一种单晶炉循环水安保装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到自动水冷却循环控制领域，具体的说是一种单晶炉循环水安保
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【背景技术】
[0002]自动水温水压控制系统是单晶炉正常运行的重要保障，单晶炉内加热器温度高达1500多度，靠冷却水来保证外部温度的冷却，稳定的水温及水压供给能保证单晶炉正常的生产。
[0003]目前系统设计的是一套水压自动控制系统，该系统由一个PLC控制一套变频器和8台接触器，靠接触器轮换切换来控制4台并联运行的水栗按需要投入系统运行台数，最后一台变频运行，以保证水压稳定，该系统在正常情况下能按照设定精确控制水压，但实际使用中发现当电网出现波动，或电网出现有异常杂波进入系统中时该系统会出现控制失灵故障，并且不能自动恢复，水栗停止运转，直接导致单晶炉缺水，一旦发现不及时会造成单晶炉干烧，后果非常严重。
【实用新型内容】
[0004]为解决现有技术中由于电网故障导致水栗停止运转、单晶炉干烧问题，本实用新型提供了一种单晶炉循环水安保装置，该装置有效的解决了因PLC及变频器控制系统出现故障时，造成系统缺水，而导致单晶炉干烧的问题。
[0005]本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种单晶炉循环水安保装置，包括一循环水箱、若干台循环水栗和板式换热器，其中，循环水栗抽取循环水箱内的循环水后，经板式换热器中的冷冻水冷却后对单晶炉进行降温，冷却后的循环水回到循环水箱内，还设有一软启动柜、一电接点压力表和备用水栗，其中，备用水栗与上述的若干台循环水栗并联连接，且处于关闭状态，所述电接点压力表设置在板式换热器与单晶炉之间的冷却水管路中，用于检测冷却水的水压，并输出控制信号给软启动柜，软启动柜根据该信号启动备用水栗，以抽取循环水箱内的循环水进入板式换热器中冷却，进入对单晶炉进行降温。
[0006]所述安保装置中设置有报警器，并由电接点压力表输出信号进行控制。
[0007]本实用新型中，电接点压力表为量程为0-0.6MP的抗震性电接点压力表，并将其设定为低于0.20MPa时下限位常开点Kl闭合，当水压低于设定值时该压力表电接点输出闭合信号；软启动柜内安装有一套功率为50KW的软启动装置，将电接点压力表的闭合信号作为启动信号，同时也能手动启动、停止；备用水栗与循环水栗并联运行，并由软起动柜控制。
[0008]当循环水栗出现异常情况不能正常工作，系统水压低于0.20MPa时，电接点压力表下限位Kl开关闭合，软启动器主接触器KMl得电，同时KMl辅助节点闭合，KMl自保，备用水栗启动，系统压力恢复至0.15MPa左右，保证单晶炉循环水系统维持一定水流量，使单晶炉不至于出现干烧，避免出现极端情况，同时KMl辅助节点闭合，报警装置启动，提醒工作人员到现场进行检修。当故障排除后，工作人员按下SB1，将该系统停止，自动处于备用状
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[0009]有益效果:本实用新型通过在冷却水循环系统中增设电接点压力表来监控系统是否出现故障，并在出现故障时输出信号给软启动柜，软启动柜根据信号控制备用水栗的启动，从而保持对单晶炉的降温，从而实现了在系统出现异常情况造成水路失压时及时采集到信号，并自动投入运行，保证单晶炉循环水能有一个基本水压，能维持单晶炉一个最低的循环水量，防止单晶炉出现干烧。本实用新型技术设计理念简单，安装实施及操作方便，安全性能好。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的循环冷却示意图；
[0011]图2为电气控制原理图；
[0012]附图标记:1、循环水箱，2、循环水栗，3、板式换热器，4、单晶炉，5、电接点压力表，
6、备用水栗，7、报警器。
【具体实施方式】
[0013]如图所示，一种单晶炉循环水安保装置，包括一循环水箱1、若干台循环水栗2和板式换热器3，其中，循环水栗2抽取循环水箱I内的循环水后，经板式换热器3中的冷冻水冷却后对单晶炉4进行降温，冷却后的循环水回到循环水箱I内，还设有一软启动柜、一电接点压力表5和备用水栗6，其中，备用水栗6与上述的若干台循环水栗2并联连接，且处于关闭状态，所述电接点压力表5设置在板式换热器3与单晶炉4之间的冷却水管路中，用于检测冷却水的水压，并输出控制信号给软启动柜，软启动柜根据该信号启动备用水栗6，以抽取循环水箱I内的循环水进入板式换热器3中冷却，进入对单晶炉4进行降温；所述安保装置中还可以设置报警器7，并由电接点压力表5输出信号进行控制。
[0014]本实用新型中，电接点压力表5为量程为0-0.6ΜΡ的抗震性电接点压力表，并将其设定为低于0.20MPa时下限位常开点Kl闭合，当水压低于设定值时该压力表电接点输出闭合信号；软启动柜内安装有一套功率为50KW的软启动装置，将电接点压力表的闭合信号作为启动信号，同时也能手动启动、停止；备用水栗6与循环水栗2并联运行，并由软起动柜控制。
[0015]当循环水栗2出现异常情况不能正常工作，系统水压低于0.20MPa时，电接点压力表5下限位Kl开关闭合，软启动器主接触器KMl得电，同时KMl辅助节点闭合，KMl自保，备用水栗6启动，系统压力恢复至0.15MPa左右，保证单晶炉4循环水系统维持一定水流量，使单晶炉4不至于出现干烧，避免出现极端情况，同时KMl辅助节点闭合，报警器7启动，提醒工作人员到现场进行检修。当故障排除后，工作人员按下SB1，将该系统停止，自动处于备用状态。
【主权项】
1.一种单晶炉循环水安保装置，包括一循环水箱(I)、若干台循环水栗(2)和板式换热器(3)，其中，循环水栗(2)抽取循环水箱(I)内的循环水后，经板式换热器(3)中的冷冻水冷却后对单晶炉(4)进行降温，冷却后的循环水回到循环水箱(I)内，其特征在于:还设有一软启动柜、一电接点压力表(5)和备用水栗(6)，其中，备用水栗(6)与上述的若干台循环水栗(2)并联连接，且处于关闭状态，所述电接点压力表(5)设置在板式换热器(3)与单晶炉(4)之间的冷却水管路中，用于检测冷却水的水压，并输出控制信号给软启动柜，软启动柜根据该信号启动备用水栗(6)，以抽取循环水箱(I)内的循环水进入板式换热器(3)中冷却，进入对单晶炉(4 )进行降温。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉循环水安保装置，其特征在于:所述安保装置中设置有报警器(7)，并由电接点压力表(5)输出信号进行控制。
【专利摘要】一种单晶炉循环水安保装置，循环水泵抽取循环水箱内的循环水后，经板式换热器中的冷冻水冷却后对单晶炉进行降温，备用水泵与循环水泵并联连接，且处于关闭状态，在板式换热器与单晶炉之间的冷却水管路中设置电接点压力表，用于检测冷却水的水压，并输出控制信号给软启动柜，软启动柜根据该信号启动备用水泵，以抽取循环水箱内的循环水进入板式换热器中冷却，进入对单晶炉进行降温。本实用新型通过在冷却水循环系统中增设电接点压力表来监控系统是否出现故障，并在出现故障时由软启动柜控制备用水泵的启动，从而保证单晶炉循环水能有一个基本水压，能维持炉台一个最低的循环水量，防止单晶炉的干烧。
【IPC分类】C30B35/00, C30B15/00, C30B29/06
【公开号】CN204918838
【申请号】CN201520609259
【发明人】高林玉, 张明亮, 邓德翼, 张峰
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月14日