顶部籽晶热交换法生长蓝宝石晶体的制作方法

文档序号:16907953发布日期:2019-02-19 18:27阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种顶部籽晶热交换法生长蓝宝石晶体,它主要包括一个筒形钨加热器,其上方有一个可升降的热交换器,经氦气压缩机压缩后的氦气在热交换器内进行循环流动,在晶体生长时通过工艺要求可对压缩气体的压力及流量进行调整并通过调整热交换杆的位置使籽晶更好的与坩埚内的熔料进行结合;热交换杆下端带有一个夹头,其上装有籽晶。热交换器可完成籽晶的固定、晶体的转动和提拉。用钼制坩埚,保温系统为钨保温层。外接光电高温计,监测炉内温度变化。晶体生长过程中加热功率和热交换器中的氦气流量分别由可编程自动控制系统独立控制。使用上述装置生长蓝宝石晶体的方法主要包括:熔料、引晶、晶体生长初期、降温生长。

技术研发人员:何明珠;杭寅;朱影;张连翰;蔡双;徐民;潘世烈;赵兴俭;韦建
受保护的技术使用者:新疆紫晶光电技术有限公司
技术研发日:2018.04.11
技术公布日:2019.02.19

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