一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置的制造方法
【专利说明】
所属技术领域
[〇〇〇1] 本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜技术在电磁屏蔽材料技术领域的应用过程中，最难控制的是如何持续稳定的得到合乎要求的电阻值。通常的解决办法是镀好以后，将膜取出来，剪下一块膜直接测量，阻值不够要求时，将膜重新送进镀膜室进行二次镀膜，不够再重复镀，反反复复。在这个过程当中，由于膜的氧化，到后来重复镀也实现不了电阻阻值达标。
【发明内容】
[0003]为了克服现有的真空镀膜技术及设备在制作真空镀膜时难以实时得到电阻数据和实时控制合理要求，本实用新型提供了一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置，该装置不但可以在真空镀膜时实时监测到电阻数据，同时还可以进行电阻的实时控制。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:在即将进入滚轴轴体的膜上方设置两个电阻传感器，通过电阻传感器得到的实时电阻数据发送到电阻控制器上，然后电阻控制器判断膜上的电阻是否达到标准要求，如果电阻过大，则发送减速口令至滚轴变频电机上，使滚轴变频电机的转速变慢，从而达到膜的电阻减小，如电阻过小，则通过电阻控制器发送加速口令至滚轴变频电机上，使滚轴变频电机的转速变快，从而达到膜的电阻增加，与此同时，在滚轴的速度变快变慢时，未进入滚轴轴体的膜下方通过一红外测温探头进行膜表面温度的监测，当出现温度过高或过低时则调节冷却水变频装置的冷却水流量大或小，从而达到膜表面温度的正常状态。
[0005]本实用新型的有益效果是，可以在真空镀膜时，实时监测膜的电阻大小并及时控制滚轴转速从而达到膜电阻的正常大小，并且在因滚轴速度快慢变更时产生的膜温度上升或下降时及时控制冷却水流量以达到不伤膜的目的。
【附图说明】
[0006]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0007]图1是本实用新型的结构示意图。
[0008]图中1.滚轴变频电机，2.冷却水变频装置，3.电阻传感器，4.电阻控制器，5.膜，6.红外测温探头，7.滚轴主体。
【具体实施方式】
[0009] 在图1中，即将进入滚轴主体(7)的膜(5)上方设置两个电阻传感器(3)，通过电阻传感器(3)得到的电阻数据发送至电阻控制器(4)，并由电阻控制器(4)判断膜(5)上的电阻是否在正常标准范围内，如果电阻过大，则发送减速执行命令至滚轴变频电机(1)上，使滚轴变频电机(1)的转速变快，从而增加膜(5)的电阻，如膜(5)电阻过小，则通过电阻控制器(4)发送加速执行命令至滚轴变频电机(1)上，使滚轴变频电机(1)的转速变慢，从而减小膜(5)的电阻，与此同时，在滚轴的速度变快变慢时，未进入滚轴主体(7)的膜(5)下方通过一红外测温探头(6)进行膜(5)表面温度的监测，当出现温度过高或过低时则调节冷却水变频装置(2)的冷却水流量大小，来控制膜(5)表面温度的正常。
【主权项】
1.一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置，在即将进入滚轴主体的膜上方设置电阻传感器，收集膜电阻数据发送至电阻控制器，电阻控制器负责对比电阻大小并控制变频滚轴电机转速，膜下方设有红外测温探头用于收集膜表面温度以控制冷却水变频装置的冷却水流量以保证膜的正常温度。2.根据权利要求1所述的一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置，其特征是:所述电阻传感器可以根据膜大小宽度放置合适的数量。3.根据权利要求1所述的一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置，其特征是:所述电阻传感器之间的距离可以任意调节至合适的距离。
【专利摘要】一种实时监测控制电阻的真空镀膜装置，通过电阻传感器收集膜上的电阻数据，再发送到电阻控制器，由电阻控制器判断并控制滚轴变频电机的转速，以达到标准的膜电阻，在因电阻大小而改变滚轴转速时产生未进入滚轴主体膜的温度升高或降低而影响膜质量时，通过红外测温探头收集膜表面温度数据再根据标准温度来实时改变冷却水变频装置的冷却水控制量，从而保护膜，这样不仅可以实时控制膜电阻大小，又可以保护表面温度的恒温。
【IPC分类】C23C14/54
【公开号】CN204999971
【申请号】CN201520737927
【发明人】田辉得, 占元明
【申请人】海宁卓泰电子材料有限公司
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2015年9月22日