一种改善夹持状态下基板边缘平坦度的承载装置的制作方法

本实用新型涉及一种玻璃基板的承载装置，特别是涉及一种改善夹持状态下基板边缘平坦度的承载装置。

背景技术：

玻璃基板是很多制造行业不可缺少的材料之一，现有玻璃基板加工或应用中，玻璃基板需要通过辅助装置固定或调整玻璃基板的位置。现有的无接触支撑装置不能很好的将产品定位在工作面上，当产品跟随流水线移动时，往往会发生位移，玻璃基板边缘会因为抖动而变形，影响产品的质量，而定位好的承载装置只能装夹一种规格的玻璃基板，或玻璃基板被夹持部位与受力面积小，局部压强大，玻璃基板受力点处易发生形变，导致玻璃基板的边缘高度不一，也易导致玻璃基板飞出，严重时直接夹碎玻璃基板。

技术实现要素：

本实用新型为了弥补上述的不足，提供了一种改善夹持状态下基板边缘平坦度的承载装置。

本实用新型采用的技术方案如下：一种改善夹持状态下基板边缘平坦度的承载装置，包括：

载台，所述载台的台面水平设置；

夹持装置，包括两个长条夹板和动力装置；所述夹板对称设置在所述载台两侧，所述夹板的板面相对且相互平行；所述动力装置分别与所述夹板连接，用于驱动所述夹板相互靠近或远离；

高度检测装置，包括检测头、计算装置；所述检测头包括距离检测系统，所述检测头以预定高度正对的设置在所述台面上方且可在水平面上移动；所述计算装置包括距离差计算程序，所述计算装置与所述检测头连接；

高度调节装置，包括多个控制单元和多个支撑单元；所述支撑单元排列在所述台面两侧；所述控制单元连接所述高度检测装置与所述支撑单元。

所述台面可沿一水平方向移动，所述夹板长度方向与所述台面移动方向平行。所述支撑单元排列方向与所述夹板长度方向平行。

与现有技术相比，本实用新型使夹持装置为长条形夹板，保证边缘玻璃受力均等，变形为相同趋势，且不会使玻璃基板单点受力过大，导致玻璃碎裂或偏位，并能够使玻璃在运动过程中不会因为抖动产生形变；在边缘区域设置高度调节装置，使玻璃基板边缘的高度可调整；添加高度检测装置，测量并计算玻璃基板边缘需要调节的范围，保证玻璃基板的整体水平。

附图说明

图1是现有技术中一种玻璃基板的承载装置；

图2是另一种现有技术中玻璃基板的承载装置；

图3是本实用新型一个实施例的承载装置的示意图；

图4是本实用新型一个实施例的承载装置的夹持装置的示意图；

图5是本实用新型一个实施例的承载装置的俯视图；

图6是本实用新型另一个实施例的承载装置的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面将结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

需要说明的是，在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广。因此本实用新型不受下面公开的具体实施方式的限制。

如图1所示，为现有技术中一种玻璃基板的承载装置，其夹持机构3为圆柱形。当玻璃基板1放置在载台2上面，四周的若干个圆柱形夹持机构同时夹持住玻璃基板，夹持点单点受力，受力点压强过大，玻璃基板受力点处易发生形变，导致玻璃基板的边缘高度不一，也易导致玻璃基板飞出，严重时直接使玻璃基板出现裂纹4或夹碎玻璃基板。

如图2所示，为另一种现有技术中玻璃基板的承载装置，玻璃基板1放置在载台2上面，使用压条5压住玻璃基板1边缘，玻璃基板1高度固定，但是玻璃基板1被压条压住的部分厚度或韧性发生变化，边缘和中心出现高度差。且压条5会遮挡部分玻璃，该处玻璃无法检测。

本实用新型为了弥补上述的不足，提供了一种改善夹持状态下基板边缘平坦度的承载装置。

如图3所示，为本实用新型的承载装置的示意图。

所述承载装置包括载台10、夹持装置20、高度检测装置30以及高度调节装置40。

载台10包括水平设置的台面11；

夹持装置20包括两个长条夹板21和动力装置22；

高度检测装置30包括检测头31和计算装置32；

高度调节装置40包括多个控制单元42和多个支撑单元41。

如图4所示，为本实用新型的承载装置的夹持装置的示意图；其中一个夹板211和另一个夹板212对称设置在载台10两侧，夹板211的板面213和夹板212的板面214相对且相互平行；动力装置22分别与夹板211和夹板212 连接，用于驱动两个夹板相互靠近或远离。

如图3所示，高度检测装置30包括检测头31、计算装置32；检测头31 包括距离检测系统，检测头31以预定高度正对的设置在台面11上方且可在水平面上移动。

在一次检测中，检测头至少在玻璃基板上选一个基准点，检测头移动到选择好的基准点的正上方，并检测基准点到检测头的距离，各基准点到检测头的平均距离为基准距离；

检测头至少在玻璃基板上可调节的边缘区域选一个测量点，检测头移动到选择好的测量点的正上方，并检测测量点到检测头的距离，每个测量点到检测头的距离为该测量点的测量距离。

检测头包括自动对焦系统，当检测头移动到选择好的点的正上方后，检测头可自动聚焦到气正下方的玻璃基板上的点，焦距就是玻璃板上该点到检测头的距离，这样就测出来了一个距离检测头到玻璃基板的距离。

计算装置32包括距离差计算程序，计算装置32与检测头31连接，用于计算基准距离与测量距离的差值，并将差值转换成玻璃基板的测量点处需要降低或升高的数值具体值。

高度调节装置40包括多个控制单元42和多个支撑单元41；支撑单元41 为出气效果可控的气浮孔43，气浮孔43的出气端与台面11平齐，出气方向与台面11垂且指向台面11上方。各个气浮孔被控制单元单独控制，每个气浮孔的出气效果受控制单元的单独控制，可以对不同区域的玻璃基板实现针对性的调节。

如图5所示，为本实用新型的承载装置的俯视图，其中气浮孔43包括第一气浮431孔和第二气浮孔432，第一气浮孔431嵌套在第二气浮孔232中，第一气浮孔431与第二气浮孔432受控制单元单独控制。这样控制单元对气浮孔的调节效果更显著，每个气浮孔的出气效果的可调范围更大。

如图5所示，台面11可沿A方向水平移动，夹板21的长度方向与台面11移动方向即A方向平行。玻璃基板沿着A方向输送到台面11上后，所述动力装置22驱动夹板21沿着垂直于A方向的方向相互靠近，对玻璃基板的两侧进行夹持。气浮孔43沿着与夹板21长度方向平行的方向排列在台面11 两侧，用于调节玻璃基板的边缘的高度，改善玻璃基板边缘平坦度。

在一次调节过程中，控制装置驱动气浮孔支撑所述玻璃基板，动力装置驱动夹板相互远离，松开玻璃基板；控制装置驱动相应的气浮孔产生不同的出气效果，将测量点调节至与选定的基准点同一水平面。

如图6所示，为本实用新型另一个实施例的承载装置的示意图，所述承载装置包括载台10、夹持装置20、高度检测装置30以及高度调节装置40。

载台10包括水平设置的台面11。

夹持装置20包括两个长条夹板21和动力装置22；夹板21对称设置在载台两侧；动力装置22与夹板21连接，用于驱动夹板21相互靠近或远离。

高度检测装置30包括检测头31、计算装置32；检测头31包括距离检测系统，检测头31以预定高度正对的设置在台面11上方且可在水平面上移动；计算装置32包括距离差计算程序，计算装置32与所述检测头31连接。

高度调节装置40包括多个控制单元42和多个支撑单元41；支撑单元41 为可独立控制升降的支撑柱44，支撑柱44为圆柱状支撑杆，其与玻璃基板接触的一端为圆顶状，支撑柱44的轴线与台面11垂直。支撑柱44降到最低点其顶端与台面11平齐，支撑柱44升降方向与台面11垂直，上升方向指向台面11上方。每个支撑柱44的升降受控制单元的单独控制，可以对不同区域的玻璃基板实现针对性的调节。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。