技术总结
本发明涉及化学分解法提纯硅烷的方法，在反应器中装有反应剂，粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后，高纯硅烷经过采出口采出。反应器为一个或多个串联。多个串联反应器是由硅烷入口和出口通过管道与反应器相连。反应温度控制在-100～100℃。反应剂是能与硅烷的杂质反应生成高沸物而不与硅烷反应的物质,优选为无水乙醚、丙酮、甲醇、氢化锂的四氢呋喃溶液或浓硫酸。每个反应器中装填单一的反应剂，串联的几个反应器中装填同一种反应剂或者不同反应剂。本发明化学分解法分离提纯硅烷操作工艺简单，设备投资少，得到的硅烷纯度高，采用化学分解法分离提纯，提纯后的硅烷纯度达到6N及以上。
技术研发人员：黄国强;黄友光;苏国良;王乃治
受保护的技术使用者：天津大学
文档号码：201510413775
技术研发日：2015.07.14
技术公布日：2017.01.25