专利名称：聚丙烯的薄片载体的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于装运硅薄片的聚丙烯容器(此薄片被加工成圆形片)，尤其涉及用于这种装运容器的聚丙烯的特性。
过去所用的被称作运送装置的这种容器是用聚丙烯成型的，以前之所以选用聚丙烯是因为它的高度清晰度。以前所用的聚丙烯被认为是非常纯净的，这是基于全部的挥发材料已被放出，这是用众所周知的测试方法测定的，该方法在ASTM标准手册15.03卷。F1227中作出规定，该手册由美国测试与材料协会出版，费城，(美国)宾夕法尼亚洲。
然而这种运送装置的用户确定，先前的聚丙烯运送装置放出有机杂质气体。这些杂质汇集于薄片上。通常当这种薄片的表面无有机杂质时，薄片上的氧化层是非常亲水的，这样去离子(DI)水就会在薄片上扩展开而不会在薄片上成珠。经对现有技术聚丙烯运送装置中所含薄片进行测试，它们是疏水的，这是由暴露在运送装置的聚丙烯中所产生的有机污染物质所致。
以前的运送装置所用的聚丙烯(造成这种疏水性)是由Himont USA Inc.of Wilmington，Delaware首创的一种无规共聚物所制取的。该无规共聚物是由单体加入一种高活性催化剂经聚合而成的。聚合后再加入一种澄清剂，硬脂酸钙(作为一种流动改性剂)和一种抗氧剂(包括亚磷酸酯类和受阻酚类)。在使用该聚丙烯成型这种运送装置之前并没有除去催化剂以及聚合中所产生的无规材料。
现已注意到，在一般实践中都将聚丙烯化合物的确切特性作为一项商业秘密，通常用于其它商业运送装置中的这种化合物的特性是不公开的，或是已知的。
另外，经两次脱灰的聚丙烯是以前就知道的，但尚不知把它们用于运送装置或容器，而这类容器是指用来存储硅片或砷化镓薄片或磁性介质的存储盘以便发运的容器。这种以前已知的双脱灰聚丙烯使用了大量的作为澄清剂和流动改进剂的这类东西并使用了某些高分子量受阻酚抗氧剂/抗臭氧剂，其结果是如将该聚丙烯用于硅片运送装置，它将具有明显的极不受欢迎的放气水平和存储薄片的污染，导致薄片具有不受欢迎的疏水性，即在使用前需进行净化。
确定疏水问题最普通的方法是用去离子水把薄片的表面弄湿，如果不是在薄片上扩展开而是成珠，则可很容易地确定该薄片已受污染，使用前需加以净化。当然这种净化免不了在制备薄片中增加额外的步骤而这是不希望的，因为这要增加费用并且可能产生额外的颗粒从而对薄片表面造成进一步的污染。薄片制作者也对疏水杂质担心，因为此杂质会以某种其它方式影响薄片。
可以采用一种有点原始的粗略测试方法来确定是否是此聚丙烯运送装置引起所运送的薄片具有疏水性。尽管以前所用的方法非常主观，然而它确实显示出不同的聚丙烯在薄片上形成的疏水量不同。以前所用的测试方法包括，将薄片存储在聚丙烯运送装置内。该装置于50℃烘箱内放置24小时。24小时存储结束后，从运送装置中取出薄片，用去离子水将其弄湿，并倾斜成垂直状态，十秒钟后，记下不再潮湿的薄片的百分数作为疏水性百分数。
本发明的一个目的是生产适于存储和运送薄片的聚丙烯存储装置或容器，该聚丙烯的特性是将产生有机杂质的可能性以及与放在运送装置中的薄片相关的疏水性降至最小。
本发明的另一目的是建立一种改进方法以检查用于运送装置的聚丙烯在薄片上形成的疏水性。
本发明的一个特点是聚丙烯容器，特别是适于存储和运送硅薄片及其它类似薄片和磁盘的聚丙烯容器，以及这种聚丙烯的成型方法，此聚丙烯是除去了这样材料的聚丙烯，例如包括无规立构聚丙烯和低聚物，它们会由容器对放置其内的硅片放气从而导致薄片污染和疏水性。优选的聚丙烯包括双脱灰的无规共聚物，它是用一种老式催化剂聚合而成的，该催化剂含有极少量的澄清剂，抗氧剂和流动改进剂。这种运送装置的聚丙烯将放出的有机杂质降至最小，从而使硅片在运送和储存期间保持干净，这样在容器内储存后，在进一步加工以前不需进行净化。这种聚丙烯在聚合中使用高效催化剂以及这样一些添加剂，如果除去这些添加剂材料就会使薄片表面受污染从而造成薄片表面的疏水性。
这种双脱灰的聚丙烯是抗冲击的，并且是充分透明的，不必开关容器就可用肉眼直观检查存储的薄片。
从双脱灰的聚丙烯中除去澄清剂在很多情况下都是令人满意的，因为容器的薄壁板充分透明使得有可能进行所需的检查。
用于成型容器的聚丙烯优选是带有少量乙烯成分的无规共聚物，以提高透明性和冲击性，这对于运送容器是很重要的性质。在聚丙烯中混入少量澄清剂是很重要的，因为无规共聚物用于运送容器其本身并不具有足够的透明性，除非容器部分的横截面很薄。在平常使用中对透明性要求是充分透明以便检查装在容器中的硅片。
另一方面，聚丙烯还可以包含双脱灰均聚物，其中加入了少量抗氧剂/抗臭氧剂和流动改进剂。一般来说均聚物中不必加入澄清剂。这种来自均聚物的双脱灰聚丙烯如经成型在其壁板区域的很薄的部分具有足够的透明性。虽然含有均聚物的聚丙烯可能不如含有无规共聚物的聚丙烯那样具有高抗冲击性，然而对于许多应用来说，前者已具有足够的抗冲击性能，因为装载有薄片的聚丙烯运送装置由于所存储的薄片的高价值而被非常小心地搬运。聚丙烯均聚物与无规共聚物的主要差别在于前者从单体中除去了乙烯，而后者有乙烯含量。
为了防止聚合物链被破坏以及防止材料变脆，抗氧剂/抗臭氧剂对聚丙烯是很重要的。所用抗氧剂最好是Ethanox 330，一种具有低放气特性的受阻酚化合物，其结果可使存储的薄片的疏水性较低。
为了改进聚丙烯的成型充模性和顶出性，极小量的流动改进剂对聚丙烯是很重要的，但不能导致薄片出现不希望的疏水性。
将聚丙烯进行双脱灰以除去低聚物、无规聚丙烯以及聚合催化剂据认为是重要的。双脱灰包括将聚丙烯穿过溶剂洗涤两次，这样成型后的容器就不会再对薄片放气致使有机杂质达到不能接受的水平，因而薄片在存储后不需要进一步净化了。
尽管经双脱灰的材料在用溶剂洗涤后仍有一些残留的挥发份，然而这些化合物几乎没有足够的分子量和足够的挥发性因此它们不会在薄片上再冷凝而导致疏水性。同样重要的是双脱灰聚丙烯具有较低含量的微量金属，如果将它们汇集在薄片的表面也可认为它们是杂质。
此处出现的薄片一词是指包括任何种类的由硅或砷化镓制成的薄片或被加工成圆片的圆盘，或外延薄片，或被加工成存储盘的圆盘，或磁性介质，而不加以限制。
本发明的另一特性是提供一种简单方法来确定一种聚丙烯用于运送装置的适用性。该装置不对硅片造成污染并且不产生疏水性。首先必须对有机材料的薄片样品进行净化，以便对随后产生的疏水性进行测定。将薄片进行适当的净化后，把它放入一个也经净化而无有机杂质的容器内，然后将薄片与一些聚丙烯树脂在该密封和干净的容器内于某一温度，例如50℃存储大约20小时，该温度即表示薄片存储于运送装置期间薄片和运送装置可能遇到的高温。在此存放和暴露于高温完成后，测定薄片的疏水性。所用测定方法称为固定滴接触角测量法。它可测量出很准确的疏水性，除非有机杂质非常少以及薄片表面高度亲水。容器及盖以及在容器内支托薄片的铝架最好用氧等离子净化装置加以净化，该装置在市场上可买到并且是该领域的内行人熟知的。另外，此容器也可在强氧化酸中浸泡来净化，这种酸可以是例如硫酸中带有nochromix添加剂或三氧化铬的浓硫酸。用这种酸净化容器后，再用去离子水将其漂洗，然后用明火干燥，将薄片和支托薄片的铝架在明火上加热直至薄片发热变红，从而除去有机杂质。或者用一台紫外线臭氧净化器净化容器、托架和薄片，但最好使用氧等离子净化装置。
在利用固定滴接触角测量法技术确定薄片表面的疏水性时，用微型注射器将一小滴去离子水置于薄片上。当此滴液停止扩散时，测量薄片表面与液滴底面延伸切线之间的角，此角被称作超前角。同时也测量后退角，测量时或倾斜薄片直至液滴运动或将水拉回到微型注射器内。当液滴的边界开始后退，水停止移动时，测量薄片表面与液滴底面延伸切线之间的角。当后退角很小时，很难对其测量，但是小角度说明表面是高度亲水的，而且是很低程度疏水的。
图1是依据本发明用于硅片的聚丙烯运送容器的示意图。
图2是一流程图，用图解说明图1所用成型聚丙烯运送容器的聚合物的聚合和洗涤过程。
图3是一硅薄片的透视图，该薄片具有洁净的表面，具有亲水性从而导致去离子水在其上扩展开。
图4是图3薄片的侧视图，图中显示去离子水均匀地分散在薄片的亲水表面上。
图5是一硅薄片表面的透视图，该表面至少有一部分是疏水的，图中显示去离子水在其表面成珠状。
图6是图5薄片的正视图，图中显示在薄片表面成珠状的水。
图7所示为用于净化薄片试样的氧等离子体净化装置以及用于检查聚丙烯树脂疏水性效果的改进方法的其它装置。
图8是一闭合的净化的容器的示意图，用该容器把薄片暴露于聚丙烯树脂中以测定该树脂对存储的薄片的疏水性影响。
图9所示为改进的固定滴接触角测量方法用以检查在硅片上的聚丙烯的疏水性影响。
薄片储存装置9包括一个聚丙烯外容器10用于运送薄片。外容器的重要部件是接受器11和盖12，它们在连接件13处紧紧地装配在一起，连接件13可用一段长度的粘胶带密封起来，这样容器内的东西就被密封起来，并与容器外的环境条件隔绝开来。另一种方法是用一封闭机构将盖12固定在底部11上。容器10完全用聚丙烯成型，例如用注射成型。此聚丙烯非常清澈，因此透过器壁就可用肉眼看到容器内的东西。
容器10可封闭一个内容器或薄片承载体14，其可存储许多(典型是25个)硅薄片15。承载体14也可用与成型容器10所用相同的聚丙烯成型。其它类似的薄片承载体14可用Teflon PFA成型，也可用其它材料如聚乙烯，但多半不与聚丙烯容器10一起使用。
单个的薄片互相并排放置，排列成行，将它们彼此分开时用许多分离齿或腹板16，它们在侧壁上与承载件14形成一个整体。腹板或齿16的作用是限定每个薄片15与相邻嵌入薄片的位置，将薄片在承载架上的移动减至最小。承载件14一般配备腹板16和其它附件，以便由机器人进行承载件的搬运。承载件14的顶部17是敞开的，当把承载件从运送容器10移出时，可方便地插入和移动薄片而无阻碍，底18也是敞开的以便加工薄片15的液体流动。一般承载件的侧壁19还有狭槽以便提供加工薄片时液体和气体的通路。薄片承载件14可以具有特殊的形状，如美国专利4949848或3961877所示或其它市场上可买到的类似承载件的形状。
应该认识到下部或容器11与盖12是完全封闭的不允许流体或气体从容器10内进入或逸出。
在薄片15的储存期间，薄片暴露于容器11的内表面，不管怎样总会存在从容器壁的排气。运送容器可在盖12上成型有或附属有缓冲装置20以啮合和压住薄片15，使它们在承载体架14上更稳定。
用于成型容器10和14的优选材料是双脱灰的无规共聚聚丙烯，它含有一种抗氧剂/抗臭氧剂和一种流动改进剂，最好还有一种澄清剂。另一方面成型材料可以是一种含有抗氧剂/抗臭氧剂，和流动改进剂的双脱灰均聚物。
双脱灰无规共聚或双脱灰均聚聚丙烯是最小可能导致薄片疏水性的，而这是最重要的特性。无规共聚聚丙烯具有特有的透明度和冲击强度，这对于运送容器是重要的性质。这些特性比均聚物明显地好，均聚物较硬，透明度和抗冲击性都较低，但在许多情况下这些特性并不是关键的重要性。
无规共聚物有许多无规则地聚合在聚丙烯主链上的乙链单体，无规共聚物具有以下的重复单元
其中“x”含有90%或更多的键合。无规共聚树脂的乙烯含量为2.2-2.8%乙烯含量。
双脱灰聚丙烯被认为是最干净的聚丙烯树脂，因为脱灰过程除去了低聚物，无规立构聚丙烯以及聚合催化剂，留下所希望的丙烯称作全同立构聚丙烯，它具有如下的立体定向
除去的低聚物是有少量单体单元的化合物。除去的无规立构聚丙烯是一种很软很粘的材料常被用作胶液，它的单体单元相互具有特殊的立体定向，如下
在前面的两种聚丙烯立体定向中，R表示CH3基。脱灰过程也除去了聚合催化剂，这是一种老式催化剂与最近开发的某些聚丙烯聚合中所用的高活性催化剂大不相同。高活性催化剂聚丙烯如在聚合后通过净化或洗涤能够除去不需要的催化剂，无规立构材料，和其它材料如排气的低聚物，则这种聚丙烯也是适用的。
这里所用的双脱，灰无规共聚聚丙烯在用溶剂洗涤后仍留有某些挥发物，但这些化合物的分子量和挥发性很低，以致在薄片上不能再冷凝，因而不能产生疏水性。聚合物的洗涤称作脱灰，这是因为被除去的催化剂是一种氧化金属类的灰分。由于聚丙烯的高灰分和无规立构含量，在开发的这种聚合的聚丙烯过程中，必须进行脱灰。双脱灰方法包括将聚丙烯洗涤两次。脱过灰的聚丙烯除具有较低含量的疏水化合物以外，还具有较低含量的微量金属粒子，而这是有利的，因为在半导体工业中金属被认为是杂质。
尽管无规聚丙烯还算透明，但用在此场合，它尚不具有足够的透明度，因此在成型容器10的聚丙烯中最好使用澄清剂。澄清剂使聚丙烯结晶使之达到光学透明。澄清剂最好是一种以山梨糖醇为基础的材料，它具有一个糖的主链和苯甲醛衍生附属物。此澄清剂最好是一种已知的非常透明的材料Mitsui NC4。澄清剂最好以极低的量使用，优选1500ppm，±15%。此极少量的澄清剂被认为有助于减少聚丙烯对存储薄片的疏水性。尽管澄清剂的用量范围可为100ppm至3000ppm，但其最常用量为2500ppm。
Mitsui NC4材料的结构式如下
将抗氧剂/抗臭氧剂(以下称作抗氧剂)加入聚丙烯以防止聚合物链断裂并防止聚合物变脆。
尽管有多种抗氧剂可供选择，然而优选的抗氧剂是由Ethyl Corporation生产的Ethanox 330。在技术上，Ethanox 330的构成为1，3，5-三甲基-2，4，6-三(3，5-二-叔-丁基-4-羟苄基)汽油。
抗氧剂是一种高分子量受阻酚化合物，不含有任何亚磷酸盐。最好是把亚磷酸盐除去，因为磷是一种强半导体掺杂剂，如果将其排气至薄片上，它就是一种明显不良的抗氧剂副产品。优选抗氧剂的最佳加入量为大约1000ppm±15%，这是在聚丙烯生产中抗氧剂加入量的一个小范围。虽然在某些情况下，抗氧剂的加入量可在250-4000ppm的宽范围。但可以认为典型的抗氧剂加入量为1000-2500ppm。
另一种适用的但不是优选的抗氧剂是由Ciba Geige生产的Irganox1010，其技术上的构成为四(亚甲基)[3，5-二-叔-丁基-4-羟基氢化肉桂酸酯]甲烷用于成型容器10的聚丙烯像大多数聚丙烯一样具有流动改进添加剂。硬脂酸钙是最普通的流动改进剂，并用于容器10的聚丙烯中。流动改进剂在容器10的聚丙烯中的加入量定为大约100ppm，±15%，以便将由聚丙烯排出的杂质材料降低至极小值而且还使聚丙烯具有足够的流动特性。一般认为流动改进剂的加入量是极小的，通常大约为250ppm，在另一种情况下，其加入量可高达1000ppm。据认为硬脂酸钙是本聚丙烯化合物中流动改进剂的优选形式。
可以加在聚丙烯中的其它添加剂最好从容器10的聚丙烯中除去。这些其它添加剂可以是紫外线稳定剂和热稳定剂，以便提高该材料暴露于紫外光线下的使用寿命。最普通的紫外光源是太阳和荧光灯，当没有紫外线稳定剂的透明或半透明聚丙烯长时间暴露于紫外光时它们就可能脆化。容器10要求不使用这种类型的聚丙烯，因此取消可能成为杂质的添加剂。
在制备均聚聚丙烯时，从供给聚合反应器的单体中除去乙烯，其它反应步骤均按照图2所示过程进行，只是不加澄清剂。各个参数均同于无规共聚聚丙烯所示的。
总起来说，在以前所用的这种容器中尚没有一种聚丙烯对储存在聚丙烯容器中的薄片具有非常低的疏水性能。另外，据认为此聚丙烯与其它已知的聚丙烯相比已作了改进。这是因为加入极少量的澄清剂和流动改进剂以及在新树脂中选用优选的Ethanox 330从而产生了改进的亲水特性，并降低了储存在容器中的薄片表面的疏水作用。
图2所示为成型运送装置或运送容器10所用聚丙烯的聚合、脱灰、干燥和造粒全过程，向聚合反应器25中供入包括乙烯和丙烯的单体，以及催化剂，和作为溶剂的丙烷，在反应器中聚合物悬浮在溶剂中。悬浮在丙烷中的聚合物从反应器排出后在26闪蒸出丙烷。用于脱灰的闪蒸出溶剂(优选是庚烷)的聚合物固体被供入脱灰装置27，悬浮在溶剂中的已脱灰的固体从27中排出直接进入过滤器28，先进入袋式过滤器，再进入鼓式过滤器;从固体中分离出液体。正是在过滤器把不希望的材料(包括无规立构聚丙烯、催化剂、低聚物等)随溶剂带走而与全同聚丙烯薄片的固体分开，将全同聚丙烯排出供入第二步脱灰或洗涤装置29，在29中加入另外的溶剂，即庚烷。将携带聚合物薄片的溶剂再次排出，送入过滤器30，先进入袋式过滤器，然后再进入鼓式过滤器，将液体和固体分开，然后再把携带不希望的材料(包括无规立构聚丙烯、催化剂、低聚物等)的溶剂排出。将聚合物薄片从过滤器30中取出，送入烘箱31，这样可以从聚合物薄片中去除残留的溶剂，转鼓使薄片转动完成干燥过程。当薄片供入挤出机和造粒机32时，将添加剂(包括抗氧剂、澄清剂和流动改性剂)加到干燥的聚合物薄片中从而完成加工过程。颗粒含有用于容器10所希望的聚丙烯，由此所述工艺生产的颗粒在成型机33中成型为容器10。
已发明了一种改进方法以确定由聚丙烯运送容器对硅薄片产生的疏水作用，而不需将所有考虑的各种聚丙烯均成型为运送容器。
通常，将一干净的无有机杂质的硅薄片放在一个有盖的玻璃容器里，该容器至少里面是干净的没有有机杂质，薄片最好放在容器内的铝托架上支承，该托架也是除去有机杂质的，在容器内还放入一些聚丙烯树脂，储存时间和温度与在图1中的容器10中运送或储存薄片一样。暴露时间结束后，从容器中取出薄片，将固定滴落的去离子水置于薄片表面，测量水滴外形的超前和缩回接触角，这些角提供了薄片表面疏水性的指标。接触角大说明疏水性高亲水性低，接触角小说明疏水性低，亲水性高。
然后，根据测试在薄片表面产生极小疏水性影响的聚丙烯就可用来成型运送容器并为此而使用。
更准确地说，将一硅薄片(如图3和4中所见的薄片35)和一玻璃容器36与其盖37以及一铝托架38一起用一市场上可买到的等离子体净化器进行氧等离子净化，净化器如图7所示，在图中标以39。等离子体净化器有一射频频率发生器(图中标以40)和一真空泵41用于抽空操作腔室42。分别把薄片35，容器36和盖37以及支承薄片的铝托架38放入净化器。这样这些物体表面的有机杂质均被清除掉。当以这种方式净化薄片后，如把少量的去离子水施于薄片35的面上，它本身就会在薄片的表面上扩散成一薄片或膜43，如图3和4所示。
薄片被净化后，不把它弄湿，将干净的托架38与干净的薄片35一起放入容器36中。在容器的底部再装入一些聚丙烯树脂，然后盖上盖37。将此密闭的容器在一标准温度(大约50℃)下储存适当长度的时间(如20小时)。这样薄片35和树脂44都经受了标准条件，接着此薄片还可在此条件下储存于容器10之内。容器中的树脂44排气，薄片35的表面将会聚集有机杂质，从而倾向于产生疏水性(对水缺乏亲合性)。
薄片35在暴露于聚丙烯树脂中一段时间后，将其从容器36中取出，将一滴或多滴去离子水45施于薄片35的表面，如果薄片表面是疏水的，则水就会聚集成珠状，如图5和6所示。然后测量固定液滴的接触角，在超前和缩回条件下的接触角可直接显示出薄片表面的疏水性。
一般说来，测量固定液滴接触角的方法在过去是已知的技术，并可以多种方式来完成。该接触角就是液滴外形的边缘部分与液滴所位于平面的夹角。超前接触角就是当液滴趋于运动或前进跨越薄片的面时，在液滴的边缘的接触角，如同液滴的尺寸长大时的情形(此时液滴趋于向外移动边缘)或如同液滴在重力作用下(由于倾斜有液滴的薄片所引起)趋于跨越薄片表面时的情形。缩回角是这样一种液滴的接触角，此处液滴的体积减小并趋于向薄片向移动边缘，或由于薄片倾斜液滴趋于移动。在图9中把液滴45大大放大了，切线46在液滴的超前边相对于薄片35的表面正切于液滴45的外形。超前角用47表示。缩回接触角在一部分液体用微型吸嘴50从液滴抽走后，由液滴45a的切线49间的箭头48所表示。缩回角48的测量要正好在液滴的边缘部分在薄片的面上趋于向内移动时进行，由于液滴的体积减小，因此液滴外形呈现图9中所看见的虚线位置。
用一台光学比较器或一台带显微镜的照相机可以容易地测出接触角，该仪器可以把液滴的外形放大，因而可以测出接触角。
在其它情况下，可以通过投影液滴外形的影像，或用一台装有测角器目镜的光学仪器来测量接触角，或者也可以通过测量液滴的尺寸，即液滴的直径和高度来确定接触角。当然，在测量超前或缩回接触角时必须避免液滴的振动和变形。
硅薄片暴露于各种聚丙烯之后，测量去离子水在其上的固定液滴接触角，结果如下表Ⅰ材料 超前角(度) 缩回角(度)干净的薄片 4.4 0.8AA(优选的) 10.0 0.6A(均聚物) 9.9 1.0F 17.0 1.0硅薄片暴露于各种聚丙烯之后，测量水在其上的固定液滴接触角，所有的材料均显示出对薄片的相当小的疏水作用和显著的亲水作用。材料AA是本说明书中优选的材料并用它成型容器10，它是一种利用老式催化剂的双脱灰无规共聚物。此共聚物的乙烯成分为2.2-2.8%;Ethanox 330被用作抗氧剂/抗臭氧剂，其加入量为1000ppm。所说明的澄清剂化合物的用量为1500ppm;而流动改进剂，硬脂酸钙的用量为100ppm。用这种优选的材料制成的聚丙烯与其它所测试的材料相比显示出很大的优点。
材料A是一种均聚物材料，与无规共聚物材料相比它使聚丙烯更硬和更脆。此均聚物是双脱灰的，使用1000ppm受阻酚作为抗氧剂/抗臭氧剂;并加入大约100ppm硬脂酸钙作为流动改进剂。
表Ⅰ中所标明的材料F是一种双脱灰的无规共聚物材料，它带有多种添加剂，2500ppm山梨糖醇澄清剂;1000ppm受阻酚作为抗氧剂/抗臭氧剂;以及预测值为250ppm的硬脂酸钙作为流动改进剂。
可以看出本发明包括一种改进的用于运送硅薄片的聚丙烯容器，其对存储的薄片只有极小的疏水性作用。本发明还包括一种改进的方法用以检查各种聚丙烯对用聚丙烯制成的承载部件所存储的硅的疏水作用。
在不背离本发明的精神或基本特性情况下，本发明还可以表现为其它特殊形式，因此请将这里的具体实例在各个方面都看作是说明性的，而非限制的，以所附的权利要求而不是以前面的说明书为基准来表明本发明的范围。
权利要求
1.一种用于薄片的储存薄片装置，包括一个封闭薄片的容器，它里面会有支承至少一个薄片的用具，该容器所用的成型聚丙烯含有双脱灰的聚丙烯，其中加入一种抗氧剂/抗臭氧剂和一种流动改进剂。
2.一种根据权利要求1的储存薄片装置，其中所说的双脱灰聚丙烯包括一种无规共聚聚丙烯。
3.一种根据权利要求1的储存薄片装置，其中所说的双脱灰聚丙烯包括一种均聚聚丙烯。
4.一种根据权利要求1的储存薄片的装置，其中所说的双脱灰聚丙烯包括一种无规共聚聚丙烯，在其中还加入一种澄清剂。
5.一种根据权利要求1的储存薄片装置，其中所说的用具包括一个薄片承载部件，它是用成型聚丙烯形成的，该聚丙烯含有一种双脱灰的聚丙烯，其中还加入一种抗氧剂/抗臭氧剂和一种流动改进剂。
6.一种根据权利要求1的储存薄片装置，其中双脱灰的无规共聚物经历了两次洗涤过程。
7.一种根据权利要求1的储存薄片装置，其中无规共聚物中的乙烯成分为2.2-2.8%。
8.一种根据权利要求1的储存薄片装置，其中的聚丙烯是利用一种老式催化剂聚合的，并随后经两次脱灰。
9.一种根据权利要求4的储存薄片装置，其中澄清剂化合物是一种以山梨糖醇为基础的材料，它具有一个糖主链和苯甲醛衍生物附属物。
10.一种根据权利要求9的储存薄片的装置，其中澄清剂的含量为大约1500ppm。
11.一种根据权利要求1的储存薄片的装置，其中抗氧剂/抗臭氧剂是由一种高分子量的受阻酚化合物组成的。
12.一种根据权利要求11的储存薄片装置，其中抗氧剂/抗臭氧剂的含量为大约1000ppm。
13.一种根据权利要求1的储存薄片装置，其中抗氧剂/抗臭氧剂含有Ethanox 330。
14.一种根据权利要求1的储存薄片的装置，其中流动改进剂含有硬脂酸钙。
15.一种根据权利要求14的储存薄片的装置，其中流动改进剂的含量为大约100ppm。
16.一种用于薄片的运送装置，包括一个可打开的闭合的固体外部容器部分和一个限制在所说外部容器部分之内的在容器内支承着至少一块硅薄片的内部容器部分，所说的内部和外部容器部分是由可成型聚丙烯形成的，该聚丙烯是由单体使用催化剂而聚合成的，随后再洗涤两次所得的聚合物以除去不希望的催化剂以及可能排气导致此薄片污染和疏水性的其它材料，该聚丙烯还加入一种抗氧剂和一种流动改进剂，由此将存储在容器内的薄片的污染和疏水性减至最小。
17.一种根据权利要求16的运送薄片装置，其中所说的聚丙烯单体含有一种带有所加入乙烯的无规聚丙烯，在聚丙烯中还加入一种澄清剂。
18.一种根据权利要求16的运送装置，其中所说的聚丙烯单体含有一种均聚聚丙烯。
19.一种改进的测定硅薄片表面疏水性的方法，包括对薄片表面进行固定滴角的测量，包括将一滴去离子水置于薄片的表面，使一部分液滴在表面的一部分上向前，借此使液滴部分在与表面的接触点相对于表面呈现具有超前接触角的外形，此时正好是在所说的部分向前运动之前，测量所说的接触角作为表面疏水性的指标。
20.一种根据权利要求19的改进的测定硅薄片表面疏水性的方法，其中所说的使一部分液滴在表面的一部分上向前包括将一部分水加入到液滴中，接下来使液滴降下。
21.一种根据权利要求19的改进的测定硅薄片表面疏水性的方法，其中液滴的第二部分被导致从液滴(该液滴接触薄片的表面)的边缘退缩，由此使液滴的第二部分呈现一个退缩接触角(此角在所说液滴的边缘相对于表面)的外形，此时正好是在所说第二部分的退缩运动之前，测量所说的退缩接触角作为表面疏水性的指标。
22.一种改进的确定聚丙烯树脂(成型为闭合容器)对贮存在此容器内的硅薄片的疏水性作用的方法，包括净化硅薄片样品的表面部分，去掉有机杂质，将能装进薄片的玻璃容器的内部以及该容器的盖净化，去除有机杂质，将聚丙烯树脂颗粒放入此容器，在容器内支承起薄片，并与聚丙烯颗粒离开，然后盖上容器，模仿在此闭合的容器内存储薄片的条件，对容器、薄片和聚丙烯颗粒加热一定长度时间，接着用去离子水在薄片上测量超前和退缩接触角的固定滴接触角，作为聚丙烯对薄片疏水性作用的指标。
23.一种改进的如权利要求22所表示的确定聚丙烯树脂疏水性作用的方法，其中对所说固定滴接触角的测量包括将一滴去离子水置于一薄片的表面，测量液滴外形相对于该表面的超前角和退缩角，测点为液滴与表面的接触部分，此时所说液滴部分开始在薄片部分上移动。
24.一种改进的如权利要求22所表示的测定聚丙烯树脂疏水性作用的方法，其中所说的从薄片表面和容器及其盖上净化去除有机杂质包括用氧等离子体净化。
25.一种改进的如权利要求18所表示的测定聚丙烯树脂疏水性作用的方法，其中所说的从硅薄片净化去除有机杂质包括对薄片进行加热。
全文摘要
用于硅薄片的运送容器，该容器含有双脱灰的带有少量乙烯的无规共聚聚丙烯，并带有极少量的高分子量受阻酚作为抗氧剂／抗臭氧剂，以及极少量澄清剂化合物和流动改进剂。测定聚丙烯对存储的半导体薄片的疏水性作用的测试方法，包括从薄片样品、玻璃容器的里面及其盖上还有支承薄片的支架上去除有机杂质进行净化，在升高的温度下将薄片暴露于容器内的一些聚丙烯树脂中一段时间，然后测量去离子水在硅薄片(已暴露于各种聚丙烯之后)上的固定液滴接触角，最小的液滴接触角形成聚丙烯对薄片疏水性作用的指标。
文档编号B65D85/86GK1065634SQ92101448
公开日1992年10月28日 申请日期1992年1月29日 优先权日1991年4月11日
发明者K·J·米克尔森 申请人:氟器皿有限公司