技术总结
一种三氯氢硅生产系统，包括蒸发器、热氢化炉、冷氢化反应器、过滤器、冷凝器和提纯分离塔，热氢化炉与冷氢化反应器相连，将热氢化后的尾气通入冷氢化反应器内反应；过滤器与冷氢化反应器相连以过滤冷氢化反应器的尾气；蒸发器与热氢化炉、过滤器和冷凝器相连，蒸发器将作为原料的四氯化硅与氢气与过滤后的尾气换热，尾气通入冷凝器；冷凝器将尾气冷凝获得氯硅烷；提纯分离塔将液态氯硅烷分离提纯分离。本实用新型的三氯氢硅生产系统，可以有效利用热氢化尾气余热，并把热氢化产生的副产物氯化氢作为原料参与冷氢化反应，降低电耗，提高原料利用率，降低整体运行成本。
技术研发人员：齐林喜;赵亮;陈建宇
受保护的技术使用者：内蒙古盾安光伏科技有限公司
文档号码：201620950591
技术研发日：2016.08.27
技术公布日：2017.02.22