产品固定夹具及方法与流程

本发明涉及检测领域，具体涉及一种产品固定夹具及方法。

背景技术

cmpretainingring产品应用于半导体行业中的cmp工艺，是通过化学研磨料与机械研磨相结合的方法，达到使硅片表面平坦化的目的。而此种产品是由pps塑料(聚苯硫醚)和sus304(日本sus系列奥氏体不锈钢)材料通过胶水粘接而成。

在现有技术中，往往需要将两种不同材料粘接在一起，而现有技术中往往会出现两种不同的材料粘接的不紧密的情况。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种产品固定夹具及方法。

本发明提供一种技术方案：

一种产品固定夹具，所述产品固定夹具包括盖板和底板，所述底板为圆盘状底板，所述底板的表面设置有第一圆形凹槽，所述第一圆形凹槽的圆心与所述底板的圆心重合；所述底板还开设有多个第一通孔，所述多个第一通孔与所述圆心的距离相同，且所述多个第一通孔与所述圆心的距离大于所述第一圆形凹槽的直径；所述盖板为圆环状盖板，所述盖板与所述第一通孔对应的位置分别设置有第二通孔。

在本发明较佳的实施例中，所述多个第一通孔包括六个第一通孔，六个第一通孔均匀分布于所述底板。

六个第一通孔均匀分布在底板，当需要通过第一通孔与螺栓的配合来固定底板时，由于第一通孔的数量有六个，并且是均匀分布，因此能够较好地起到对底板的固定作用。

在本发明较佳的实施例中，所述第一通孔与所述第二通孔内均设置有螺纹，所述盖板与所述底板通过第一通孔、第二通孔以及螺栓啮合的方式固定连接。

第二通孔设置于盖板，第一通孔设置于底板，底板与盖板可以通过第一通孔、第二通孔以及螺栓相啮合的方式固定连接，欲固定的产品可设置在盖板与底板之间，通过第一通孔、第二通孔以及螺栓啮合的方式可以更加紧密的固定盖板与底板之间的产品。

在本发明较佳的实施例中，所述盖板的靠近内环的位置开设有多个第三通孔，所述多个第三通孔与所述盖板的圆心的距离相同；所述底板与所述第三通孔对应的位置分别设置有第四通孔。

盖板除了靠近盖板外环边缘的位置设置有第二通孔，在靠近内环的位置还可以开设有第三通孔，第二通孔与第三通孔相互配合，使得圆环状产品被固定在了穿过第一通孔、第二通孔的螺栓以及穿过第三通孔、第四通孔的螺栓之间，使得产品的固定更加牢固。

在本发明较佳的实施例中，所述第三通孔与所述第四通孔内均设置有螺纹，所述盖板与所述底板通过第三通孔、第四通孔以及螺栓啮合的方式固定连接。

第三通孔设置于盖板，第四通孔设置于底板，底板与盖板可以通过第四通孔、第三通孔以及螺栓相啮合的方式固定连接，欲固定的产品可设置在盖板与底板之间，通过第三通孔、第四通孔以及螺栓啮合的方式可以更加紧密的固定盖板与底板之间的产品。

在本发明较佳的实施例中，所述盖板的靠近所述底板的一面设置有第二圆形凹槽，且第二圆形凹槽的圆心与所述盖板的圆形重合，所述第二圆形凹槽的直径与所述第一圆形凹槽的直径相同。

第二圆形凹槽与第一圆形凹槽相对，当盖板与底板相接触时，第一圆形凹槽与第二圆形凹槽可以共同组成一容置腔，该容置腔内可用于容纳产品。

在本发明较佳的实施例中，所述底板为金属底板，所述盖板为金属盖板。

底板以及盖板均可以为金属材料制成，可以理解，底板与盖板的具体制作材料不应该理解为是对本申请的限制。

本发明还提供一种技术方案：一种产品固定方法，所述方法包括：在不锈钢环的凹槽内打好预设胶水；将打好预设胶水的所述不锈钢环置入底板的第一圆形凹槽内，且将打好预设胶水的一面远离所述底板；将塑料环放置在所述不锈钢环的远离所述底板的一面；将圆环状盖板覆盖所述底板，且所述圆环状盖板的第二圆形凹槽朝向所述塑料环。

在本发明较佳的实施例中，在将圆环状盖板覆盖所述底板，且所述圆环状盖板的第二圆形凹槽朝向所述塑料环之后，所述方法还包括：通过螺栓依次穿过所述底板的第一通孔、所述盖板的第二通孔的方式，将所述底板与盖板固定连接。

不锈钢环的表面开设有环形凹槽，环形凹槽的圆心与不锈钢环的圆心重合，且环形凹槽内用于容纳预设胶水，该预设胶水具体为araldite胶水，型号为2014-1，含a胶水+b胶水2种，其中a胶水与b胶水可以按照1:2的比例混合，然后将混合后的胶水涂在环形凹槽中。塑料环具体可以为pps塑料，该塑料环与不锈钢环通过环形凹槽内的胶水粘接的在一起。粘接完成后，可以使用底板与盖板来固定粘接在一起的塑料环以及不锈钢环，然后通过第一通孔与第二通孔以及螺栓相啮合的方式固定。

在本发明较佳的实施例中，在通过螺栓依次穿过所述底板的第一通孔、所述盖板的第二通孔的方式，将所述底板与盖板固定连接之后，所述方法还包括：将被底板与盖板固定的不锈钢环以及塑料环置入干燥箱内加热。

干燥箱内的温度可以为60±5℃，干燥的时间为180±10min，在完成固化处理后，可拆卸夹具，并将其中的产品取出。

本发明实施例提供的产品固定夹具及方法的有益效果是：

本发明实施例提供了一种产品固定夹具及方法，所述产品固定夹具包括盖板和底板，所述底板为圆盘状底板，所述底板的表面设置有第一圆形凹槽，所述第一圆形凹槽的圆心与所述底板的圆心重合；所述底板还开设有多个第一通孔，所述多个第一通孔与所述圆心的距离相同，且所述多个第一通孔与所述圆心的距离大于所述第一圆形凹槽的直径；所述盖板为圆环状盖板，所述盖板与所述第一通孔对应的位置分别设置有第二通孔。通过产品固定夹具来固定不锈钢环与塑料环粘接成的产品，从而使得不锈钢环与塑料环粘接成的产品的粘接程度更加牢固。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明较佳实施例提供的产品固定夹具的侧视图；

图2为本发明较佳实施例提供的产品固定夹具的俯视图；

图3为本发明较佳实施例提供的产品固定方法的流程示意图；

图4为本发明较佳实施例提供的产品固定方法的一种具体实施方式的流程示意图。

图标：产品固定夹具100；盖板110；第二通孔111；第三通孔112；第二圆形凹槽113；底板120；第一圆形凹槽121；第一通孔122；第四通孔123。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明实施例的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或组件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个组件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请参见图1和图2，图1和图2共同示出了一种产品固定夹具100，所述产品固定夹具100包括盖板110和底板120，所述底板120为圆盘状底板120，所述底板120的表面设置有第一圆形凹槽121，所述第一圆形凹槽121的圆心与所述底板120的圆心重合；所述底板120还开设有多个第一通孔122，所述多个第一通孔122与所述圆心的距离相同，且所述多个第一通孔122与所述圆心的距离大于所述第一圆形凹槽121的直径；所述盖板110为圆环状盖板110，所述盖板110与所述第一通孔122对应的位置分别设置有第二通孔111。

具体地，所述多个第一通孔122包括六个第一通孔122，六个第一通孔122均匀分布于所述底板120。六个第一通孔122均匀分布在底板120，当需要通过第一通孔122与螺栓的配合来固定底板120时，由于第一通孔122的数量有六个，并且是均匀分布，因此能够较好地起到对底板120的固定作用。

具体地，所述第一通孔122与所述第二通孔111内均设置有螺纹，所述盖板110与所述底板120通过第一通孔122、第二通孔111以及螺栓啮合的方式固定连接。第二通孔111设置于盖板110，第一通孔122设置于底板120，底板120与盖板110可以通过第一通孔122、第二通孔111以及螺栓相啮合的方式固定连接，欲固定的产品可设置在盖板110与底板120之间，通过第一通孔122、第二通孔111以及螺栓啮合的方式可以更加紧密的固定盖板110与底板120之间的产品。

具体地，所述盖板110的靠近内环的位置开设有多个第三通孔112，所述多个第三通孔112与所述盖板110的圆心的距离相同；所述底板120与所述第三通孔112对应的位置分别设置有第四通孔123。盖板110除了靠近盖板110外环边缘的位置设置有第二通孔111，在靠近内环的位置还可以开设有第三通孔112，第二通孔111与第三通孔112相互配合，使得圆环状产品被固定在了穿过第一通孔122、第二通孔111的螺栓以及穿过第三通孔112、第四通孔123的螺栓之间，使得产品的固定更加牢固。

具体地，所述第三通孔112与所述第四通孔123内均设置有螺纹，所述盖板110与所述底板120通过第三通孔112、第四通孔123以及螺栓啮合的方式固定连接。第三通孔112设置于盖板110，第四通孔123设置于底板120，底板120与盖板110可以通过第四通孔123、第三通孔112以及螺栓相啮合的方式固定连接，欲固定的产品可设置在盖板110与底板120之间，通过第三通孔112、第四通孔123以及螺栓啮合的方式可以更加紧密的固定盖板110与底板120之间的产品。

具体地，所述盖板110的靠近所述底板120的一面设置有第二圆形凹槽113，且第二圆形凹槽113的圆心与所述盖板110的圆形重合，所述第二圆形凹槽113的直径与所述第一圆形凹槽121的直径相同。第二圆形凹槽113与第一圆形凹槽121相对，当盖板110与底板120相接触时，第一圆形凹槽121与第二圆形凹槽113可以共同形成一容置腔，该容置腔内可用于容纳产品。

具体地，所述底板120为金属底板120，所述盖板110为金属盖板110。底板120以及盖板110均可以为金属材料制成，可以理解，底板120与盖板110的具体制作材料不应该理解为是对本申请的限制。

请参见图3，图3示出了本发明提供的产品固定方法，具体包括如下步骤：

步骤s110，在不锈钢环的凹槽内打好预设胶水。

不锈钢环为sus304(sus系列奥氏体不锈钢)材料，该不锈钢环内的凹槽内可以打好预设胶水。胶水可以为araldite胶水，型号为2014-1，含a胶水+b胶水2种，a胶水与b胶水可以按照1:2的比例配置。

步骤s120，将打好预设胶水的所述不锈钢环置入底板120的第一圆形凹槽121内，且将打好预设胶水的一面远离所述底板120。

将打好预设胶水的不锈钢环置入底板120的第一圆形凹槽121内，由于不锈钢环内的预设胶水是用于与塑料环粘结的，因此打好预设胶水的一面远离底板120。

步骤s130，将塑料环放置在所述不锈钢环的远离所述底板120的一面。

塑料环可以为pps塑料(聚苯硫醚)，喷砂好打完胶的不锈钢和喷砂完成的pps粘结在一起。

步骤s140，将圆环状盖板110覆盖所述底板120，且所述圆环状盖板110的第二圆形凹槽113朝向所述塑料环。

不锈钢环与塑料环相接触后，用圆环状盖板110覆盖底板120，从而压住不锈钢环与塑料环粘结围成的结构，使得不锈钢环与塑料环的粘结更加紧密。

请参见图4，图4示出了本发明提供的产品固定方法的一种具体实施方式的流程示意图，具体包括如下步骤：

步骤s110，在不锈钢环的凹槽内打好预设胶水。

步骤s120，将打好预设胶水的所述不锈钢环置入底板120的第一圆形凹槽121内，且将打好预设胶水的一面远离所述底板120。

步骤s130，将塑料环放置在所述不锈钢环的远离所述底板120的一面。

步骤s140，将圆环状盖板110覆盖所述底板120，且所述圆环状盖板110的第二圆形凹槽113朝向所述塑料环。

图4示出的步骤s110至步骤s140与图3示出的步骤s110至步骤s140相同，在此便不做赘述。

步骤s150，通过螺栓依次穿过所述底板120的第一通孔122、所述盖板110的第二通孔111的方式，将所述底板120与盖板110固定连接。

具体可以通过螺栓固定的方式来固定底板120与盖板110，从而使得底板120与盖板110组成的产品固定夹具100夹紧，当然，也可以通过其他的方式来夹紧产品固定夹具100，夹紧产品固定夹具100的方式不应该理解为是对本申请的限制。

步骤s160，将被底板120与盖板110固定的不锈钢环以及塑料环置入干燥箱内加热。

干燥箱内的温度可以为60±5℃，干燥的时间为180±10min，在完成固化处理后，可拆卸夹具，并将其中的产品取出。加热可以使得产品之间粘结的更牢固。

本发明实施例提供了一种产品固定夹具100及方法，所述产品固定夹具100包括盖板110和底板120，所述底板120为圆盘状底板120，所述底板120的表面设置有第一圆形凹槽121，所述第一圆形凹槽121的圆心与所述底板120的圆心重合；所述底板120还开设有多个第一通孔122，所述多个第一通孔122与所述圆心的距离相同，且所述多个第一通孔122与所述圆心的距离大于所述第一圆形凹槽121的直径；所述盖板110为圆环状盖板110，所述盖板110与所述第一通孔122对应的位置分别设置有第二通孔111。通过产品固定夹具100来固定不锈钢环与塑料环粘接成的产品，从而使得不锈钢环与塑料环粘接成的产品的粘接程度更加牢固。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。