一种蓝宝石晶体生长提拉装置的制作方法

文档序号:11975071阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型一种蓝宝石晶体生长提拉装置,其特征在于,包括籽晶杆、磁流体密封装置、轴承座、称重传感器、十字导轨,籽晶杆、磁流体密封装置经轴承座连接到称重传感器的下端,磁流体密封装置与轴承座固定连接,籽晶杆穿过磁流体密封装置和轴承座,十字导轨与轴承座相连接,通过调整十字导轨可以在XY方向调整籽晶杆。通过十字导轨和磁流体密封装置能够有效提高籽晶杆移动的精度,进而改善产品质量。

技术研发人员:严辉
受保护的技术使用者:上海申骅机电设备制造有限公司
文档号码:201620476778
技术研发日:2016.05.24
技术公布日:2016.12.07

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