技术总结
本发明涉及橡胶‑金属层合垫圈原料，其中，在将氟橡胶或丁腈橡胶层合于金属板上而成的橡胶‑金属层合垫圈原料的橡胶层外表面上，使用不饱和烃气体，通过从高频电源供给高频电力的等离子体CVD法，形成硅晶片上的纳米压痕硬度为10GPa以上、优选15GPa以上且膜厚度为200nm以上、优选400nm以上的无定形碳膜。该橡胶‑金属层合垫圈原料可降低高温使用下因与密封配对面的摩擦导致的磨损、磨耗。
技术研发人员：古贺晶子;铃木昭宽
受保护的技术使用者：NOK株式会社
文档号码：201580019842
技术研发日：2015.04.10
技术公布日：2017.03.22