一种新型多晶铸锭刷涂涂层结构坩埚的制作方法

文档序号:11975064阅读:240来源:国知局

本实用新型涉及一种新型多晶铸锭刷涂涂层结构坩埚。



背景技术:

针对坩埚氮化硅涂层制备,目前行业里面几乎全部采用的是喷涂处理技术,使用高压喷枪在坩埚内侧与多晶硅锭的接触区域喷涂一层氮化硅涂层,用于降低多晶硅中的氧碳等杂质含量,同时保护石英坩埚,防止粘埚,方便脱模。但喷涂氮化硅涂层方式存在以下缺陷:首先,喷涂作业环境恶劣,会产生大量有害粉尘;其次,喷涂设备备件及维护成本高;最后,喷涂生产的晶锭表面易附着氮化硅粉颗粒,产生的循环料喷砂打磨处理损耗大,成本高。



技术实现要素:

本实用新型其目的就在于提供一种新型多晶铸锭刷涂涂层结构坩埚,解决了传统坩埚喷涂涂层喷涂作业环境恶劣,会产生大量有害粉尘,且喷涂设备及维护成本高,喷砂打磨处理损耗大的问题。

实现上述目的而采取的技术方案,包括一体成型的坩埚埚底和坩埚侧壁,所述坩埚侧壁内侧表面上端设有毛刷涂层,毛刷涂层上端边缘低于坩埚侧壁上端边缘,所述坩埚埚底内侧表面和坩埚侧壁内侧表面均设有滚刷涂层,所述坩埚侧壁内侧表面上的滚刷涂层覆盖毛刷涂层表面。

有益效果

与现有技术相比本实用新型具有以下优点。

1.刷涂过程采用毛刷或滚刷,摈弃了喷涂装置和加热装置等,减少了设备备件维护成本,涂刷过程几乎不产生粉尘,降低了粉尘污染;

2.氮化硅致密性及附着力更好,晶锭四周表面光滑平整,大大降低了循环料喷砂打磨处理成本和损耗。

附图说明

以下结合附图对本实用新型作进一步详述。

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

本装置包括一体成型的坩埚埚底2和坩埚侧壁1,如图1所示,所述坩埚侧壁1内侧表面上端设有毛刷涂层3,毛刷涂层3上端边缘低于坩埚侧壁1上端边缘,所述坩埚埚底2内侧表面和坩埚侧壁1内侧表面均设有滚刷涂层4,所述坩埚侧壁1内侧表面上的滚刷涂层4覆盖毛刷涂层3表面。

所述滚刷涂层4和毛刷涂层3涂料均为氮化硅涂料涂刷制成。

滚刷涂层4和毛刷涂层3氮化硅涂料中引入胶水,毛刷涂层3离坩埚侧壁1上沿15-25CM,宽度为10CM左右,该涂层采用毛刷刷涂,用毛刷蘸取配制好的氮化硅涂料,来回刷涂,用力适中,待毛刷涂层3刷涂完后干燥0.5小时,滚刷涂层4采用滚刷刷涂,将配制好的氮化硅涂料倒在坩埚表面,用滚刷刷涂均匀。以上毛刷涂层3和滚刷涂层4均必须保证涂层均匀平整,且坩埚面尽量保证水平,避免浆料在坩埚侧壁1因流动而出现涂层厚薄不均现象。

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