顶部籽晶热交换法生长蓝宝石晶体的制作方法

文档序号:16907953发布日期:2019-02-19 18:27阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种顶部籽晶热交换法生长蓝宝石晶体,主要包括一个筒形钨加热器,其中设有一个钼制坩埚,外部设有钨保温层,其特征在于:坩埚上方有一个可升降的热交换器,热交换器下端带有一个夹头,其上装有蓝宝石籽晶,保温系统为钨保温层,外接光电高温计,监测炉内温度变化,晶体生长过程中加热功率和热交换器中的氦气流量分别由可编程自动控制系统独立控制。

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