用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属多晶硅实验辅助设备技术领域，具体涉及一种用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置。
【背景技术】
[0002]在多晶硅的实验检测过程中，首先要求对多晶硅套料样棒进行化学腐蚀操作，以去除在套料过程中对多晶硅样棒表面带来的污染。目前对样棒的化学腐蚀是由操作人员将套好的多晶硅样棒放在盛放有氢氟酸和硝酸的聚四氟乙烯酸槽里面进行腐蚀，在腐蚀过程中需要操作人员手动晃动酸槽，使得酸液和多晶硅样棒表面充分接触，已达到最佳的腐蚀效果。由于氢氟酸和硝酸都具有很强的腐蚀性，即使操作人员在手动晃动过程中很小心，但是由于摇晃力度的不均匀，也很有可能会把酸液晃出酸槽，对操作人员存在有很大的安全隐患，因此有必要提出改进。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型解决的技术问题:提供一种用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，将化学腐蚀槽放置于平台上，手摇手柄使偏心轮转动，偏心轮的转动驱动平台作上下晃动，从而使化学腐蚀槽内的多晶硅样棒表面腐蚀均匀，有效避免了酸液溅出化学腐蚀槽而造成的人身安全等隐患。
[0004]本实用新型采用的技术方案:用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，包括平台和支架，所述平台的两侧均设有支撑轴，所述平台通过支撑轴与支架中的侧板上端面接触并将平台撑在支架的上部，所述支架一侧部设有偏心轮驱动装置，所述偏心轮驱动装置中的偏心轮的中心处于最低点时，靠近偏心轮的两个支撑轴与偏心轮的外圆柱面接触，所述偏心轮驱动装置转动后驱动平台上下晃动，从而使置于平台上的化学腐蚀槽内的多晶硅样棒得到均匀腐蚀。
[0005]其中，所述平台主要是在底板的四周垂直设围堰而构成的盘型结构，所述围堰的两侧边缘均设有支撑轴。
[0006]所述支架是由镂空型的筋板将两个平行的侧板垂直连接而成，所述侧板的上端面是由S型面、支撑面和凸面依次连接而成的异型面，所述支撑面与水平面的夹角为5°，所述平台中的支撑轴压在支撑面上并通过S型面和凸面从两端卡定限位使平台支撑在支架的上部。
[0007]所述偏心轮驱动装置是通过连接光轴将两个偏心轮固定连接为一体而成且转动时两个偏心轮的运动轨迹相同，所述连接光轴穿过两个侧板中靠近凸面的一侧且与平台平行，并将两个偏心轮分别置于两个侧板的外侧，所述连接光轴与侧板上的孔为间隙配合，所述平台上靠近偏心轮的两个支撑轴同时还与偏心轮的外圆柱面接触，所述偏心轮中其中一个的外端面上设有手柄，所述手柄的轴心与连接光轴的轴心落在偏心轮的同一直径上且置于偏心轮中心的两侧，所述手柄中心轴到偏心轮中心的距离大于连接光轴中心轴到偏心轮中心的距离。
[0008]进一步地，所述平台、支架和偏心轮驱动装置均是由聚四氟乙烯制成。
[0009]本实用新型与现有技术相比有以下优点:
[0010]1、在平台的四周垂直设围堰使平台形成盘型结构，防止化学腐蚀槽从平台上滑落下来；
[0011]2、在围堰的两侧边缘均设有支撑轴，并且侧板的上端面是由S型面、支撑面和凸面依次连接而成的异型面，有利于平台在支架上可靠固定和平稳转动；
[0012]3、将支撑面与水平面的夹角设为5°，便于化学腐蚀槽中的多晶样棒在平台晃动时可在酸液里来回滚动，从而使多晶硅样棒腐蚀更均匀；
[0013]4、本实用新型有效防止了酸液从化学腐蚀槽中溅出而造成的人身安全等问题，具有制造成本低，腐蚀效果好，操作简单，安全可靠的特点。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的结构示意图；
[0015]图2为图1的A向结构示意图；
[0016]图3为本实用新型中的平台结构示意图；
[0017]图4为本实用新型中的支架结构示意图；
[0018]图5为本实用新型中的偏心轮驱动装置结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图1-5描述本实用新型的一种实施例。
[0020]用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，包括平台I和支架2，所述平台I的两侧均设有支撑轴13，具体的(如图3所示)，所述平台I主要是在底板11的四周垂直设围堰12而构成的盘型结构，围堰12防止化学腐蚀槽从平台I上滑落，所述围堰12的两侧边缘均设有支撑轴13，优选的，底板11和围堰12均是由5mm厚的聚四氟乙烯板制成，底板11为200_X 150mm的矩形，围堰12的高度为10_，支撑轴13通过焊接固定于围堰12的两侧边缘，支撑轴13采用直径为8mm和长度为15mm的聚四氟乙烯棒制成；所述平台I通过支撑轴13与支架2中的侧板21上端面接触并将平台I支撑在支架2的上部，具体的(如图4所示)，所述支架2是由镂空型的筋板22通过焊接将两个平行的侧板21垂直连接而成，所述侧板21的上端面是由S型面211、支撑面212和凸面213依次连接而成的异型面，所述支撑面212与水平面的夹角为5°，便于多晶样棒在平台I内晃动时可以在化学腐蚀槽里来回滚动，使多晶硅样棒腐蚀更均匀，优选的，侧板21和筋板22均是由5mm厚的聚四氟乙烯板制成，而侧板21的尺寸可根据平台I的实际尺寸大小进行调整，其中，所述平台I中的支撑轴13压在支撑面212上并通过S型面211和凸面213从两端卡定限位使平台I支撑在支架2的上部，此结构有利于平台I在支架2上可靠固定、不易滑落和平稳转动；所述支架2 —侧部设有偏心轮驱动装置3 (如图5所示)，所述偏心轮驱动装置3中的偏心轮31的中心处于最低点时，靠近偏心轮31的两个支撑轴13与偏心轮31的外圆柱面接触，具体的，所述偏心轮驱动装置3是连接光轴32的两端将两个偏心轮31通过焊接固定连接为一体而成，优选的，两个偏心轮31均是由5_厚的聚四氟乙烯板制成，偏心轮31的直径大小可根据实际情况确定，但两个偏心轮31大小必须相同且用连接光轴32固定连接后的投影重合，所述连接光轴32是由直径为8_的聚四氟乙烯棒截成，连接光轴32的长度可根据实际情况决定，这里必须注意的是两个偏心轮31转动时运动轨迹必须一致，所述连接光轴32穿过两个侧板21中靠近凸面213的一侧且与平台I平行，并将两个偏心轮31分别置于两个侧板21的外侧，所述连接光轴32与侧板21上的孔为间隙配合，所述平台I上靠近偏心轮31的两个支撑轴13同时还与偏心轮31的外圆柱面接触，所述其中一个偏心轮31的外端面上设有手柄33，所述手柄33的轴心与连接光轴32的轴心落在偏心轮31的同一直径上且置于偏心轮31中心的两侧，所述手柄33中心轴到偏心轮31中心的距离大于连接光轴32中心轴到偏心轮31中心的距离；所述偏心轮驱动装置3转动后驱动平台I上下晃动，从而使置于平台I上的化学腐蚀槽内的多晶硅样棒得到均匀腐蚀。
[0021]其中，所述平台1、支架2和偏心轮驱动装置3均采用聚四氟乙烯制成，由于聚四氟乙烯具有较强的抗酸碱性和耐高温性，性质稳定，保证本实用新型不易被酸液腐蚀损坏，使用寿命长。
[0022]使用时，操作人员只需将装有多晶硅样棒的化学腐蚀槽放在平台I上，手动摇动手柄33带动偏心轮31转动，偏心轮31在转动中所形成的最低点到最高点的运动轨迹驱动平台I的一侧绕着另一侧转动，其中偏心轮31轨迹的最低点和最高点驱动平台底面上下晃动形成的夹角为被水平面等分的10°角，这样就达到平台I平稳晃动的目的，使化学腐蚀槽内的多晶硅样棒得到均匀的腐蚀，腐蚀效果好，并且有效避免了操作人员和化学腐蚀槽直截接触，防止对人身造成安全隐患，具有制造成本低，操作简单，安全可靠的特点。
[0023]上述实施例，只是本实用新型的较佳实施例，并非用来限制本实用新型实施范围，故凡以本实用新型权利要求所述内容所做的等效变化，均应包括在本实用新型权利要求范围之内。
【主权项】
1.用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于:包括平台(I)和支架(2)，所述平台(I)的两侧均设有支撑轴(13)，所述平台(I)通过支撑轴(13)与支架(2)中的侧板(21)上端面接触并将平台(I)支撑在支架(2)的上部，所述支架(2) —侧部设有偏心轮驱动装置(3)，所述偏心轮驱动装置(3)中的偏心轮(31)中心处于最低点时，靠近偏心轮(31)的两个支撑轴(13)与偏心轮(31)的外圆柱面接触，所述偏心轮驱动装置(3)转动后驱动平台(I)上下晃动，从而使置于平台(I)上的化学腐蚀槽内的多晶硅样棒得到均匀腐蚀。
2.根据权利要求1所述的用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于:所述平台(I)主要是在底板(11)的四周垂直设围堰(12)而构成的盘型结构，所述围堰(12)的两侧边缘均设有支撑轴(13)。
3.根据权利要求1所述的用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于:所述支架(2)是由镂空型的筋板(22)将两个平行的侧板(21)垂直连接而成，所述侧板(21)的上端面是由S型面(211)、支撑面(212)和凸面(213)依次连接而成的异型面，所述支撑面(212)与水平面的夹角为5°，所述平台⑴中的支撑轴(13)压在支撑面(212)上并通过S型面(211)和凸面(213)从两端卡定限位使平台⑴支撑在支架(2)的上部。
4.根据权利要求1所述的用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于:所述偏心轮驱动装置(3)是通过连接光轴(32)将两个偏心轮(31)固定连接为一体而成且转动时两个偏心轮(31)的运动轨迹相同，所述连接光轴(32)穿过两个侧板(21)中靠近凸面(213)的一侧且与平台⑴平行，并将两个偏心轮(31)分别置于两个侧板(21)的外侧，所述连接光轴(32)与侧板(21)上的孔为间隙配合，所述平台(I)上靠近偏心轮(31)的两个支撑轴(13)同时还与偏心轮(31)的外圆柱面接触，所述偏心轮(31)中其中一个的外端面上设有手柄(33)，所述手柄(33)的轴心与连接光轴(32)的轴心落在偏心轮(31)的同一直径上且置于偏心轮(31)中心的两侧，所述手柄(33)中心轴到偏心轮(31)中心的距离大于连接光轴(32)中心轴到偏心轮(31)中心的距离。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于:所述平台(1)、支架(2)和偏心轮驱动装置(3)均是由聚四氟乙烯制成。
【专利摘要】提供一种用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，包括平台和支架，平台的两侧均设有支撑轴，平台通过支撑轴与支架中的侧板上端面接触并将平台撑在支架的上部，支架一侧部设有偏心轮驱动装置，偏心轮驱动装置中的偏心轮的中心处于最低点时，靠近偏心轮的两个支撑轴与偏心轮的外圆柱面接触，偏心轮驱动装置转动后驱动平台上下晃动，从而使置于平台上的化学腐蚀槽内的多晶硅样棒得到均匀腐蚀。本实用新型有效避免了酸液溅出化学腐蚀槽而造成的人身安全等问题，具有制造成本低，腐蚀效果好，操作简单，安全可靠的特点。
【IPC分类】C23F1-08
【公开号】CN204589306
【申请号】CN201520321793
【发明人】史攀峰, 魏文昌, 杜娜, 程远梅, 宋战刚
【申请人】陕西天宏硅材料有限责任公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年5月18日