曝气管、曝气盘及浸泡式蚀刻机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及液晶面板制造技术领域，特别涉及一种曝气管、曝气盘及浸泡式蚀刻机。
【背景技术】
[0002]液晶显示器是当今市场上的主流平板显示装置技术，现有液晶显示器的液晶玻璃基板一般的结构包括:上下贴合的TFT基板与CF基板，以及灌注于该TFT基板与CF基板之间的液晶分子。在标准的液晶玻璃基板成型前，需要对板材装的玻璃基板进行减薄及切割分离。其中，减薄是指减小玻璃基板两个相对的外表面的玻璃厚度尺寸，以符合设计规定所述需要的液晶玻璃基板厚度。现有技术中，常用的减薄的设备有浸泡式蚀刻设备及顶喷式蚀刻设备。其中，浸泡式蚀刻设备是采用浸泡方式对所述玻璃基板外表面进行蚀刻，在浸泡过程中，设备底部的曝气盘通过一个空气压缩机为多个曝气管提供气体对蚀刻液体进行搅拌，其中曝气管上设置大小相同的呈直线排列的通气孔用于对蚀刻液体循环吹气。但是此结构的曝气盘边缘气流较弱，蚀刻液体循环不畅通，导致玻璃基板边缘砂堆积现象明显恶化，影响玻璃基板表面质量。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种曝气管，解决曝气盘边缘气流较弱而影响玻璃基板表面质量的技术问题。
[0004]本发明还提供一种曝气盘及浸泡式蚀刻机。
[0005]为了实现上述目的，本发明实施方式提供如下技术方案:
[0006]本发明提供一种曝气管，所述曝气管为中空管体，其包括管壁，所述管壁围城的空腔及位于管壁两端的开口端，所述管壁上沿轴线方向设有数个呈直线排列的第一通气孔，所述管壁上靠近每一开口端、且位于所述开口端与数个第一通气孔中最外侧的第一通气孔之间的位置设有第二通气孔，所述第二通气孔中心所在直线与所述第一通气孔中线所在直线错位设置，所述第一通气孔的直径小于所述第二通气孔的直径。
[0007]其中，所述管壁上设有两排呈平行直线排列的第一通气孔。
[0008]其中，靠近每一个开口端处的所述第二通气孔为两个且沿着曝气管轴线放向排列。
[0009]其中，所述第一通气孔及所述第二通气孔均与所述空腔贯通。
[0010]其中，所述两个第二通气孔之间的距离为1.5cm-3cmm。
[0011]本发明提供一种曝气盘，所述曝气盘包括多个曝气管平行排列形成的第一曝气管组、与多个曝气管的开口端连通的第一通气管及与第一通气管连通的第一真空压缩机，所述曝气管为中空管体，曝气管包括管壁，所述管壁围城的空腔及位于管壁两端的开口端，所述管壁上沿轴线方向设有数个呈直线排列的第一通气孔，所述管壁上靠近每一开口端、且位于所述开口端与数个第一通气孔中最外侧的第一通气孔之间的位置设有至少一个第二通气孔，所述第二通气孔中心所在直线与所述第一通气孔中线所在直线错位设置，所述第一通气孔的直径小于所述第二通气孔的直径。
[0012]其中，所述管壁上设有两排呈平行直线排列的第一通气孔；靠近每一个开口端处的所述第二通气孔为两个且沿着曝气管轴线放向排列。
[0013]其中，所述第一通气孔及所述第二通气孔均与所述空腔贯通。
[0014]其中，所述曝气盘还包括多个曝气管平行排列形成的至少一个第二曝气管组、与所述第二曝气管的开口端连通的第二通气管及与第二通气管连通的第二真空压缩机，所述至少一个第二曝气管组与所述第一曝气管组平行排列。
[0015]本发明提供一种浸泡式蚀刻机，浸泡式蚀刻机包括所述的曝气盘。
[0016]本发明的曝气盘采用的曝气管的两端设有第二通气孔，所述第二通气孔可以满足曝气盘边缘位置气流的流动，保证蚀刻液体边缘的循环。同时曝气盘的不同曝气管组采用单独的供气装置，可以保证整个曝气盘产生足够的气流循环，也可以实现局部位置的气流的大小变化，通用性强。
【附图说明】
[0017]为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本发明较佳实施方式中的曝气管结构示意图。
[0019]图2是本发明的曝气盘示意图，其中只包括第一曝气管组。
[0020]图3是本发明的曝气盘示意图，其中，只包括第一曝气管组及第二曝气管组。
【具体实施方式】
[0021]下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0022]本发明的较佳实施例提供了一种曝气管及曝气盘。所述曝气盘用于在浸泡喷式蚀刻机对液晶显示器玻璃基板进行蚀刻时，为蚀刻液体提供气压。
[0023]请参阅图1，本发明所述的曝气管10为中空管体，其包括管壁11，所述管壁11围城的空腔(图未标)及位于管壁11两端的开口端12。所述管壁11上沿轴线方向设有数个呈直线排列的第一通气孔13。所述数个呈直线排列的第一通气孔13至少排列成一排。所述管壁11上靠近每一开口端12、且位于所述开口端12与数个第一通气孔13中最外侧的第一通气孔13之间的位置设有至少一个第二通气孔14。所述第二通气孔14中心所在直线与所述第一通气孔13中线所在直线错位设置，所述第一通气孔13的直径小于所述第二通气孔14的直径。进一步的，所述第一通气孔13及所述第二通气孔14均与所述空腔贯通。靠近每一个开口端12处的所述第二通气孔14为两个且沿着曝气管10轴线方向排列。可以理解，所述第二通气孔14不限于两个，根据曝气管10的尺寸及实际应用而设定数量。由于第二通气孔14的存在，曝气管10在使用过程中，位于边缘的蚀刻液体具有足够的气流进入，可以实现对蚀刻液体边缘提供足够气压，保证曝气管周缘的蚀刻液体的循环。
[0024]本实施例中，所述管壁11上设有一排呈平行直线排列的第一通气孔13，即每一排有数个大小相同的圆心在同一直线的第一通气孔13。所述第一通气孔13直径为
0.2mm-0.3mm。本实施例中，所述曝气管10的两端的第二通气孔14均为两个且沿着曝气管轴线放向呈直线排列，并且第二通气孔14靠近开口端12位置。所述第二通气孔14中心所在直线与所述第一通气孔13中线所在直线错位设置，同时第二通气孔14与第一通气孔13在围绕曝气管10的轴线方向亦在曝气管10的两条平行的圆周线上。也就是说，所述第二通气孔14位于所述曝气管10的两端位置，所述数个第一通气孔13位于所述曝气管10的两端的第二通气孔14之间的位置；所述第