一种传输装置及等离子体加工设备的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种传输装置及等离子体加工设备，其用于传输被加工工件，且包括直线驱动单元、固定部件、抓持部件和间接传动机构，其中，直线驱动单元用于驱动位于其上的固定部件作直线往复运动；抓持部件位于固定部件上，并且与固定部件可相对滑动地连接；抓持部件用于抓取被加工工件；间接传动机构设置于固定部件上，其用于在直线驱动单元驱动固定部件作直线往复运动时，同步带动抓持部件相对于固定部件滑动，并且抓持部件相对于固定部件滑动的方向与固定部件移动的方向相同。本发明提供的传输装置，其不仅结构简单、易于控制且制造成本较低，而且传输距离较大。
【专利说明】一种传输装置及等离子体加工设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及微电子加工【技术领域】，具体地，涉及一种传输装置及等离子体加工设备。
【背景技术】
[0002]在半导体、LED芯片、液晶显示屏等制造工艺中，需要将晶片或基板等被加工工件从大气环境中逐步传送到真空反应腔室中进行工艺处理，完成工艺后再从反应腔室传送出来。这一过程需要一套由传输装置、真空设备和检测设备等组成的传输系统，其中最重要就是传输装置，这是一种能够在大气或真空环境中搬运被加工工件的自动化机械手臂，因此也经常被称为传输机械手或机器人。
[0003]在传输被加工工件时，通常希望使用的传输装置能够满足以下要求:1)传输距离要大，但体积要小；2)重复性精度高；3)较高的结构刚度；4)性价比高，成本较低。而现有的传输装置难以完全满足上述所有要求。
[0004]如图1 所不的一种常见的 SCARA机械臂(Selective Compliance Assembly RobotArm，选择顺应性装配机器手臂)，其模拟了人的胳臂结构，采用两段式关节手臂实现传输动作，具体地，机械臂包括转向驱动机构101、两节关节臂102以及抓持部件103。其中，在两节关节臂102的连接处设置有同步带、钢带等的联动部件(图中未示出)，并且，两节关节臂102中的其中一节的自由端与转向驱动机构101的驱动轴连接，其中另一节的自由端与抓持部件103可旋转地连接。转向驱动机构101包括两个旋转电机，用以分别独立地控制两节关节臂102转动相应的角度，并且在转动过程中，两节关节臂102借助联动部件实现同步联动，从而带动抓持部件103作直线运动。容易理解，两节关节臂102各自的转动角度决定了抓持部件103作直线运动的方向和位移。
[0005]在实际应用中，当上述机械臂处于收缩状态时，其整体长度仅为一节关节臂的长度，而当上述机械臂处于展开状态时，其整体长度最大能够达到两节关节臂的长度之和，因此该机械臂具有结构紧凑，传输距离大，动作灵活以及应用广泛等优点。然而，这种机械臂在实际应用中不可避免地存在以下问题:
[0006]其一，上述机械臂的两节关节臂102为悬臂结构，该结构的刚度较差，且在运动过程中会导致抓持部件103产生轻微摆动，影响传送的精度；
[0007]其二，由于两节关节臂102各自的转动角度决定了抓持部件103作直线运动的方向和位移，因而需要合成计算两节关节臂102的旋转运动才能获得抓持部件103的直线运动，这不仅使得运算过程复杂，而且由于需要借助两个旋转电机进行驱动，导致机械臂的结构复杂，且制造成本较高。
[0008]图2为现有技术中另一种常见的机械臂的结构示意图，请参阅图2，其包括驱动源201 (包括旋转电机和减速器)、丝杠202、抓持部件203和转向驱动装置204。其中，驱动源201与丝杠202连接，用以驱动丝杠202转动；在丝杠202上设置有与之相配合的滑动部件(图中未示出)，在丝杠202转动时，该滑动部件可随丝杠202的正、反转而沿丝杠202的轴向作直线往复运动；抓持部件203安装于该滑动部件上，在滑动部件作直线往复运动时，其带动抓持部件203作直线往复运动；转向驱动装置204安装于丝杠202的下方，用以驱动整个机械臂转动，从而可以改变抓持部件203的直线运动的方向。
[0009]虽然上述机械臂的结构简单、易于控制且成本较低，但是，由于受到机械臂整体长度的限制，抓持部件203可移动的最大行程即为丝杠202在其轴向上的长度，导致机械臂的传输距离较短，从而可能无法满足对传输距离要求较高的场合。
【发明内容】
[0010]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种传输装置及等离子体加工设备，其不仅结构简单、易于控制且制造成本较低，而且传输距离较大。
[0011]本发明提供的一种传输装置，用于传输被加工工件，所述传输装置包括直线驱动单元、固定部件、抓持部件和间接传动机构，其中，所述直线驱动单元用于驱动位于其上的固定部件作直线往复运动；所述抓持部件，位于所述固定部件上，并且与所述固定部件可相对滑动地连接；所述抓持部件用于抓取被加工工件；所述间接传动机构设置于所述固定部件上，其用于在所述直线驱动单元驱动所述固定部件作直线往复运动时，同步带动所述抓持部件相对于所述固定部件滑动，并且所述抓持部件相对于所述固定部件滑动的方向与所述固定部件移动的方向相同。
[0012]其中，所述间接传动机构包括:定固定件、动固定件、两个传动轮和挠性件，其中:所述两个传动轮固定在所述固定部件上，且沿所述固定部件的直线运动方向间隔设置；所述挠性件为围绕所述两个传动轮缠绕一周的环形结构；所述定固定件分别与所述直线驱动单元和所述挠性件固定连接；所述动固定件分别与所述抓持部件和所述挠性件固定连接；其中，所述定固定件和动固定件分别位于所述两个传动轮之间的两条所述挠性件上；所述抓持部件相对于所述固定部件滑动的距离与所述固定部件移动的距离相同；并且，所述定固定件和动固定件在所述挠性件上的位置被设置为:在所述直线驱动单元驱动所述固定部件完成直线运动的最大行程的过程中，所述定固定件和动固定件均不会与所述两个传动轮中的任意一个发生碰撞。
[0013]其中，在所述固定部件上设置有直线导轨，并且在所述抓持部件上设置有和所述直线导轨滑动配合的第一滑动件。
[0014]其中，所述固定部件为一水平板，所述抓持部件与所述水平板滑动连接；所述两个传动轮均固定在所述水平板上，且所述两个传动轮的旋转轴垂直于所述水平板所在平面；或者，所述固定部件为由水平板和竖直板形成的组合板，所述抓持部件与所述水平板滑动连接；所述两个传动轮固定在所述竖直板上，且二者的旋转轴垂直于所述竖直板所在平面。
[0015]其中，所述挠性件为传动带，所述两个传动轮为带轮；或者，所述挠性件为传动链，所述两个传动轮为链轮；或者，所述挠性件为传动绳，所述两个传动轮为绳轮。
[0016]其中，所述直线驱动单元包括旋转电机、丝杠和第二滑动件，其中，所述丝杠与所述旋转电机的驱动轴固定连接；所述第二滑动件与所述固定部件固定连接，且与所述丝杠相配合；所述旋转电机用于驱动所述丝杠顺时针或逆时针旋转，以使所述丝杠带动所述滑动件和固定部件作直线往复运动。
[0017]其中，所述传输装置还包括转向驱动单元，所述转向驱动单元用于驱动所述直线驱动单元、固定部件、抓持部件以及间接传动机构同时旋转。
[0018]其中，所述传输装置还包括安装板，所述直线驱动单元、固定部件、抓持部件以及间接传动机构均通过所述安装板与所述转向驱动单元连接。
[0019]其中，所述转向驱动单元，包括旋转驱动源和传动机构，所述旋转驱动源用于借助所述传动机构驱动所述直线驱动单元旋转，所述传动机构，包括:支架和传动组件，其中:所述支架位于所述安装板的底部，且与所述安装板可旋转地连接；所述传动组件采用齿轮传动、带传动、链传动、绳传动或蜗轮蜗杆传动的方式将来自所述旋转驱动源的旋转动力传递至所述安装板。
[0020]其中，所述传输装置还包括升降单元，所述升降单元用于驱动所述转向驱动单元、直线驱动单元、固定部件、抓持部件、间接传动机构同时上升或下降。
[0021]本发明还提供一种等离子体加工设备，其包括传输装置，用以传输被加工工件，其中，所述传输装置采用了上述任一方案所述的传输装置。
[0022]本发明具有以下有益效果:
[0023]本发明提供的传输装置通过借助间接传动机构在直线驱动单元驱动固定部件作直线往复运动时，同步带动抓持部件相对于固定部件在与固定部件的直线运动相同的方向上滑动，即，在固定部件带动抓持部件移动的同时，抓持部件在挠性件的带动下相对于固定部件同步滑动，且抓持部件相对于固定部件滑动的方向与固定部件移动的方向相同，这使得抓持部件的总传输距离为固定部件相对于直线驱动单元的位移与抓持部件相对于固定部件的位移之和，从而可以增大传输装置的传输距离。而且，由于本发明提供的传输装置通过在直线方向上的伸缩来进行传输，这使得传输装置的结构简单，易于控制，并且制造成本较低。
[0024]本发明提供的等离子体加工设备，其通过采用本发明提供的传输装置，不仅可以增大传输被加工工件的传输距离，而且可以简化设备的结构，降低设备的制造成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]图1为现有技术中的一种常见的机械臂的结构示意图；
[0026]图2为现有技术中另一种常见的机械臂的结构示意图；
[0027]图3为本发明第一实施例提供的传输装置的立体图；
[0028]图4为本发明第一实施例提供的传输装置的剖视图；
[0029]图5为本发明第一实施例提供的传输装置的挠性件、动固定件和定固定件的相对运动不意图；
[0030]图6为本发明第一实施例提供的传输装置进行传输的动作分解示意图；
[0031]图7为本发明第二实施例提供的传输装置的立体图；
[0032]图8为本发明第三实施例提供的传输装置的立体图；以及
[0033]图9为本发明第三实施例提供的传输装置的剖视图。
【具体实施方式】
[0034]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的传输装置及等离子体加工设备进行详细描述。
[0035]图3为本发明第一实施例提供的传输装置的立体图。图4为本发明第一实施例提供的传输装置的剖视图。请一并参阅图3和图4，传输装置包括直线驱动单元、固定部件2、抓持部件3和间接传动机构4。其中，直线驱动单元用于驱动固定部件2做直线往复运动，在本实施例中，直线驱动单元包括壳体301、旋转电机309、丝杠11和第二滑动件12。其中，丝杠11与旋转电机309的驱动轴固定连接，或者通过联轴器与旋转电机309的驱动轴固定连接；第二滑动件12与丝杠11相配合，且与固定部件2固定连接，在旋转电机309的驱动下，丝杠11带动第二滑动件12和与之固定连接的固定部件2—起沿丝杠11的轴向作直线往复运动。
[0036]容易理解，可以借助旋转电机309的正转或反转来使丝杠11顺时针或逆时针自转，从而实现第二滑动件12的直线往复运动。优选地，直线驱动单元还可以包括减速器308，其串接在旋转电机309的驱动轴和丝杠11之间，用以降低旋转电机309的转速，并将其传递给丝杠11，从而可以使丝杠11获得一个较低的转速，以使第二滑动件12和固定部件2获得理想的直线运动速度。
[0037]固定部件2与抓持部件3可相对滑动地连接，且抓持部件3的滑动方向与固定部件2的直线运动方向相同。在本实施例中，固定部件2与抓持部件3可相对滑动地连接的具体方式为:固定部件2为一水平板，在该水平板的上表面上设置有直线导轨304，并且对应地，在抓持部件3上设置有与直线导轨304滑动配合的第一滑动件31，从而抓持部件3能够借助该第一滑动件31沿直线导轨304滑动。容易理解，直线导轨304应与丝杠11的轴向相互平行，以使抓持部件3的滑动方向能够与固定部件2的直线运动方向平行。优选地，可以在直线导轨304的末端设置一个止挡块302，用以防止第一滑动件31从直线导轨304滑出，导致抓持部件3脱落。
[0038]间接传动机构4设置在固定部件2上，其用于在直线驱动单元驱动固定部件2作直线往复运动时，同步带动抓持部件3相对于固定部件2滑动,并且使抓持部件3相对于固定部件2滑动的方向与固定部件2移动的方向相同。下面对间接传动机构4的具体结构进行详细介绍，具体地，间接传动机构4包括两个传动轮311、318和挠性件316，在本实施例中，其分别为带轮和传动带，其中，两个传动轮311、318的旋转轴垂直地固定在上述固定部件2的上表面上，且二者沿固定部件2的直线运动方向间隔设置；挠性件316为围绕两个传动轮311、318缠绕一周的环形结构；并且，在直线驱动单元的壳体301上设置有定固定件317，在第一滑动件31 (或抓持部件3)上设置有动固定件306，定固定件317和动固定件306均与挠性件316固定连接，并且定固定件317位于挠性件316的一侧(B卩，图3中挠性件316的右侧)处；动固定件306位于挠性件316另一侧(B卩，图3中挠性件316的左侧)。
[0039]下面结合图5和图6对采用上述结构的间接传动机构4实现在直线驱动单元驱动固定部件2作直线往复运动时，同步带动抓持部件3相对于固定部件2滑动的具体原理进行详细描述。具体地，在直线驱动单元的驱动下，水平板会带动固定在其上的抓持部件3以及间接传动机构4 一起作直线往复运动，且水平板与直线驱动单元的壳体301之间会产生相对运动，这使得两端分别固定在挠性件316和壳体301上的定固定件317会拽动挠性件316围绕两个传动轮311、318转动，即，定固定件317会相对于两个传动轮311、318沿二者的中心连线移动，该移动的距离即为水平板相对于壳体301移动的距离，且该移动的方向与水平板相对于壳体301移动的方向相反。与此同时，被拽动的挠性件316将同步带动两端分别固定在挠性件316和第一滑动件31 (或抓持部件3)上的动固定件306，相对于两个传动轮311、318沿二者的中心连线移动，该移动的距离即为水平板相对于壳体301移动的距离，且该移动的方向与水平板相对于壳体301移动的方向相同，从而实现了在直线驱动单元驱动固定部件作直线往复运动时，同步带动抓持部件3相对于水平板滑动。
[0040]当定固定件317和动固定件306在挠性件316上的位置处于如图5中A图所示的位置时，抓持部件3的传输距离Λ为0，如图6中的A图所示；当定固定件317和动固定件306在挠性件316上的位置处于如图5中B图所示的位置时，抓持部件3的传输距离Λ为L，如图6中的B图所示，此时水平板相对于壳体301移动的距离以及抓持部件3相对于水平板移动的距离均为0.5L。当定固定件317和动固定件306在挠性件316上的位置处于如图5中C图所示的位置时，抓持部件3的传输距离Λ为2L，如图6中的C图所示，此时水平板相对于壳体301移动的距离以及抓持部件3相对于水平板移动的距离均为L。由此可知，抓持部件3的传输距离Λ,即，抓持部件3相对于壳体301的总位移为水平板相对于壳体301的位移与抓持部件3相对于水平板的位移之和，即，为水平板相对于壳体301的位移的两倍，从而可以增大传输装置的传输距离。而且，由于上述传输装置通过在直线方向上的伸缩来进行传输，这使得传输装置的结构简单，易于控制，并且制造成本较低。
[0041]容易理解，由于定固定件317或动固定件306沿两个传动轮311、318的中心连线移动的移动距离与水平板相对于壳体301移动的距离相等，因此，定固定件317和动固定件306在挠性件316上的位置应被设置为:在直线驱动单元驱动水平板完成直线运动的最大行程的过程中，定固定件317和动固定件306均不会与两个传动轮311、318中的任意一个发生碰撞。其具体设置方式可以为，即:当抓持部件3的传输距离Λ为O时，位于定固定件317与传动轮311之间的挠性件316的长度LI (如图5中A图所示)应大于或等于水平板在丝杠11上滑动的最大行程，从而在抓持部件3的传输距离Λ逐渐增大的过程中，可以保证定固定件317不会因受到传动轮311的阻碍而使水平板和抓持部件3均无法继续移动。与之相类似的，当抓持部件3的传输距离Λ为O时，动固定件306与传动轮318之间的挠性件316的长度L2 (如图5中A图所示)也应大于或等于水平板在丝杠11上的最大行程。
[0042]需要说明的是，在本实施例中，两个传动轮311、318和挠性件316分别为带轮和传动带，但是本发明并不局限于此，在实际应用中；两个传动轮311、318和挠性件316也可以分别为链轮和传动链；或者，还可以分别为绳轮和传动绳。
[0043]还需要说明的是，在本实施例中，直线驱动单元借助丝杠11和旋转电机309驱动固定部件2作直线往复运动，但是本发明并不局限于此，在实际应用中，直线驱动单元还可以为直线电机等的其他可驱动固定部件2作直线往复运动的机构。
[0044]图7为本发明第二实施例提供的传输装置的立体图。如图7所示，本实施例提供的传输装置与第一实施例相比，同样包括直线驱动单元、固定部件2、抓持部件3和间接传动机构4。由于直线驱动单元、固定部件2、抓持部件3和间接传动机构4的结构和功能在上述第一实施例中已有了详细的描述，在此不再赘述。
[0045]下面仅就本实施例与第一实施例的不同之处进行描述:具体地，在本实施例中，固定部件2为由水平板303与竖直板303’形成的组合板，并且间接传动机构4设置于竖直板303’上，其具体设置方式为:两个传动轮311、318固定在竖直板303’上，且沿固定部件2的直线运动方向间隔设置，且其旋转轴垂直于竖直板303’所在平面；挠性件316为围绕两个传动轮311、318缠绕一周的传动带。由于间接传动机构4设置在竖直板303’上，这与第一实施例相比，可以节省传输装置在水平方向上的尺寸，从而可以减小传输装置的体积。
[0046]图8为本发明第三实施例提供的传输装置的立体图。图9为本发明第三实施例提供的传输装置的剖视图。请一并参阅图8和图9，本实施例提供的传输装置与上述第一、第二实施例相比，同样包括直线驱动单元、固定部件2、抓持部件3和间接传动机构4。由于直线驱动单元、固定部件2、抓持部件3和间接传动机构4的结构和功能在上述第一、第二实施例中已有了详细地描述，在此不再赘述。
[0047]下面仅对本实施例与第一、第二实施例的不同点进行描述，具体地，本实施例提供的传输装置还包括转向驱动单元5，其用于驱动直线驱动单元、固定部件2、抓持部件3以及间接传动机构4同时旋转，以改变抓持部件3的传输方向，从而可以使传输装置实现在平面内对被加工工件进行传输。
[0048]下面对转向驱动单元5的结构进行详细地描述。具体地,转向驱动单元5包括安装板310、旋转驱动源314和传动机构。其中，直线驱动单元、固定部件2、抓持部件3以及间接传动机构4均固定在安装板310上；旋转驱动源314用于借助传动机构驱动安装板310及设置于其上的直线驱动单元、固定部件2、抓持部件3以及间接传动机构4旋转，旋转驱动源314可以为旋转电机。传动机构包括支架312和传动组件，其中，支架312位于安装板310的底部，且与其可旋转地连接，在本实施例中，支架312与安装板310可旋转地连接的具体方式为:在安装板310上设置有一转轴324，并对应地在支架312上设置有一通孔，转轴324穿过该通孔，并借助固定在通孔内的轴承320与支架312可旋转地连接。
[0049]在本实施例中，传动组件采用带传动方式将旋转驱动源314输出的动力传递给安装板310，以使其相对于支架312围绕转轴324旋转。采用带传动方式的传动组件的具体结构可以为:传动组件包括小同步带轮323、大同步带轮321和环绕二者设置的同步带322。其中，小同步带轮323的旋转轴与旋转驱动源314的驱动轴连接；大同步带轮321的旋转轴与安装板310的转轴324连接，在旋转驱动源314的驱动下，小同步带轮323驱动同步带322转动，同步带322带动大同步带轮321旋转,从而带动安装板310围绕转轴324旋转。优选地，在转轴324内设置有中心通孔，并且，在安装板310的内部设置有通道，该通道的一端与转轴324中心通孔连通，另一端延伸至安装板310的靠近旋转电机309的外表面，旋转电机309的线缆经由该通道及中心通孔引出，从而可以避免在安装板310围绕转轴324旋转时，旋转电机309的线缆缠绕。
[0050]需要说明的是，在本实施例中，传动组件为由小同步带轮323、同步带322和大同步带轮321组成的带传动机构，但是，本发明并不限于此，在实际应用中，传动组件还可以采用齿轮传动、链传动、绳传动或蜗轮蜗杆传动等其他传动方式将旋转驱动源的旋转动力传递至安装板。
[0051]作为对本实施例提供的传输装置的进一步改进，传输装置还包括升降单元，用以驱动转向驱动单元5、直线驱动单元、固定部件2、抓持部件3和间接传动机构4同时上升或下降，以改变抓持部件3的传输高度，从而可以使传输装置实现在三维空间内对被加工工件进行传输。升降单元可以采用升降电机、升降气缸等的升降驱动装置。
[0052]综上所述，本发明实施例提供的传输装置，其通过借助间接传动机构4在直线驱动单元驱动固定部件2作直线往复运动时，同步带动抓持部件3相对于固定部件2在与固定部件2的直线运动相同的方向上滑动，即，在固定部件2带动抓持部件3移动的同时，抓持部件3在挠性件316的带动下相对于固定部件2同步滑动，且抓持部件3相对于固定部件2滑动的方向和距离与固定部件2移动的方向和距离相同，这使得抓持部件3的总传输距离为固定部件2相对于直线驱动单元的位移与抓持部件3相对于固定部件2的位移之和，即，抓持部件3相对于固定部件2的位移的两倍，从而可以增大传输装置的传输距离。而且，由于本发明实施例提供的传输装置通过在直线方向上的伸缩来进行传输，这使得传输装置的结构简单，易于控制，并且制造成本较低。
[0053]本实施例还提供一种等离子体加工设备，其包括用于传输被加工工件的传输装置，该传输装置采用了上述各个实施例提供的传输装置。
[0054]本实施例提供的等离子体加工设备，其通过采用本实施例提供的上述传输装置，不仅可以增大传输被加工工件的传输距离，而且可以简化设备的结构，降低设备的制造成本。
[0055]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种传输装置，用于传输被加工工件，其特征在于，所述传输装置包括直线驱动单元、固定部件、抓持部件和间接传动机构，其中， 所述直线驱动单元用于驱动位于其上的固定部件作直线往复运动； 所述抓持部件，位于所述固定部件上，并且与所述固定部件可相对滑动地连接；所述抓持部件用于抓取被加工工件； 所述间接传动机构设置于所述固定部件上，其用于在所述直线驱动单元驱动所述固定部件作直线往复运动时，同步带动所述抓持部件相对于所述固定部件滑动，并且所述抓持部件相对于所述固定部件滑动的方向与所述固定部件移动的方向相同。
2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述间接传动机构包括:定固定件、动固定件、两个传动轮和挠性件，其中: 所述两个传动轮固定在所述固定部件上，且沿所述固定部件的直线运动方向间隔设置； 所述挠性件为围绕所述两个传动轮缠绕一周的环形结构； 所述定固定件分别与所述直线驱动单元和所述挠性件固定连接； 所述动固定件分别与所述抓持部件和所述挠性件固定连接； 其中，所述定固定件和动固定件分别位于所述两个传动轮之间的两条所述挠性件上；所述抓持部件相对于所述固定部件滑动的距离与所述固定部件移动的距离相同； 并且，所述定固定件和动固定件在所述挠性件上的位置被设置为:在所述直线驱动单元驱动所述固定部件完成直线运动的最大行程的过程中，所述定固定件和动固定件均不会与所述两个传动轮中的任意一个发生碰撞。
3.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，在所述固定部件上设置有直线导轨，并且在所述抓持部件上设置有和所述直线导轨滑动配合的第一滑动件。
4.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述固定部件为一水平板，所述抓持部件与所述水平板滑动连接；所述两个传动轮均固定在所述水平板上，且所述两个传动轮的旋转轴垂直于所述水平板所在平面；或者， 所述固定部件为由水平板和竖直板形成的组合板，所述抓持部件与所述水平板滑动连接；所述两个传动轮固定在所述竖直板上，且二者的旋转轴垂直于所述竖直板所在平面。
5.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述挠性件为传动带，所述两个传动轮为带轮；或者， 所述挠性件为传动链，所述两个传动轮为链轮；或者， 所述挠性件为传动绳，所述两个传动轮为绳轮。
6.根据权利要求1或2所述的传输装置，其特征在于，所述直线驱动单元包括旋转电机、丝杠和第二滑动件，其中， 所述丝杠与所述旋转电机的驱动轴固定连接； 所述第二滑动件与所述固定部件固定连接，且与所述丝杠相配合； 所述旋转电机用于驱动所述丝杠顺时针或逆时针旋转，以使所述丝杠带动所述滑动件和固定部件作直线往复运动。
7.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述传输装置还包括转向驱动单元，所述转向驱动单元用于驱动所述直线驱动单元、固定部件、抓持部件以及间接传动机构同时旋转。
8.根据权利要求7所述的传输装置，其特征在于，所述传输装置还包括安装板，所述直线驱动单元、固定部件、抓持部件以及间接传动机构均通过所述安装板与所述转向驱动单元连接。
9.根据权利要求8所述的传输装置，其特征在于，所述转向驱动单元，包括旋转驱动源和传动机构，所述旋转驱动源用于借助所述传动机构驱动所述直线驱动单元旋转，所述传动机构，包括:支架和传动组件，其中: 所述支架位于所述安装板的底部，且与所述安装板可旋转地连接； 所述传动组件采用齿轮传动、带传动、链传动、绳传动或蜗轮蜗杆传动的方式将来自所述旋转驱动源的旋转动力传递至所述安装板。
10.根据权利要求7所述的传输装置，其特征在于，所述传输装置还包括升降单元，所述升降单元用于驱动所述转向驱动单元、直线驱动单元、固定部件、抓持部件、间接传动机构同时上升或下降。
11.一种等离子体加工设备，包括传输装置，用以传输被加工工件，其特征在于，所述传输装置采用了权利要求1-10中任意一项所述的传输装置。
【文档编号】B65G47/90GK104176491SQ201310196971
【公开日】2014年12月3日 申请日期:2013年5月23日 优先权日:2013年5月23日
【发明者】张鹏 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司