一种三段式玻璃镀膜工艺隔断室的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型具体涉及一种三段式玻璃镀膜工艺隔断室。
【背景技术】
[0002]传统的镀膜工艺室根据镀膜材质的不同和工艺性能的不同分成了若干个真空腔室16，玻璃原片在真空腔室16中移动，来实现镀膜工艺的完成。由于真空腔室内各隔板上开有玻璃原片通过的通道口和由破真空阀控制开关的进气口 14，实际上各真空腔室16是互相贯通的，即工艺室内为一个整体的真空腔室。与真空腔室16连通的上腔体13内设有分子栗15，在现实生产过程中，若需更换一个上腔体13内的靶材，或定期清除一段真空腔室16的隔板上的溅射靶材，都需让所有的真空腔室16都破真空，然后才能移开上腔体13进行作业。作业完成并将上腔体16安装完成后，还需花大量时间来对整个工艺室抽真空。这样，既花费了大量时间，又消耗了大量能源。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种三段式玻璃镀膜工艺隔断室，以解决一段空腔室需要破真空时，整个工艺室都要破真空的问题。
[0004]为实现上述目的，本实用新型所采取的技术方案是:提供一种三段式玻璃镀膜工艺隔断室，隔断室位于相邻的两个真空腔室之间，隔断室内部通过两块隔板分隔为隔断室腔体1、隔断室腔体II和隔断室腔体III，隔断室两端和隔板上均开设有用于玻璃原片通过的通道口，隔断室内底上设有多个输送玻璃原片通过的传输辊，隔断室上面设有三块用于密封隔断室的盖板；
[0005]隔断室腔体III内设有安装在隔板上的翻板阀I，翻板阀I上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板上的通道口的密封软垫I;
[0006]隔断室腔体I内设有安装在隔板上的翻板阀II，翻板阀II上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板上的通道口的密封软垫II。
[0007]本实用新型的有益效果为:
[0008]1、本实用新型的隔断室位于相邻的两个真空腔室之间，隔断室内部通过两块隔板分隔为隔断室腔体1、隔断室腔体II和隔断室腔体III，隔断室两端和隔板上均开设有通道口，隔断室内底上设有多个传输辊，隔断室上面设有三块用于密封隔断室的盖板；隔断室腔体III内设有安装在隔板上的翻板阀I，翻板阀I上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板上的通道口的密封软垫I ;隔断室腔体I内设有安装在隔板上的翻板阀II，翻板阀II上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板上的通道口的密封软垫II。如果我们现在需要对右边的真空腔室进行破真空后开箱作业，关闭翻板阀II后打开进气口，使真空腔室内、外压力平衡后即可进行开箱作业。密封软垫II在大气压的作用下通道口牢固的密封住，左侧的真空腔室被破真空。同样，如果需要对左边的真空腔室进行破真空后开箱作业，只需关闭翻板阀I后对左边的真空腔室进行破真空即可。这样不用整个工艺室全部破真空，节约了作业时间，并且降低了能源消耗。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型结构示意图。
[0010]其中:1、通道口 ；2、翻板阀I ;3、密封软垫I ;4、隔断室；5、传输辊；6、密封软垫
II;7、翻板阀II ;8、盖板；9、隔断室腔体I ;10、隔板；11、隔断室腔体II ;12、隔断室腔体
III;13、上腔体；14、进气口 ；15、分子栗；16、真空腔室。
【具体实施方式】
[0011]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。
[0012]参考图1，本实施例提供一种三段式玻璃镀膜工艺隔断室，隔断室位于相邻的两个真空腔室之间，隔断室4内部通过两块隔板10分隔为隔断室腔体I 9、隔断室腔体II 11和隔断室腔体III 12，隔断室4两端和隔板10上均开设有用于玻璃原片通过的通道口 1，隔断室4内底上设有多个输送玻璃原片通过的传输辊5，隔断室4上面设有三块用于密封隔断室4的盖板8。
[0013]隔断室腔体III12内设有安装在隔板10上的翻板阀I 2，翻板阀I 2上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板10上的通道口 I的密封软垫I 3。隔断室腔体I 9内设有安装在隔板10上的翻板阀II 7，翻板阀II 7上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板10上的通道口 I的密封软垫II 6。
[0014]在实施过程中，翻板阀I 2和翻板阀II 7在正常工作时是常开的。如果我们现在需要对隔断室4右边的真空腔室16进行破真空后开箱作业，应先关闭翻板阀II 7，然后打开进气口 14向真空腔室16中引入纯净空气，使真空腔室16内、外压力平衡后(一个大气压)就可进行开箱作业，即移开上腔体13。翻板阀II 7上的密封软垫II 6在大气压的作用下将隔板上的通道口牢固的密封住，以避免隔断室4左侧的真空腔室被破真空。作业完成后，启动分子栗15和其它的真空栗对真空腔室16抽真空，在真空腔室16内的真空度达到要求后，开启翻板阀II 7，这样就可进行新一轮的玻璃镀膜生产作业了。
[0015]同样，如果需要对隔断室4左边的真空腔室16进行破真空后开箱作业，只需关闭翻板阀I 2，然后对隔断室4左边的真空腔室16进行破真空即可。这样不用整个工艺室全部破真空，节约了作业时间，并且降低了能源消耗。
[0016]上述实施方式用来解释说明本实用新型，而不是对本实用新型进行限制，在本实用新型的精神和权利要求的保护范围内，对本实用新型做出的任何修改和改变，都落入本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种三段式玻璃镀膜工艺隔断室，其特征在于:隔断室位于相邻的两个真空腔室之间，隔断室内部通过两块隔板分隔为隔断室腔体1、隔断室腔体II和隔断室腔体III，隔断室两端和隔板上均开设有用于玻璃原片通过的通道口，隔断室内底上设有多个输送玻璃原片通过的传输辊，隔断室上面设有三块用于密封隔断室的盖板； 所述隔断室腔体III内设有安装在隔板上的翻板阀I，翻板阀I上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板上的通道口的密封软垫I; 所述隔断室腔体I内设有安装在隔板上的翻板阀II，翻板阀II上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板上的通道口的密封软垫II。
【专利摘要】本实用新型公开了一种三段式玻璃镀膜工艺隔断室，隔断室位于相邻的两个真空腔室之间，隔断室内部通过两块隔板分隔为隔断室腔体Ⅰ、隔断室腔体Ⅱ和隔断室腔体Ⅲ，隔断室两端和隔板上均开设有用于玻璃原片通过的通道口，隔断室内底上设有多个输送玻璃原片通过的传输辊，隔断室上面设有三块用于密封隔断室的盖板；隔断室腔体Ⅲ内设有安装在隔板上的翻板阀Ⅰ，翻板阀Ⅰ上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板上的通道口的密封软垫Ⅰ；隔断室腔体Ⅰ内设有安装在隔板上的翻板阀Ⅱ，翻板阀Ⅱ上通过螺栓固定有在气压作用下密封隔板上的通道口的密封软垫Ⅱ。本实用新型不用整个工艺室全部破真空，节约了作业时间，并且降低了能源消耗。
【IPC分类】C03C17/00
【公开号】CN204803227
【申请号】CN201520430959
【发明人】贺强
【申请人】中建材（内江）玻璃高新技术有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年6月23日