1.一种晶圆切割用热减粘保护膜,其特征在于,所述晶圆切割用热减粘保护膜,结构从上到下依次为基材层,粘合层,离型膜,所述基材层为pet基材;所述粘合层为热减粘型丙烯酸酯压敏胶。
2.根据权利要求1所述的晶圆切割用热减粘保护膜,其特征在于,所述热减粘型丙烯酸酯压敏胶的制备原料包括丙烯酸酯压敏胶、膨胀材料。
3.根据权利要求2所述的晶圆切割用热减粘保护膜,其特征在于,所述丙烯酸酯压敏胶的制备原料包括单体、表面活性剂、引发剂、去离子水。
4.根据权利要求3所述的晶圆切割用热减粘保护膜,其特征在于,所述单体选自丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、β-羧乙基丙烯酸酯中的一种或多种复配。
5.根据权利要求3所述的晶圆切割用热减粘保护膜,其特征在于,所述单体与去离子水的重量比为1:(5-8)。
6.根据权利要求3所述的晶圆切割用热减粘保护膜,其特征在于,所述的表面活性剂选自阳离子表面活性剂、阴离子表面活性剂和非离子表面活性剂中的至少一种。
7.根据权利要求2所述的晶圆切割用热减粘保护膜,其特征在于,所述膨胀材料选自热膨胀性微球。
8.根据权利要求7所述的晶圆切割用热减粘保护膜,其特征在于,所述热膨胀性微球的粒径为1-50μm。
9.根据权利要求8所述的晶圆切割用热减粘保护膜,其特征在于,所述热膨胀性微球的重量为单体重量的5-10wt%。
10.一种根据权利要求8所述的晶圆切割用热减粘保护膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:将热减粘型丙烯酸酯压敏胶涂布于基材层上,加热固化,在热减粘型丙烯酸酯压敏胶背离基材层的一侧贴附上离型膜,制得热减粘保护膜。