用于单晶粘料机的磁性固定卡盘的制作方法

文档序号:8558084阅读:225来源:国知局
用于单晶粘料机的磁性固定卡盘的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及加工机械中使用的固定工具,尤其是一种固定卡盘,属于机械加工工装领域。
【背景技术】
[0002]在加工机械中,固定卡盘的应用极为普遍。单晶粘料机主要用于单晶硅圆棒的粘接,是硅棒进行线开方作业前最严格的工序,对其精度要求极高。传统的固定卡盘通常采用螺丝与放置硅棒的单晶托固定,使用时首先将单晶托放到托盘上,然后用螺丝固定,待粘结完成后,再松开螺丝,将托盘连带单晶取下。上述固定方式的安装拆卸麻烦,使用不方便,影响工作效率,同时由于经常拆装,单晶托和固定螺丝均容易磨损,需要经常更换螺丝、维修单晶托,缩短了使用寿命,同时影响产品的精度。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于单晶粘料机的磁性固定卡盘,拆装单晶托方便快速,提高了生产效率,降低了生产成本。
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案如下:
[0005]一种用于单晶粘料机的磁性固定卡盘,包括底座、固定连接单晶托的圆板形的托盘和用于磁化托盘的磁体,所述托盘的一侧圆端面上沿圆外周垂直一圈凸缘,所述磁体固定连接在托盘的另一侧圆端面上,磁体和托盘通过支撑架固定设置在底座上。
[0006]上述用于单晶粘料机的磁性固定卡盘的进一步改进在于,所述磁体上设置开关。
[0007]上述用于单晶粘料机的磁性固定卡盘的进一步改进在于,所述托盘的凸缘上开设有定位孔。
[0008]采用上述技术方案所产生的有益效果在于:
[0009]本实用新型结构简单、操作方便,在粘接单晶前,将单晶托安装到托盘上,闭合开关,通过磁体对托盘进行加磁,使托盘与单晶托固定连接;待单晶粘接完成后,断开开关,进行去磁操作,单晶托与托盘分离。提高了工作效率,降低了劳动强度,同时防止了单晶托的磨损,延长了使用寿命,降低了生产成本。
[0010]在磁体上设置开关,加磁去磁操作方便。托盘凸缘的定位孔保证单晶在粘结及切割过程中单晶的棱线、即晶向与切割面平行,确保产品精度。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的主视图;
[0012]图2是本实用新型的侧视图。
[0013]图中各标号表示为:1、托盘,2、磁体,3、开关,4、支撑架,5、底座,6、定位轴,7、定位孔。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明:
[0015]一种用于单晶粘料机的磁性固定卡盘,结构如图1和图2所示,包括托盘1、磁体2、支撑架4和底座5。所述托盘I与磁体2固定连接,所述支撑架4的底端与底座5固定相连;支撑架4的顶端与磁体2固定连接。
[0016]所述托盘I用于固定连接单晶托,托盘I为圆板形状结构,托盘I的中心设置定位轴6,通过定位轴6将托盘与磁体固定连接。在粘结单晶时单晶托中心与定位轴6同轴心,保证能够单晶中心定位准确。在圆板其中的一侧圆端面上沿圆外周垂直一圈凸缘,所述凸缘上开设有定位孔7。托盘I的另一侧圆端面与磁体2固定相连。
[0017]所述磁体2用于给托盘I加磁,磁体2固定连接在托盘I的圆端面上,在磁体2上设置开关3。磁体2和托盘I通过支撑架4固定设置在底座5上。
[0018]本实用新型的使用方法为:
[0019]本发明在固定过程中采用磁力固定,当进行单晶粘接时,闭合开关3,磁体2对托盘I加磁,通过磁力使托盘I与单晶托固定连接;当需要取下单晶托时,断开开关3,托盘I去磁,单晶托即能取下。
[0020]上述方案仅作为本实用新型可实施的技术方案提出,不作为对其技术方案本身的单一限制条件。
【主权项】
1.一种用于单晶粘料机的磁性固定卡盘,其特征在于:包括底座(5)、固定连接单晶托的圆板形的托盘(I)和用于磁化托盘(I)的磁体(2),所述托盘(I)的一侧圆端面上沿圆外周垂直一圈凸缘,所述磁体(2)固定连接在托盘(I)的另一侧圆端面上,磁体(2)和托盘(I)通过支撑架(4)固定设置在底座(5)上;所述托盘(I)的凸缘上开设有定位孔(7)。
2.根据权利要求1所述的用于单晶粘料机的磁性固定卡盘,其特征在于:所述磁体(2)上设置开关(3)。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于单晶粘料机的磁性固定卡盘,包括底座、固定连接单晶托的圆板形的托盘和用于磁化托盘的磁体,所述托盘的一侧圆端面上沿圆外周垂直一圈凸缘,所述磁体固定连接在托盘的另一侧圆端面上,磁体和托盘通过支撑架固定设置在底座上。使用本实用新型拆装方便快速,提高了生产效率,降低了生产成本。
【IPC分类】C30B33-06
【公开号】CN204265892
【申请号】CN201420725005
【发明人】王志勇, 吴涛, 吕思迦, 杨建勇, 谷元超, 刘建勇
【申请人】宁晋晶兴电子材料有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年11月27日
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