1.一种高性能氮化硅密封环的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)按下列重量比准备原料:氮化硅粉90~95%、氧化镁0~1%、氧化铝2~4%、氧化钇3~7%;
(2)将原料、粘结剂加入到无水乙醇中,然后混匀,配制成固相含量在40~50%的氮化硅复合粉料浆;所述的黏结剂的重量为原料重量的0.5~2.5%;
(3)采用闭环造粒方式对氮化硅复合粉浆料进行喷雾造粒,制得氮化硅造粒粉;
(4)将氮化硅造粒粉倒入密封环模具,然后于20~80MPa的压力下模压成型后进行120~250MPa冷等静压处理成型,制得氧化硅环坯体;
(5)将氮化硅环坯体于1~8MPa氮气气氛、1750~1850℃条件下进行烧结,制得氮化硅密封环。
2.根据权利要求1所述的一种高性能氮化硅密封环的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,采用球磨的方式将原料、黏结剂与无水乙醇混匀。
3.根据权利要求2所述的一种高性能氮化硅密封环的制备方法,其特征在于,所述球磨时的球、料比2~3∶1。
4.根据权利要求2或3所述的一种高性能氮化硅密封环的制备方法,其特征在于,所述黏结剂为聚乙二醇、聚乙烯醇羧丁醛中任意的一种或两种。
5.根据权利要求1所述的一种高性能氮化硅密封环的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中,喷雾造粒的工艺条件为氮气气氛,进口温度150~190℃,出口温度65~90℃。