本发明涉及蓝宝石晶体新材料长晶设备,特别涉及多段式解析度称重装置。
背景技术:
蓝宝石ky长晶法在长晶的过程会缓缓地提拉晶体,并且会对晶体成长的重量、重量增加率做测量监测。所以重量测量是一个非常重要的参数,其测量的准确度直接影响晶体的成长品质。
目前主流的设计如图1至图3所示,在机台10上设有升降台20,升降台20的升降托座30上放置一对2个压力电阻40,晶杆托座60通过调整螺丝50安装架设在压力电阻40的顶部,晶杆吊杆70安装在晶杆托座60上。
晶杆吊杆70承受的重力通过晶杆托座60会压在压力电阻40上,使电阻材料产生形变,材料产生变形后会改变的电阻值,测量电阻的端电压差的变化来判定晶体80的重量,如图4所示。
压力电阻r(w)与重量w的关系式
r(w)=r1+kw,r1为常数,在不受重压时的值
重力w和电压u的关系式
当r1+r2>>kw
v,r1,r2,k为常数,
r(w)在材料弹性限度内,
u=a+k′w
配合图5所示,然后把电压u,再经数位转进入电脑做处理,计算出重量和重量改变率。
称重系统的讯号解析度取决于称重的重量区间(wmax)和把电压讯号转换成多少位元的数位讯号。
称重区间0~wmax,电压umin~umax转换成n位元,
在长晶的过程是一种重量缓慢增加的过程,在重量增加的过程,其增加率也会增加。在大公斤数长晶(60kg以上)制程,由于在长晶初期重量的变化量小于称重系统的解析度,wmax越大,解析度越低;因此常会造成长晶重量改变率参数误判。但随着晶体重量渐渐加大后,重量改变率也会加大,那变化量开始大于称重系统的解析度,这时的测不准的影响会消除掉。简言之,长晶初期对称重系统的解析度要求高,中后期的要求会降低。而目前的设计并没办法满足这要求。
技术实现要素:
本发明的目的在于提供一种多段式解析度称重装置,以满足到长晶过程中在不同重量区间其对测量解析度的要求。
为了达成上述目的,本发明的解决方案是:
多段式解析度称重装置,在机台上设有升降台,升降台的升降托座上并排放置四对压力电阻,共8个压力电阻,晶杆托座通过调整螺丝安装架设在压力电阻的顶部,晶杆吊杆安装在晶杆托座上,每一对压力电阻的2个压力电阻并联,四对压力电阻串联后再与电脑联接,在不同称重的区间采用不同数量的压力电阻来分多段测量重量,并通过压力电阻将信号传送至电脑进行多段式解析。
所述升降托座的底部由中间向两边呈左右对称的阶段式增高,共有4个阶段,四对压力电阻依次放置在升降托座的4个阶段上,压力电阻的顶部也由中间向两边呈左右对称的阶段式增高。
采用上述方案后,本发明是利用四组8个压力电阻组成的称重系统,使系统在不同的称重区间有着不同的解析度,在小重量区间时其解析度高,随称重量增大解析度会分四阶段降低,以满足到长晶过程中在不同重量区间其对测量解析度的要求。
附图说明
图1是目前称重装置的机械结构示意图;
图2是目前称重装置的机械动作示意图;
图3是目前称重装置的机械结构放大图;
图4是目前称重装置的电路结构示意图;
图5是本发明的机械结构放大图;
图6是本发明的重量与电压差关系图;
图7是本发明的电路结构示意图;
图8是本发明的机械动作放大图一;
图9是本发明的机械动作放大图二;
图10是本发明的机械动作放大图三;
图11是本发明的机械动作放大图四。
标号说明
机台10,升降台20,升降托座30,阶段31,压力电阻40,调整螺丝50,晶杆托座60,晶杆吊杆70,晶体80。
具体实施方式
如图5至图11所示,本发明揭示的多段式解析度称重装置,在机台(图中未示出)上设有升降台20,升降台20的升降托座30上并排放置四对压力电阻40,共8个压力电阻40,晶杆托座60通过调整螺丝50安装架设在压力电阻40的顶部,晶杆吊杆70安装在晶杆托座60上,每一对压力电阻40的2个压力电阻40并联,四对压力电阻40串联后再与电脑(图中没有示出)联接,在不同称重的区间,采用不同数量的压力电阻40来分多段测量重量,并通过压力电阻40将信号传送至电脑进行多段式解析。
进一步,升降托座30的底部由中间向两边呈左右对称的阶段式增高,共有4个阶段31,四对压力电阻40依次放置在升降托座30的4个阶段31上,压力电阻40的顶部也由中间向两边呈左右对称的阶段式增高。
这样,本发明是利用四组8个压力电阻40组成的称重系统,如图6和图7所示,晶杆(图中未示出)的重力会压在压力电阻40上,使电阻材料产生形变,材料产生变形后会改变的电阻值,测量电阻两端的电压差的变化来判定晶体的重量。系统在不同的称重区间有着不同的解析度,在小重量区间时其解析度高,随称重量增大解析度会分四阶段降低,以满足到长晶过程中在不同重量区间其对测量解析度的要求。
本发明实际应用时,称重过程如下:
在第1阶段0~w1时,用一对压力电阻40测量,这时
δu=k1δw
在第2阶段w1~w2时,用二对压力电阻40测量,因为并联受压材料,这时
在第3阶段w2~w3时,用三对压力电阻40测量,这时
在第4阶段w3~w4时,用四对压力电阻40测量,这时
转换成n位元数位讯号
那对应出
在第1阶段区间0~w1
在第2阶段区间w1~w2
在第3阶段区间w2~w3
在第3阶段区间w3~w4
且
例子:都是使用同样的大小(同型号和规格)的压力电阻40,其电压差和重量比都为k,
称重区间大小一样,w1=w,w2=2w,w3=3w,w4=4w,转换成n位元数位对应出
这时
u1-umin=kw,
当重力在0~w1区间时,如图8所示,系统只作用在右一(一对)的压力电阻40上,当重力>w1但<w2时,如图9所示,这时超过w1的重力会分别作用在右一、右二(两对)的压力电阻40上;因为压力电阻40受挤变形,纵向高度会递减。在重量w1时,右二上端调整螺丝50刚好会触到压力电阻40上,因此大于w1的重量会别作用在两压力电阻40上。右二压力电阻40上端调整螺丝50可以决定w1的值,当调整螺丝50向下时,w1变小,向上时w1变大。
同理;当重力>w2但<w3时,如图10所示,超过w2的重力会分别作用在右一、右二和左二(三对)的压力电阻40上。当重力>w3时,如图11所示,超过w3的重力会分别作用在所有压力电阻40(四对)上。