向下。所述内框30的相对两侧壁上分别设有数个沿竖直方向间隔设置的横向固定条31，所述相对两侧壁上的数个横向固定条31分别对应设置。
[0033]所述横向固定条31朝向内框30内部的侧面上沿所述横向固定条31的延伸方向设有数个间隔设置的第一凹槽311，所述第一凹槽311用于固定待蚀刻的玻璃基板。
[0034]所述横向固定条31的上端面上沿所述固定条31的延伸方向设有数个间隔设置的第二凹槽312，所述第二凹槽312用于固定所述内框鼓泡板40 ;具体的，所述内框鼓泡板40的数条鼓泡管道分别卡设于所述横向固定条31上的数个第二凹槽312中，从而使所述内框鼓泡板40固定在横向固定条31上。
[0035]优选的，所述横向固定条31与所述内框30之间为固定连接，所述内框鼓泡板40与所述横向固定条31之间为固定连接，使得所述内框鼓泡板40直接安装及固定在内框30上，无需每批次拆装。
[0036]具体的，使用时，在内框30中放入玻璃基板后，玻璃基板的两侧边分别卡入内框30的相对两侧壁上的多个横向固定条31上开设的第一凹槽311内以实现固定。由于所述第一凹槽311与所述第二凹槽312在所述横向固定条31上交错设置，使得固定后的玻璃基板与每层内框鼓泡板40的鼓泡管道相交错。结合图6，即每一玻璃基板均位于每层内框鼓泡板40的两条相邻鼓泡管道之间，在本实施例中，玻璃基板所在的平面几乎垂直于内框鼓泡板40所在的平面。
[0037]在实际应用中，所述内框鼓泡板40的层数可依据实际槽体结构、及玻璃基板尺寸进行调整，图2所示的实施例以所述内框鼓泡板40为三层进行说明。
[0038]请参阅图6，所述内框鼓泡板40还包括与所述内框鼓泡板40的数条鼓泡管道相连通的外管路支架50，所述内框30侧壁外相对于所述横向固定条31的位置设置有外延承载结构32，所述外延承载结构32用于承载所述外管路支架50。所述内框鼓泡板40还包括分别与所述内框鼓泡板40的数条鼓泡管道两端的外管路支架50相连通的输入管路支架与输出管路支架。
[0039]外管路支架50在本发明中为中空管道结构，用于连通单层内框鼓泡板40中的所有鼓泡管道。具体的，每一鼓泡管道的两端均通过外管路支架50与输入管路支架或输出管路支架连通。同样，输入管路支架和输出管路支架为中空管道结构。
[0040]综上所述，本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机，通过在内框内设置多层鼓泡板，相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。
[0041]以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40); 所述底部鼓泡板(20)与内框鼓泡板(40)分别包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道具有多个鼓泡孔。2.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框(30)的相对两侧壁上分别沿竖直方向间隔设置有数个横向固定条(31)，所述相对两侧壁上的数个横向固定条(31)分别相对设置。3.如权利要求2所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)朝向内框(30)内部的侧面上沿所述横向固定条(31)的延伸方向设有数个间隔设置的第一凹槽(311)，所述第一凹槽(311)用于固定待蚀刻的玻璃基板。4.如权利要求3所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)的上端面上沿所述横向固定条(31)的延伸方向设有数个间隔设置的第二凹槽(312)，所述第二凹槽(312)用于固定所述内框鼓泡板(40)。5.如权利要求4所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框鼓泡板(40)的数条鼓泡管道分别卡设于所述横向固定条(31)上的数个第二凹槽(312)中，从而使所述内框鼓泡板(40)固定在所述横向固定条(31)上。6.如权利要求2所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)与所述内框(30)之间为固定连接，所述内框鼓泡板(40)与所述横向固定条(31)之间为固定连接。7.如权利要求4所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述第一凹槽(311)与所述第二凹槽(312)在所述横向固定条(31)上交错设置。8.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述鼓泡管道上的鼓泡孔的气孔开口向下。9.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述多个鼓泡孔沿鼓泡管道均匀分布，且每一鼓泡孔均为圆形鼓泡孔。10.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框鼓泡板(40)还包括与所述内框鼓泡板(40)的数条鼓泡管道相连接的外管路支架(50)，所述内框(30)侧壁外相对于所述横向固定条(31)的位置设置有外延承载结构(32)，所述外延承载结构(32)用于承载所述外管路支架(50)。
【专利摘要】本发明提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40)；相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。
【IPC分类】C03C15/00
【公开号】CN104891817
【申请号】CN201510314348
【发明人】刘亮, 尹德胜
【申请人】武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年6月9日