一种加压式多晶硅坩埚模具的制作方法

文档序号:11041587阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及机械模具领域,公开了一种加压式多晶硅坩埚模具,包括坩埚左壳体、坩埚右壳体和2个坩埚隔板,坩埚左壳体和坩埚右壳体均为敞口式壳体,坩埚左壳体和坩埚右壳体的开口端对接后形成一个密闭腔体,2个坩埚隔板分别安装在坩埚左壳体和坩埚右壳体内部,坩埚隔板与坩埚左壳体形成第一空腔,坩埚隔板与坩埚右壳体形成第二空腔,坩埚左壳体和坩埚右壳体对接处形成第三空腔,第三空腔内设有加热系统和用于控制和调节加热系统温度的控制器,坩埚左壳体和坩埚右壳体上还设有加压孔和排气孔;本实用新型采用坩埚隔板结构设计,对坩埚加压有利于原材料快速成型,结构合理,自动化程度高。

技术研发人员:钟伟;陆文研
受保护的技术使用者:无锡舜阳新能源科技股份有限公司
文档号码:201620982364
技术研发日:2016.08.30
技术公布日:2017.04.26

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