单晶炉的制作方法_2

文档序号:10009378阅读:来源:国知局
631沿螺杆1631的长度方向的移动带动连接板151以垂直于所述旋转轴152的轴线方向进行转动。由于方向调节机构164的存在,克服了由于连接板151的转动给螺杆1631带来的应力,方向调节机构164可以为万向节联轴器,也可以为其他调节方向的结构,本实用新型在此不作限定。这样便可实现驱动机构160驱动连接机构150带动副炉体120在一定角度范围内转动,一般的,该副炉体转动的范围为小于等于60°。
[0025]除了以上所述的十字滑台165与方向调节机构164来实现螺杆1631的一端在连接板151的侧面滑动,也可以在连接板151的侧面开设凹槽,该螺杆1631的一端在该凹槽内滑动,并且该螺杆1631的端面为圆形,连接板151的侧面的凹槽的内部的形状与螺杆1631的端部的形状相匹配,螺杆1631在该凹槽内也可实现在一定角度范围内的晃动,上述结构可根据实际情况与生产需要进行选用,本实用新型在此不作限定。
[0026]上述驱动电机161可为同步电机,传动装置162可以为传动齿轮,也可以根据安装环境的需求选换向齿轮,本实用新型在此不作限定。
[0027]为更好的固定上述驱动机构160,还可以包括一承载平台190,该承载平台190安装在支撑柱140的外侧壁上,驱动电机161及传动装置162固定在承载平台190的上表面,但本实用新型不限定于此,只要该驱动电机161和传动装置162能固定,并能达到驱动螺杆1631转动即可。
[0028]上述单晶炉100还可以包括支撑结构180,该支撑结构180用以支撑主炉体110。
[0029]上述结构待主炉体110内完成一根单晶棒的生长后,打开隔离阀130,将该单晶棒上升至副炉体120里进行冷却,晶体棒在副炉体120内完成冷却后,升降机构(图未示)将副炉体120从主炉体110上分离,此时,工作人员通过控制机台控制旋转驱动机构160的驱动电机161工作,驱动电机161通过传动装置162控制滚珠丝杠163的螺杆1631进行线性运动,进而通过十字滑块165及方向调节机构164驱动连接板151带动副炉体120进行转动,从而将冷却后的单晶棒取出。
[0030]上述实施例描述了驱动机构160驱动连接机构150带动副炉体120进行在一定角度内转动的过程,代替人力推动副炉体120进行转动的传统的工作模式,降低了人力的成本,提尚了生广效率。
[0031]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
[0032]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种单晶炉,该单晶炉包括: 主炉体; 副炉体,装配在所述主炉体的上部; 支撑柱,位于所述主炉体与所述副炉体的一侧; 连接机构用以连接所述支撑柱与所述副炉体,其中,该连接机构包括旋转轴与连接板,所述旋转轴固定在所述支撑柱的侧壁,所述连接板与副炉体固定连接,与支撑柱转动连接,其特征在于,还包括旋转驱动机构,连接所述连接板,所述旋转驱动机构可驱动连接板带动所述副炉体以垂直于所述旋转轴的轴线方向转动。2.根据权利要求1所述的单晶炉,其特征在于,所述旋转驱动机构具有驱动部件,所述驱动部件能够推动所述连接板绕支撑柱转动。3.根据权利要求2所述的单晶炉,其特征在于,所述驱动部件为螺杆,所述旋转驱动机构还包括:驱动电机,传动装置,所述驱动电机通过所述传动装置驱动所述螺杆转动,进而使所述螺杆沿所述螺杆的长度的方向移动;所述螺杆的一端滑动固定于所述连接板的侧面,使所述螺杆的一端在所述连接板的侧面相对滑动。4.根据权利要求2所述的单晶炉,其特征在于,还包括十字滑块与方向调节机构,所述十字滑块固定于所述连接板的侧面,所述螺杆的端面通过所述方向调节结构与所述十字滑块连接,所述螺杆的端面可利用十字滑块与所述方向调节机构在所述连接板的侧面进行滑动。5.根据权利要求4所述的单晶炉,其特征在于,所述方向调节机构为万向节联轴器。6.根据权利要求3所述的单晶炉,其特征在于,所述传动装置为传动齿轮。7.根据权利要求6所述的单晶炉,其特征在于,所述传动齿轮为换向齿轮。8.根据权利要求2所述的单晶炉,其特征在于,还包括承载平台,固定于所述支撑柱的外侧壁,所述支撑平台用于固定并支撑所述驱动电机与所述传动装置。9.根据权利要求2-8任一权利要求所述的单晶炉,其特征在于,所述驱动电机为同步电机。10.根据权利要求1-8任一权利要求所述的单晶炉,其特征在于,支撑结构位于所述主炉体的下方,用以支撑所述主炉体。
【专利摘要】本实用新型提出了一种单晶炉,该单晶炉包括:主炉体;副炉体,装配在所述主炉体的上部;支撑柱,位于所述主炉体与所述副炉体的一侧;连接机构用以连接所述支撑柱与所述副炉体,其中,该连接机构包括旋转轴与连接板,所述旋转轴固定在所述支撑柱的侧壁,所述连接板与副炉体固定连接,与支撑柱转动连接,还包括旋转驱动机构,连接所述连接板,所述旋转驱动机构可驱动连接板带动所述副炉体以垂直于所述旋转轴的轴线方向转动。这样,单晶炉由于旋转驱动机构的存在,工作人员可通过控制旋转驱动机构推动连接板带动副炉体转动,替代了传统意义上要通过人力推动副炉体转动,这样降低了人力的成本,提高了生产效率。
【IPC分类】C30B15/00
【公开号】CN204918837
【申请号】CN201520551692
【发明人】张永波, 陈彪, 黄修康, 薛抗美
【申请人】江苏协鑫软控设备科技发展有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年7月27日
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