一种密封式光棒烧结装置的制作方法

文档序号:14916542发布日期:2018-07-11 01:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种密封式光棒烧结装置,其包括烧结管、加热炉体、加热装置、进气管、石英盖板、抽风管和光棒移动装置;石英盖板设置在烧结管上端,在石英盖上设有一用于挂棒穿过的石英盖板通孔,石英盖板通孔的直径大于挂棒的直径;进气管连通设置在烧结管下端,抽风管设置在石英盖上侧;加热装置设置在加热炉体中,加热炉体设置在烧结管中部外侧,光棒移动装置设置在加热炉体外侧;其特征为它还包括石英环、石墨垫圈和密封圈,石英环上设有石英环通孔,石墨垫圈上设有石墨垫圈通孔,密封圈上设有密封圈通孔,石英环通孔的直径大于挂棒的直径且小于石英盖板通孔的直径,石墨垫圈通孔直径大于挂棒的直径且小于石英环通孔的直径,密封圈通孔与挂棒紧密贴合;石英环设置在石英盖板上,石墨垫圈设置在石英环上,密封圈设置在石墨垫圈上。

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