1.一种高纯度高导热碳纳米管阵列热界面材料的制备装置，其特征在于该装置包括氦气瓶(1)、氩气/氢气混合气瓶(2)、质量流量控制器一(3)、质量流量控制器二(4)、进气口(5)、铝箔船型容器(6)、热盘(7)、石英管(8)、SiO2基底(9)、硅衬底(10)、铁质下降楔形台(11)、管式加热炉(12)、排气口(13)；
氦气瓶(1)和氩气/氢气混合气瓶(2)分别通过质量流量控制器一(3)、质量流量控制器二(4)连接至进气口(5)；进气口(5)通过机械咬合方式连接至石英管(8)的一端；石英管的另一端为排气口(13)；石英管(8)横贯管式加热炉(12)，在石英管(8)位于管式加热炉(12)中的部分中部放置铁质下降楔形台(11)，铁质下降楔形台(11)倾角面迎着来流方向，往上依次放置硅衬底(10)和SiO2基底(9)；管式加热炉(12)外的石英管(8)部分中部置有一铝箔船型容器(6)，铝箔船型容器(6)正下方放置一热盘(7)用于对铝箔船型容器(6)内的催化剂进行加热。