第二平面镜(17)的另一端，其镜面与第二平面镜(17)镜面平行，且聚焦镜(18)与腔体(11)的激光输出口成45°角； 第一平面镜(15)、第二平面镜(17)以及聚焦镜(18)背面均设有水冷却装置(16)。
2.按照权利要求1所述真空激光熔覆加工装置，其特征在于:所述真空室(2)上设有观察窗(21)、真空室门(22)、导光装置连接口(23)、压力表(24)以及数控系统入口(25)，其中观察窗(21)设有两个，分别设于真空室(2)两侧，其中较大的观察窗(21)设于真空室门(22)上；数控系统入口(25)位于真空室(2)底部。
3.按照权利要求1所述真空激光熔覆加工装置，其特征在于:所述自动送粉器(4)包括同轴送粉喷嘴(41)以及送粉器(42);同轴送粉喷嘴(41)设于真空室(2)内部，位于工作台(3)之上；送粉器(42)设于真空室(2)外部，位于真空室(2)之下；同轴送粉喷嘴(41)与送粉器(42)通过导管相连。
4.按照权利要求1所述真空激光熔覆加工装置，其特征在于:所述抽真空系统(5)包括真空泵(51)和压力传感器(52)，真空泵(51)设于真空室(2)之下，压力传感器(52)设于真空室(2)侧壁。
5.按照权利要求1所述真空激光熔覆加工装置，其特征在于:所述工作台(3)下设有三轴运动机构，由数控系统(6)控制其运动。
6.按照权利要求1所述真空激光熔覆加工装置，其特征在于:所述导光装置(I)的水冷却装置(16)包括水冷腔(161)，入水管(162)、出水管(163)和法兰，第一平面镜(15)、第二平面镜(17)、聚焦镜(18)分别与腔体(11)形成的空间构成水冷腔(161)，冷却水通过入水管(162)进入水冷腔(161)，再通过设在入水管(162)上面的出水管(163)排出，入水管(162)和出水管(163)通过法兰固定在腔体(11)上。
7.按照权利要求6所述真空激光熔覆加工装置，其特征在于:水冷腔(161)内设有螺旋形的流道。
8.按照权利要求1所述真空激光熔覆加工装置，其特征在于:位于激光输出口的腔体(11)外设有松套法兰(19)。
9.按照权利要求1所述真空激光熔覆加工装置，其特征在于:所述第一平面镜(5)与第二平面镜(7)为紫铜镀膜的平面镜。
【专利摘要】本实用新型提供了一种真空激光熔覆加工装置，包括激光器、导光装置、真空室、工作台、自动送粉器、抽真空系统和数控系统；激光器位于真空室前端，导光装置设于真空室上，工作台和自动送粉器的喷嘴设置在真空室内，抽真空系统设在真空室外，数控系统控制工作台和自动送粉器；导光装置包括腔体、光阑、透镜、气体冷却装置、第一、二平面镜、水冷却装置、聚焦镜；光阑位于腔体激光输入口处，其后设有带气体冷却装置的透镜；透镜另一端与腔体成45°角设有第一平面镜；第二平面镜位于第一平面镜下面，与其成90°角；聚焦镜设于第二平面镜另一端，与第二平面镜平行，且与腔体的激光输出口成45°角；第一、二平面镜、聚焦镜背面均设有水冷却装置。
【IPC分类】C23C24-10
【公开号】CN204311132
【申请号】CN201420739666
【发明人】线全刚, 张重远, 边舫, 蔡静
【申请人】中国科学院金属研究所
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年11月28日