技术总结
本实用新型公开了一种基于QMEMS工艺的压电石英频率片腐蚀机，包括：壳体；旋转平台，其通过安装支架安装于壳体底部；用于储存腐蚀液的腐蚀槽，其设置在旋转平台上；用于清洗石英晶片的喷淋清洗池和浸泡清洗池，其设置在旋转平台上；喷淋清洗池和腐蚀槽对称安装于旋转平台旋转轴两侧，浸泡清洗池位于腐蚀槽和喷淋清洗池另一侧；位于壳体上部的升降电机，其下端通过支架安装有放置石英晶片的晶片篮，升降电机位于旋转平台的上方，通过升降电机将可石英晶片伸入腐蚀槽或清洗槽。本实用新型提高了压电石英频率片制备效率，同时满足了加工压电石英频率片小型化、精密化的要求，可以使厚度更薄、更高频率的压电石英频率片受到均匀腐蚀。
技术研发人员：竹文坤;李辉;龙利;陆旺
受保护的技术使用者：西南科技大学
技术研发日：2019.02.27
技术公布日：2019.04.23