1.一种高世代平板用ito蚀刻液,其特征在于,包括盐酸、醋酸、金属盐,表面活性剂、消泡剂和水各原料按比例混合而成,所述各原料重量比为:盐酸10~30%,醋酸1~10%,金属盐0.1~1%,表面活性剂0.05~0.5%,消泡剂0.1~1%,水余量。
2.如权利要求1所述的一种高世代平板用ito蚀刻液,其特征在于,所述各原料重量比为:盐酸22%,醋酸7%,金属盐0.5%,表面活性剂0.2%,消泡剂0.07%,余量的水。
3.如权利要求2所述的一种高世代平板用ito蚀刻液,其特征在于,所述金属盐使用碱性金属盐,碱金属盐使用盐酸钾。
4.如权利要求2所述的一种高世代平板用ito蚀刻液,其特征在于,所述水使用纯水,水中杂质离子不超过100ppm。
5.如权利要求3所述的一种高世代平板用ito蚀刻液,其特征在于,所述盐酸浓度为35%,醋酸浓度为90%,盐酸钾纯度为98%。
6.如权利要求1所述的一种高世代平板用ito蚀刻液的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1:将强酸型阳离子交换树脂分别加入盐酸和醋酸中,搅拌均匀后静置15~20min,然后滤出强酸型阳离子交换树脂;
步骤2:称取上述重量比的处理后的盐酸和醋酸以及金属盐、表面活性剂、消泡剂和水;
步骤3:将盐酸加入到配料罐中,边搅拌边加入醋酸,然后加入一半分量的水,不断搅拌;
步骤4:将表面活性剂和消泡剂分别与剩余分量的水进行搅拌;
步骤5:将步骤3和步骤4的混合物再进行混合,混合后使用过滤器进行过滤,即得到ito蚀刻液。
7.如权利要求6所述的一种高世代平板用ito蚀刻液,其特征在于,所述强酸型阳离子交换树脂选用强酸型苯乙烯系阳离子交换树脂。
8.如权利要求6所述的一种高世代平板用ito蚀刻液,其特征在于,所述过滤器的过滤孔径为0.1~0.5μm。