一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材制造技术领域。
【背景技术】
[0002]在真空腔体中进行旋转靶材喷涂时，粉末通过等离子弧高温融化沉积于基材表面形成靶材，在热喷涂过程中，需要通过真空罐体来观察靶材的喷涂状况，但是通过真空罐体透明玻璃窗观测，眼睛被等离子的弧光刺激，长久观察，会造成观察者眼睛流泪、红肿甚至失明。
[0003]等离子热喷涂过程中产生的弧光，而被安装在真空罐体上的透明玻璃无法达到吸收效果，进而等离子产生的弧光对观测者眼睛的视网膜造成严重伤害，而为了避免上述不良现象出现，现有方法是观察者在观察真空等离子喷涂时快速观察，每隔1s需要停止观察休息I分钟，不可以对真空等离子喷涂进行持续观察。
[0004]由此，本发明人考虑对现有的真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置进行设计，本案由此产生。
【实用新型内容】
[0005]针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，其通过镀在透明玻璃上的耐高温薄膜，可以减轻等离子弧光对观察者视网膜的伤害，保护观察人员的眼睛，而且观察者可以持续的对真空罐体内部等离子喷涂情况进行观测，可以随时根据观察情况调整工艺，降低了不良率。
[0006]为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的:
[0007]—种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，该保护装置为设在真空等离子喷涂罐上的观察视窗，该观察视窗主要包括透明玻璃，该透明玻璃上附着有耐高温薄膜，且该有耐高温薄膜位于透明玻璃内侧，从而形成对位于真空等离子喷涂罐内的观察保护结构。
[0008]进一步，所述耐高温薄膜采用熔点为600°C以上的金属或者非金属电镀而成。
[0009]进一步，所述的耐高温薄膜为铝、硅等材料。
[0010]进一步,所述耐高温薄膜的厚度为0.5mm。
[0011]进一步，所述耐高温薄膜卡固在真空等离子喷涂罐的法兰盘中，而所述法兰盘则安装在真空等离子喷涂罐的开口上，进而形成对靶材加工的观察的视窗结构。
[0012]与现有技术相比较，本实用新型的优点:
[0013]本实用新型通过镀在透明玻璃上的耐高温薄膜，该高温薄膜能有效吸收等离子弧光，从而可以减轻等离子弧光对观察者视网膜的伤害，保护观察人员的眼睛，而且观察者可以持续的对真空罐体内部等离子喷涂情况进行观测，可以随时根据观察情况调整工艺，降低了不良率。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]本实用新型所述的一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置的结构是应用在中国专利授权公告号CN203373415U中所公开的罐体，其在原有观察视窗上增加耐高温薄膜，且该耐高温薄膜能吸收等离子弧光，进而确保观察者的眼部安全，下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0016]实施例:请参阅图1所示，一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，所述观察视窗主要包括透明玻璃1，其卡固在真空等离子喷涂罐的法兰盘中A，而所述法兰盘A则安装在真空等离子喷涂罐的开口上，进而形成对靶材加工的观察的视窗结构。
[0017]请参阅图1所示，前述透明玻璃I的内侧，即位于真空等离子喷涂罐内的侧面上镀有耐高温薄膜2，该耐高温薄膜2采用熔点为600°C以上的金属或者非金属电镀而成(如铝、硅等材料)，且耐高温薄膜2的厚度为0.5mm。
[0018]请参阅图1所示，前述耐高温薄膜2可以吸收等离子热喷涂过程产生的弧光，使得观察者可以持续观察等离子喷涂的实际状况，通过镀在透明玻璃上的耐高温薄膜，可以减轻等离子弧光对观察者视网膜的伤害，保护观察人员的眼睛，而且观察者可以持续的对真空罐体内部等离子喷涂情况进行观测，可以随时根据观察情况调整工艺，降低了不良率。
[0019]以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。
【主权项】
1.一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，其特征在于:该保护装置为设在真空等离子喷涂罐上的观察视窗，该观察视窗主要包括透明玻璃，该透明玻璃上附着有耐高温薄膜，且该有耐高温薄膜位于透明玻璃内侧，从而形成对位于空等离子喷涂罐内的观察保护结构。
2.根据权利要求1所述的一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，其特征在于:所述耐高温薄膜米用熔点为600°C以上的金属或者非金属电镀而成。
3.根据权利要求1或2所述的一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，其特征在于:所述耐高温薄膜的厚度为0.5mm。
4.根据权利要求3所述的一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，其特征在于:所述耐高温薄膜卡固在真空等离子喷涂罐的法兰盘中，而所述法兰盘则安装在真空等离子喷涂罐的开口上，进而形成对靶材加工的观察的视窗结构。
【专利摘要】本实用新型公开一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，该保护装置为设在真空等离子喷涂罐上的观察视窗，该观察视窗主要包括透明玻璃，该透明玻璃上附着有耐高温薄膜，且该有耐高温薄膜位于透明玻璃内侧，从而形成对位于真空等离子喷涂罐内的观察保护结构。本实用新型通过镀在透明玻璃上的耐高温薄膜，该高温薄膜能有效吸收等离子弧光，从而可以减轻等离子弧光对观察者视网膜的伤害，保护观察人员的眼睛，而且观察者可以持续的对真空罐体内部等离子喷涂情况进行观测，可以随时根据观察情况调整工艺，降低了不良率。
【IPC分类】C23C4-12
【公开号】CN204325471
【申请号】CN201420816441
【发明人】曾墩风, 张斐, 罗永春, 王志强
【申请人】厦门映日新材料科技有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年12月22日