一种成像线下控制玻璃基板飘高的气浮装置的制作方法

本实用新型涉及玻璃基板输送设备技术领域，具体涉及一种成像线下控制玻璃基板飘高的气浮装置。

背景技术：

以液晶显示器为代表的平板显示技术广泛应用于人们的日常生产和生活中。平板显示玻璃基板在生产制造过程中，存在着诸多工序和各种检测环节，使得玻璃基板要频繁的输运到各个工作环节，玻璃基板在输运过程中极易因为刮痕、形变以及局部应力集中等原因而产生损坏，传统的液晶玻璃基板传输采用接触式输运方式，即，工件与输运装置表面直接接触，采用滚轮驱动，这容易造成玻璃基板表面出现刮痕、裂纹，同时还存在静电和金属污染等诸多问题，严重影响产品质量，已无法适应当前技术发展的需求。另一方面，这种接触式的输运方式由于受到摩擦力的制约，难以提高输运速度，也限制了生产效率的进一步提高。当前，玻璃基板朝着大型化、薄型化的方向发展，新一代玻璃基板制造对输运系统提出了高精度、高洁净和高可靠性的要求，无摩擦非接触的输运方式在满足这些技术要求方面具有极大优势。非接触式输运的基本思想是通过对物体施加非接触作用力以抵消其自身重力从而实现悬浮，有效地抑制了表面刮痕及静电的产生。

在现有技术中，采用气浮装置输送玻璃基板，能得到超高的平整度，但玻璃基板的边缘，由于大气压的漏入，气浮装置吹出气体的压强平衡被破坏，导致玻璃基板出现边缘上翘变形现象，这种上翘不利于光学检测单元对玻璃基板边缘的检测，降低了玻璃基板边缘的检出率，而恰好玻璃基板边缘是不良高发区域，所以该发明具有实际工程意义。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的是现有技术中玻璃基板的边缘发生翘曲变形，不利于光学检测单元对玻璃基板边缘的检测的技术问题，目的在于提供一种成像线下控制玻璃基板飘高的气浮装置。

本实用新型提供一种成像线下控制玻璃基板飘高的气浮装置，其包括：

气浮平台，所述气浮平台用于承托玻璃基板；

光学检测单元，所述光学检测单元位于气浮平台的上方，光学检测单元用于获取玻璃基板的图像信息；

上气压装置，所述上气压装置设置在光学检测单元上，所述上气压装置设有进气口和出气口，所述出气口朝气浮平台的方向吹出气体。

优选方案：所述上气压装置的进气口设有比例阀，所述比例阀用于调节上气压装置的气压。

优选方案：所述气浮平台包括机台和设置在机台上的气浮板，所述气浮板通过气浮板安装架与机台固定连接。

优选方案：所述光学检测单元包括机架、z轴驱动机构和光学头系统，所述光学头系统通过z轴驱动机构设置在机架上，z轴驱动机构用于驱动光学头系统上下运动，所述上气压装置固定在光学头系统的底部。

优选方案：所述光学头系统的底部还设有采集玻璃基板图像信息的光学镜头，所述上气压装置位于光学镜头的一侧。

优选方案：所述机台为花岗岩机台。

优选方案：所述机架为花岗岩龙门构架或大理石龙门构架，所述z轴驱动机构为直线模组驱动机构。

优选方案：所述比例阀为电气比例阀，所述电气比例阀电性连接有工控机，所述工控机用于控制电气比例阀的流量和压力。

优选方案：所述光学镜头与上气压装置沿玻璃基板的运动方向排列。

在上述技术方案的基础上，与现有技术相比，本实用新型的优点如下：

1)本实用新型的成像线下控制玻璃基板飘高的气浮装置，该气浮装置在气浮平台和光学检测单元之间设有上气压装置，在光学检测单元对玻璃基板进行检测时，该上气压装置的出气口向下朝气浮平台的方向吹出气体，上气压装置吹出的气体增强了玻璃基板边缘上方的气流压强，上气压装置吹出的气体用于抵消玻璃基板下方气流的气流压强，平衡玻璃基板边缘上翘的趋势，提高玻璃基板边缘的平面度。

2)本实用新型的成像线下控制玻璃基板飘高的气浮装置，该上气压装置的进气口设有调节上气压装置气压的比例阀，该比例阀能够根据不同种类的玻璃基板进行调节上气压装置的气压，达到平衡玻璃基板边缘上翘的趋势，提高了本气浮装置使用的灵活性和通用性。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的图1中a处的局部放大图。

附图标记：1-气浮板，2-气浮板安装架，3-机台，4-机架，5-光学头系统，6-z轴驱动机构，7-光学镜头，8-上气压装置，9-比例阀，10-玻璃基板。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。

参见图1和图2所示，本实用新型实施例提供一种成像线下控制玻璃基板边缘飘高的气浮装置，其包括：气浮平台，气浮平台用于承托玻璃基板10，光学检测单元，光学检测单元位于气浮平台的上方，光学检测单元用于获取玻璃基板10的图像信息，以及上气压装置8，上气压装置8设置在光学检测单元上，上气压装置8设有进气口和出气口，出气口朝气浮平台的方向吹出气体。

工作原理

该气浮装置在气浮平台和光学检测单元之间设有上气压装置8，上气压装置8设在跨过成像线前方一定距离，该距离是固定值，在光学检测单元对玻璃基板10进行检测时，该上气压装置8的出气口向下朝气浮平台的方向吹出气体，让玻璃基板10在跨过成像线后，立即受到上气压装置8吹出的气流压强，平衡玻璃基板10前端上翘的趋势，提高玻璃基板10的平面度。因为玻璃基板10下方的气体压强具有非常高的刚性，确保玻璃基板10不会和气浮装置接触。

具体地：上气压装置8的进气口设有比例阀9，该比例阀9用于调节上气压装置8的气压。该比例阀9能够根据不同种类的玻璃基板10进行调节上气压装置8的气压，达到平衡玻璃基板10边缘上翘的趋势，提高了本气浮装置使用的灵活性和通用性。比例阀9优选但不限于为电气比例阀，该电气比例阀电性连接有工控机，所述工控机用于控制电气比例阀的流量和压力，工控机根据现场实际类型的玻璃基板10配置压强曲线，玻璃基板10在跨过成像线后，立即受到上方的上气压装置8的气流压强，平衡玻璃基板10上翘的趋势。

优选实施例方案：气浮平台包括机台3和设置在机台3上的气浮板1，气浮板1通过气浮板安装架2与机台3固定连接。光学检测单元包括机架4、z轴驱动机构6和光学头系统5，该光学头系统5通过z轴驱动机构6设置在机架4上，z轴驱动机构6为直线模组驱动机构，z轴驱动机构6用于驱动光学头系统5在机架4上往复上下运动。机架4为花岗岩龙门构架，机台3为花岗岩机台。

花岗岩龙门构架和花岗岩机台具有抗磨蚀，耐高温，方便维护，方便机械导轨，丝杆拆卸。花岗岩龙门构架的工作表面在使用中保养维护简便，材质稳定，能够保证长期不变形，线膨胀系数小，机械精度高，防锈、防磁、绝缘。不变形，硬度高，耐磨性强。花岗岩龙门构架适用于现场的工作环境，并高度恒久长期保有产品本身精度的特性，更能确定工作环境中加工与检测的精度与工作产品品质。

优选实施例方案：上气压装置8固定在光学头系统5的底部，光学头系统5的底部还设有采集玻璃基板10图像信息的光学镜头7，上气压装置8位于光学镜头7的一侧。光学镜头7与上气压装置8沿玻璃基板10的运动方向排列。上气压装置8首先对玻璃基板8的边缘进行平衡后，光学镜头7对玻璃基板10进行图像采集。

本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种修改和变型，倘若这些修改和变型在本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则这些修改和变型也在本实用新型的保护范围之内。

说明书中未详细描述的内容为本领域技术人员公知的现有技术。