技术总结
本发明涉及一种研磨用组合物。本发明提供维持研磨性能并且提高磨粒的分散性的方法。另外,提供维持研磨性能并且提高磨粒的再分散性的方法。一种研磨用组合物,其包含磨粒、层状硅酸盐化合物、以及分散介质。

技术研发人员:天高恭祐
受保护的技术使用者:福吉米株式会社
文档号码:201610964365
技术研发日:2016.10.28
技术公布日:2017.06.09

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