一种拆装方便的镀膜机用l型加热器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种拆装方便的镀膜机用L型加热器，涉及镀膜机设备领域，包括加热管和安装基板，所述加热管具体由U型加热管和一段与U型加热管垂直的延伸加热管组成并一体成型，且U型加热管与延伸加热管之间采用圆弧过渡，延伸加热管外套接有一外管，外管上设有限位片和一段外螺纹，安装基板的外侧面固定连接有法兰端面，外管穿过安装基板并通过锁紧螺母紧固在法兰端面上，本实用新型通过改善加热器形状，设计成UL型，加热器通过安装基板安装固定在侧壁，可直接在外面安装、拆装，不用钻入镀膜机底，便于维护，可降低基架台，节省成本。
【专利说明】
一种拆装方便的镀膜机用L型加热器
技术领域
[0001]本实用新型涉及镀膜机设备领域，具体涉及一种拆装方便的镀膜机用L型加热器。
【背景技术】
[0002]镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]现有的普通镀膜机加热器为直线u型，开口端竖立安装在炉体底部，拆卸时需工作人员钻到炉体底部拆除固定装置，操作不方便，并且要求基架台很高，浪费成本。超大型设备拆装加热维护不方便。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种拆装方便的镀膜机用L型加热器，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。
[0005]—种拆装方便的镀膜机用L型加热器，包括加热管和安装基板，所述加热管具体由U型加热管和一段与U型加热管垂直的延伸加热管组成并一体成型，且U型加热管与延伸加热管之间采用圆弧过渡，延伸加热管外套接有一外管，外管上设有限位片和一段外螺纹，安装基板的外侧面固定连接有法兰端面，外管穿过安装基板并通过锁紧螺母紧固在法兰端面上。
[0006]优选的，所述外管具体为一种绝热金属管，并与延伸加热管过盈配合。
[0007]优选的，所述限位片与安装基板之间设有密封圈。
[0008]优选的，所述U型加热管上设有温度传感器，法兰端面的外侧内嵌有显示屏，温度传感器与显示屏连接。
[0009]优选的，所述法兰端面的外侧还设有两个U型抓杆。
[0010]本实用新型的优点在于:本实用新型通过改善加热器形状，设计成UL型，加热器通过安装基板安装固定在侧壁，可直接在外面安装、拆装，不用钻入镀膜机底，便于维护，可降低基架台，节省成本，所述外管具体为一种绝热金属管，并与延伸加热管过盈配合，减少热量的散失，并能防止安装基板温度过高，所述限位片与安装基板之间设有密封圈，提高了设备整体的密封性，避免发生泄漏，所述U型加热管上设有温度传感器，法兰端面的外侧内嵌有显示屏，温度传感器与显示屏连接，可对加热管的温度进行实时测量并显示在显示屏上方便观察，并能及时发现加热管是否出现异常，所述法兰端面的外侧还设有两个U型抓杆，方便拆装时拿住。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型所述的一种拆装方便的镀膜机用L型加热器的正剖视图。
[0012]图2为本实用新型所述的一种拆装方便的镀膜机用L型加热器中加热器的主视图。
[0013]图3为本实用新型所述的一种拆装方便的镀膜机用L型加热器中外管的主视图。
[0014]其中:丨—u型加热管，2—延伸加热管，3—安装基板，4一外管，5—限位片，6—法兰端面，7—锁紧螺母，8—密封圈9一温度传感器，10—显示屏，11一U型抓杆，12—外螺纹。
【具体实施方式】
[0015]为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合【具体实施方式】，进一步阐述本实用新型。
[0016]如图1、图2和图3所示，一种拆装方便的镀膜机用L型加热器，包括加热管和安装基板3，所述加热管具体由U型加热管I和一段与U型加热管I垂直的延伸加热管2组成并一体成型，且U型加热管I与延伸加热管2之间采用圆弧过渡，延伸加热管2外套接有一外管4，外管4上设有限位片5和一段外螺纹12，安装基板3的外侧面固定连接有法兰端面6，外管4穿过安装基板3并通过锁紧螺母7紧固在法兰端面6上，本产品通过改善加热器形状，设计成UL型，加热器通过安装基板3安装固定在侧壁，可直接在外面安装、拆装，不用钻入镀膜机底，便于维护，可降低基架台，节省成本。
[0017]值得注意的是，所述外管4具体为一种绝热金属管，并与延伸加热管2过盈配合，减少热量的散失，并能防止安装基板3温度过高。
[0018]在本实施例中，所述限位片5与安装基板3之间设有密封圈8，提高了设备整体的密封性，避免发生泄漏。
[0019]此外，所述U型加热管I上设有温度传感器9，法兰端面6的外侧内嵌有显示屏10，温度传感器9与显示屏10连接，可对加热管的温度进行实时测量并显示在显示屏10上方便观察，并能及时发现加热管是否出现异常，所述法兰端面6的外侧还设有两个U型抓杆11，方便拆装时拿住。
[0020]基于上述，本实用新型通过改善加热器形状，设计成UL型，加热器通过安装基板3安装固定在侧壁，可直接在外面安装、拆装，不用钻入镀膜机底，便于维护，可降低基架台，节省成本，且可实时测得加热器的温度情况，便于及时发现加热管是否出现异常。
[0021]由技术常识可知，本实用新型可以通过其它的不脱离其精神实质或必要特征的实施方案来实现。因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本实用新型范围内或在等同于本实用新型的范围内的改变均被本实用新型包含O
【主权项】
1.一种拆装方便的镀膜机用L型加热器，其特征在于，包括加热管和安装基板，所述加热管具体由U型加热管和一段与U型加热管垂直的延伸加热管组成并一体成型，且U型加热管与延伸加热管之间采用圆弧过渡，延伸加热管外套接有一外管，外管上设有限位片和一段外螺纹，安装基板的外侧面固定连接有法兰端面，外管穿过安装基板并通过锁紧螺母紧固在法兰端面上。2.根据权利要求1所述的一种拆装方便的镀膜机用L型加热器，其特征在于:所述外管具体为一种绝热金属管，并与延伸加热管过盈配合。3.根据权利要求1所述的一种拆装方便的镀膜机用L型加热器，其特征在于:所述限位片与安装基板之间设有密封圈。4.根据权利要求3所述的一种拆装方便的镀膜机用L型加热器，其特征在于:所述U型加热管上设有温度传感器，法兰端面的外侧内嵌有显示屏，温度传感器与显示屏连接。5.根据权利要求4所述的一种拆装方便的镀膜机用L型加热器，其特征在于:所述法兰端面的外侧还设有两个U型抓杆。
【文档编号】C23C14/22GK205528999SQ201620094663
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年1月29日
【发明人】武文全
【申请人】佛山市佛欣真空技术有限公司