1.一种石英玻璃的制备方法,其特征在于,包括:
通过球磨混合工艺将含硅原料、第一掺杂氧化物、第二掺杂氧化物球磨混合均匀,获得掺杂混合料,所述第一掺杂氧化物包括Al2O3,所述第二掺杂氧化物包括ZrO2、Y2O3、La2O3、Sc2O3、ThO2、V2O5、TiO2中的至少一种;
将所述掺杂混合料经过烧制工艺烧制为石英玻璃成品。
2.根据权利要求1所述的石英玻璃的制备方法,其特征在于,
所述通过球磨混合工艺将含硅原料、第一掺杂氧化物、第二掺杂氧化物进行球磨混合均匀,具体包括:
利用下落的研磨体的冲击作用以及研磨体与球磨机器内壁的研磨作用通过球磨混合试剂将含硅原料、第一掺杂氧化物、第二掺杂氧化物球磨混合均匀,其中所述研磨体为氧化铝球或石英陶瓷球,所述球磨混合试剂包括甲醇、乙醇、蒸馏水、双氧水中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的石英玻璃的制备方法,其特征在于,
所述第一掺杂氧化物与含硅原料的重量比为0.5~10%,所述第二掺杂氧化物与含硅原料的重量比为0.5~5%。
4.根据权利要求1所述的石英玻璃的制备方法,其特征在于,
所述硅原料为石英砂。
5.根据权利要求1所述的石英玻璃的制备方法,其特征在于,
所述通过球磨混合工艺将含硅原料、第一掺杂氧化物、第二掺杂氧化物进行球磨混合均匀,具体包括:
利用下落的研磨体的冲击作用以及研磨体与球磨机器内壁的研磨作用将含硅原料、第一掺杂氧化物、第二掺杂氧化物混合均匀,其中所述研磨体为氧化铝球或石英陶瓷球。
6.根据权利要求1~4中任一所述的石英玻璃的制备方法,其特征在于,
所述将所述掺杂混合料经过烧制工艺烧制为石英玻璃成品,具体包括:
对所述掺杂混合料加热至加热温度,使所述掺杂混合料在所述加热温度下干燥与煅烧,形成掺杂配合料;
经所述掺杂配合料制备出所述石英玻璃成品。
7.根据权利要求6所述的石英玻璃的制备方法,其特征在于,
所述对所述掺杂混合料加热至加热温度,使所述掺杂混合料在所述加热温度下干燥与煅烧,形成掺杂配合料,具体包括:
对所述掺杂混合料加热至100~500℃的温度下同时干燥与煅烧,形成掺杂配合料。
8.根据权利要求6所述的石英玻璃的制备方法,其特征在于,
所述使所述掺杂混合料在所述加热温度下干燥与煅烧,具体包括:
对干燥所述掺杂混合料的干燥室通入干燥气氛,使所述掺杂混合料干燥,其中所述干燥气氛包括空气、氧气O2、氯气Cl2、二氯化氧硫SOCl2中的至少一种。
9.根据权利要求6所述的石英玻璃的制备方法,其特征在于,
所述经所述掺杂配合料制备出所述石英玻璃成品,具体为:
对所述掺杂配合料进行粉磨,并对粉磨后的掺杂配合料筛分,获得筛分后的掺杂配合料,将筛分后的掺杂配合料采用熔制工艺,在1000~2500摄氏度下,熔制成所述石英玻璃成品。
10.根据权利要求9所述的石英玻璃的制备方法,其特征在于,
所述对所述掺杂配合料进行粉磨,并对粉磨后的掺杂配合料筛分,获得筛分后的掺杂配合料,将筛分后的掺杂配合料采用熔制工艺,在1000~2500摄氏度下,熔制成所述石英玻璃成品,具体为:
对粉磨后的掺杂配合料筛分,获得颗粒在20~200目的掺杂配合料,将20~200目的掺杂配合料采用真空电熔工艺熔制成所述石英玻璃成品;或,
对粉磨后的掺杂配合料筛分,获得颗粒在40~300目的掺杂配合料,将40~300目的掺杂配合料采用高频等离子体熔制工艺熔制成所述石英玻璃成品;或,
对粉磨后的掺杂配合料筛分,获得颗粒在40~300目的掺杂配合料,将40~300目的掺杂配合料采用气炼熔制工艺熔制成所述石英玻璃成品;或,
对粉磨后的掺杂配合料筛分,获得颗粒在40~300目的掺杂配合料,将40~300目的掺杂配合料采用连续熔制工艺熔制成所述石英玻璃成品。
11.一种石英玻璃,其特征在于,包括:
石英玻璃成品,所述石英玻璃成品采用上述权利要求1-10中任一所述的石英玻璃的制备方法制备而成。
12.根据权利要求11所述的石英玻璃,其特征在于,
所述石英玻璃成品为石英玻璃砣、石英玻璃棒、石英玻璃管、石英玻璃片、石英玻璃环、石英玻璃支架、石英玻璃板、石英玻璃法兰、石英玻璃刻槽舟或石英玻璃清洗槽。