1.一种生产硅烷混合物反应器系统，包括：
a)至少一个气化室；
b)一种硅材料馈送罐；向腔室中供给硅和合金粉末的装置；
c)一个将氢源送入气化室的供给口；
d)一个能够气化硅和和合金的氢源，例如通过等离子所产生的氢原子或电化学方法产生的氢离子；
e)骤冷装置；
f)一个内部加热单元；
g)一个共同净化单元；散装、硅棒、硅粉末、熔液、悬浮在液体中的熔融盐、蒸汽流、和任何形式的固体、液体或蒸汽的硅；将催化剂负载到硅和合金的装置；冷却存在于所述反应室中的气体的装置；在冷却产品气体混合物后，对硅烷混合物进行纯化的装置；以及可选的，过程结束时回收催化剂和氢气和惰性气体的回收装置。
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述反应腔室是选自填料床、喷动床、流化床、用于硅粉末的移动床、和搅拌床或用于熔体的滴答床。
3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述气化室设有能够承受气化温度的耐火材料制成的内衬。
4.根据权利要求1所述的系统，其中，还配备有一个包围反应室的内部加热单元。