石墨烯制造装置的制作方法

文档序号:16657665发布日期:2019-01-18 20:06阅读:来源:国知局
技术总结
一种石墨烯制造装置,包含反应腔机构、安装于所述反应腔机构的模具机构、包覆设置于所述模具机构且位于所述反应腔机构内的基体膜,及连结于所述模具机构的驱动机构。所述驱动机构能于化学气相沉积石墨烯过程中传动所述模具机构带动所述基体膜相对所述反应腔机构旋转,使反应沉积于所述基体膜的石墨烯构成立体石墨烯结构体。通过于化学气相沉积石墨烯的过程中,相对所述反应腔机构旋转所述基体膜的方式,能使沉积于所述基体膜的石墨烯构成一体成型结构的立体石墨烯结构体,是一种非常创新的石墨烯制造装置。

技术研发人员:黄国彰
受保护的技术使用者:黄国彰
技术研发日:2018.03.26
技术公布日:2019.01.18

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