一种无应力InN纳米线生长方法与流程

文档序号:12416667阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种制备无应力InN纳米线的方法,其特征是利用CVD设备升华法生长InN纳米线;衬底采用蓝宝石、硅或石英玻璃、GaN/蓝宝石(硅),衬底清洗后,先覆盖单层或多层石墨烯薄膜;将覆有石墨烯薄膜的衬底表面沉积Au,放入CVD管式炉生长系统中,开始InN纳米线生长;常压,生长温度:500–800℃;高纯N2作为载气先吹扫管式炉去除空气等,然后持续通气保护InN纳米线外延,生长期间总N2载气流量0-5slm;In源采用常规的高纯金属铟升华铟蒸汽和高纯氨气NH3反应生成InN。高纯氨气作为氮源,NH3流量:100–2000sccm;生长时间30-150分钟。

2.根据权利要求1所述的用升华法生长InN纳米线,其特征是,采用常压升华法,金属In作为铟源,铟升华和NH3反应,超过铟熔点温度时升华;Au作为催化剂。

3.根据权利要求1所述的用升华法生长InN纳米线,其特征是,石墨烯转移到衬底上,在100-150℃温度下烘干以使得石墨烯和衬底之间紧密接触,时间10-20分钟。

4.根据权利要求1所述的用升华法生长InN纳米线,其特征是,生长温度是:550-750℃。

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