专利名称：基板的处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基板的处理装置，通过从吹拂器(air knife)喷射的气体对附着 残留在被洗净处理了的基板上的处理液进行干燥处理。
背景技术：
例如，在液晶显示装置或半导体装置的制造工序中，向这些装置的处理对象物即 玻璃基板或半导体晶片等基板上涂敷抗蚀剂，通过对该基板进行显影处理之后进行蚀刻处 理，在表面精密地形成电路图案。若在基板上形成了电路图案，则进行通过洗净液去除附着 在该基板的表面上的抗蚀膜或抗蚀残渣等有机物的干燥处理。当在被洗净处理了的基板上残留洗净液时，会成为水印等污垢的原因。因此，从吹 拂器向由洗净液洗净了的基板的上下面喷射气体，进行去除附着残留在基板上的洗净液的 干燥处理。上述干燥处理为，向处理装置的腔内水平输送基板，并通过上下一对吹拂器向该 基板的上下面喷射气体，通过该气体来去除附着在基板上的洗净液。使用一对吹拂器对基板进行干燥处理的情况下，要求基板的板面均勻、而且效率 良好可靠地进行干燥处理。因此，跨越吹拂器的长度方向整个长度地精度良好且均勻地设 定上下一对吹拂器与基板的板面之间的间隔很重要。最近，基板处于大型化的倾向。这种情况下，吹拂器需要比基板的宽度尺寸长，因 此有例如使用3m以上的长度的部件。当将长尺化了的吹拂器沿与基板的输送方向交叉的 方向架设到腔内时，基板上方的吹拂器由于自重而向下方挠曲，与两端部相比，长度方向的 中途部接近于基板的上面。另外，下方的吹拂器同样由于自重而向下方挠曲，与两端部相 比，长度方向的中途部与基板的下面之间的间隔变大。这样，当相对于基板的上面以及下面的与吹拂器的相对间隔不均勻时，在吹拂器 的长度方向上基板的板面接受的气体的速度不是一定，因此存在不能够对基板跨越宽度方 向整个长度地均勻地进行干燥处理。因此，使用具备了不会由于自重而产生挠曲的刚性的、较厚的材料而构成吹拂器。 然而这种情况下，由于吹拂器高重量化，不仅安装作业等的操作不方便，而且吹拂器使用了 不锈钢等高价的材料，因此成本变高。这里提出了如专利文献1所示那样，即使吹拂器处于长尺化了的情况下，不用提 高吹拂器自身的刚性也不产生挠曲。即，如专利文献1的图8所示那样，在吹拂器的长度方 向的中途部安装支撑件，连结部件的一端连结在该支撑件上。该连结部件的另一端连结在 与上述吹拂器平行地配置的供气管上。该供气管与吹拂器之间通过管子连接，能够向吹拂 器供给气体。专利文献1 日本特开2006-245328号公报根据专利文献1所示的吹拂器的支撑结构，在连结部件的一端连结固定有安装在 吹拂器上的支撑件，该连结部件的另一端连结固定在供气管上。为此，供气管产生挠曲的情况下，不能够吸收该供气管的挠曲，因此存在与供气管一起吹拂器也会产生挠曲这样的情 况。另外，要求吹拂器相对于基板的板面进行调整高度以及倾斜角度。然而，如专利文 献1所示那样，为了使吹拂器不产生挠曲，在通过连结部件连结固定在供气管上的支撑件 上安装吹拂器的结构中，存在不能够调整上述吹拂器的高度或倾斜度这样的情况。
发明内容
本发明提供一种基板的处理装置，不用提高吹拂器的刚性便能够防止产生挠曲， 而且能够调整吹拂器相对于基板板面的高度或倾斜度。为了解决上述课题，本发明提供一种基板的处理装置，对在腔内水平输送的基板 的上面和下面喷射气体，而对该基板进行干燥处理，该基板的处理装置的特征在于，具有上部吹拂器，与在上述腔内输送的上述基板的上面相对地配置，以预定的倾斜角 度对该基板的上面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有上部钩下部吹拂器，与上述基板的下面相对地配置，以预定的倾斜角度对该基板的下面 喷射气体，并且在长度方向中途部设置有下部钩；上部支撑部件以及下部支撑部件，分别沿与各吹拂器相同的方向平行地设置在上 述上部吹拂器的上方和上述下部吹拂器的下方；悬挂部件，可沿垂直方向定位地设置在上述上部支撑部件的长度方向中途部，具 有上述上部钩可摆动地卡合在下端的上部卡止部；以及提升部件，可沿垂直方向定位地设置在上述下部支撑部件的长度方向中途部，具 有上述下部钩可摆动地卡合在上端的下部卡止部。发明的效果根据本发明，设置在上部吹拂器上的上部钩可摆动地卡合在悬挂部件的上部卡止 部上，而且可相对于上部支撑部件沿垂直方向定位，因此，不仅能够防止上部吹拂器向下方 挠曲，而且还可以进行上部吹拂器相对于基板的板面的角度以及上下方向的定位调整。另外，设置在下部吹拂器上的下部钩可摆动地卡合在提升部件的下部卡止部，而 且可相对于下部支撑部件沿垂直方向定位，因此，不仅能够防止下部吹拂器向下方挠曲，而 且还可以进行下部吹拂器相对于基板的板面的角度以及上下方向的定位调整。
图1是表示该发明的一实施方式的沿腔的长度方向的纵剖视图。图2是省略了吹拂器单元的一部分的主视图。图3是吹拂器单元的一端部的立体图。图4是表示防止上部吹拂器和下部吹拂器的挠曲的机构的侧视图。图5是测量了上部吹拂器的挠度的曲线图。图6是测量了下部吹拂器的挠度的曲线图。图7A是测量了上部吹拂器的挠曲没有被矫正时的基板上的气体的风速的曲线 图。
图7B是测量了矫正了上部吹拂器的挠曲时的基板上的气体的风速的曲线图。图7C是表示了测量基板上的风速时的条件的图。符号说明1、腔6、吹拂器单元7、上部吹拂器8、下部吹拂器12、高度调整部件16、高度调整螺栓18、角度调整部件25、上部支撑部件26、下部支撑部件27、悬挂部件29、上部卡止部31、上部钩32、提升部件34、下部卡止部35、下部钩、支撑部件
具体实施例方式以下，参照附图对该发明的一实施方式进行说明。图1是基板的处理装置的沿长度方向的纵剖视图，该处理装置具有腔1。在该腔1 内，沿上述长度方向以预定的间隔配置有通过未图示的驱动机构旋转驱动的多个输送辊2。在上述腔1的长度方向的一端开口地形成有搬入口 3，在另一端开口地形成有搬 出口 4。从上述搬入口 3向腔1内供给在前工序被洗净处理了的基板W。向腔1内供给的 基板W由上述输送辊2沿箭头所示的方向被水平输送，并从上述搬出口 4搬出。接着，上述 基板W在上述腔1内被输送期间，由吹拂器单元6进行去除附着残留于上下面的洗净液的 干燥处理。上述吹拂器单元6如图2和图3所示那样，在前端面具有跨越长度方向的几乎这 个长度地形成有气体的喷出孔7a、8a的上部吹拂器7和下部吹拂器8。这些各吹拂器7、8 是将不锈钢钢板等的具有耐蚀性的2片板材叠合而形成的。如图3所示那样，在宽度方向的一端部形成有一对长孔11的矩形板状的高度调整 部件12，经由上述长孔11由一对安装螺栓13连结在各吹拂器7、8的长度方向的一端与另 一端的侧面上(仅图示一方)。再者，在各吹拂器7、8的侧面设置有通过管子(同样未图示)与供给从上述喷出 孔7a、8a喷出的压缩空气等气体的气体供给部相连接的多个气体供给口体7b、8b。在上述高度调整部件12的宽度方向的一端设置有突出部14。该突出部14通过与 设置在上述各吹拂器7、8的后端面的安装片15螺合的高度调整螺栓16被按压。若以松缓了上述一对安装螺栓13的状态，并由上述高度调整螺栓16来按压上述
5突出部14，则能够相对于上述高度调整部件12沿各侧面的高度方向即沿上下方向来移动 各吹拂器7、8。在上述高度调整部件12的宽度方向的另一端部，由一对定位螺钉19安装固定有 带板状的角度调整部件18的端面。上述角度调整部件18的一端部从各吹拂器7、8的前端 面突出。一对角度调整部件18的一端部被叠合，该叠合部分通过角度调整螺钉22可转动 且能以预定的转动角度固定地被安装在侧面形状为二字状的连结部件21的中途部上。因此，上部吹拂器7和下部吹拂器8相对于上述连结部件21，经由上述角度调整部 件18并由上述角度调整螺钉22可进行角度调整，经由上述高度调整部件12并由高度调整 螺钉16可进行高度调整。接着，如图2所示那样，在设置在上部吹拂器7和下部吹拂器8的长度方向的一端 和另一端的一对连结部件21的上边安装固定有上部支撑部件25的长度方向的一端部和另 一端部，在下边安装固定有下部支撑部件26的长度方向的一端部和另一端部。上述上部支撑部件25和下部支撑部件26相对于负荷是比较不容易产生挠曲的形 状的部件，例如使用角部件(ry夕' >材)。在上部支撑部件25的长度方向中途部的2处 设置有由螺栓构成的悬挂部件27。如图4所示那样，在上述悬挂部件27的中途部夹着上述上部支撑部件25的一个 边螺合有一对固定螺母28。由此，上述悬挂部件27相对于上述上部支撑部件25沿上下方 向可进行定位调整。在上述悬挂部件27的下端，圆柱状的上部卡止部29的轴线与悬挂部件27的轴线 正交地设置。在上述上部卡止部29的圆弧状的外周面卡合有，形成在一端安装固定在上述上 部吹拂器7的长度方向中途部的后端面的上部钩31的另一端的、作为卡合部的L字状的钩 部31a。即，上述钩部31a相对于上述上部卡止部29可摆动地卡合。再者，在上述钩部31a 形成有槽部31b，上述悬挂部件27通过该槽部31b。由此，若由一对固定螺母28来调整上述悬挂部件27相对于上述上部支撑部件25 的上下方向的位置，则通过设置在该悬挂部件27的下端的上部卡止部29与设置在上部吹 拂器7上的上部钩31之间的卡合，能够去除上述上部吹拂器7向下方的挠曲。当松缓上述角度调整螺钉22、使上述角度调整部件18转动来调整上述上部吹拂 器7的角度时，对应上部吹拂器7的转动，上部钩31的钩部31a相对于上部卡止部29沿与 上部吹拂器7的长度方向交叉的方向摆动，因此，能够变更上部吹拂器7的角度。如图2所示那样，在上述下部支撑部件26的长度方向中途部的2处设置有由螺栓 构成的提升部件32。如图4所示，在该提升部件32的中途部夹着上述下部支撑部件26的 一个边螺合有一对固定螺母33。由此，上述提升部件32相对于上述下部支撑部件26沿上 下方向可进行定位调整。在上述提升部件32的上端，圆柱状的下部卡止部34的轴线与提升部件32的轴线 正交地设置。在上述下部卡止部34的圆弧状的外周面卡合有形成在一端安装固定在上述 下部吹拂器8的长度方向中途部的后端面的下部钩35的另一端的、作为卡合部的L字状的 钩部35a。S卩，上述钩部35a相对于上述下部卡止部34沿与上述下部吹拂器8的长度方向 交叉的方向可摆动地卡合。
由此，若由一对固定螺母33来调整上述提升部件32相对于上述下部支撑部件26 的上下方向的位置，则通过设置在该提升部件32的上端的下部卡止部34与设置在上述下 部吹拂器8上的下部钩35之间的卡合，能够去除上述下部吹拂器8向下方的挠曲。另外，当松缓螺合在上述连结部件21的角度调整螺钉22使上述角度调整部件18 转动来调整下部吹拂器8的角度时，对应下部吹拂器8的转动，下部钩35的钩部35a相对 于下部卡止部34进行摆动，因此，能够变更下部吹拂器8的角度。上述上部吹拂器7、下部吹拂器8、上部支撑部件25以及下部支撑部件26构成通 过设置在这些一对吹拂器7、8的两端部的一对连结部件21而进行了一体化的上述吹拂器 单元6。像这样构成的吹拂器单元6被组入到腔1内。即，如图2所示那样，在上述腔1的 与上述基板W的输送方向交叉的方向的宽度方向两端部的外方，L字状的支撑部件37的水 平部分的前端部向上述腔1内突出地被设置。上述支撑部件37的垂直部的下端被固定在载置腔1的架台等的固定部38上。接 着，在左右一对支撑部件37的水平部分的前端部连结固定有设置在上述吹拂器单元6的连 结部件21的中间部的外面的安装部21a。再者，上述吹拂器单元6的上下一对吹拂器7、8被配置为，使这些喷出孔7a、8a向 着基板W的输送方向上游侧地相对于垂直方向以预定的角度例如以55度的角度倾斜，而且 相对于平行于与基板W的输送方向正交的宽度方向的水平方向以预定的角度倾斜。S卩，相 对于基板W的宽度方向倾斜着。进一步，上下一对吹拂器7、8以上述基板W通过这些喷出 孔7a、8a开口了的前端面之间的高度安装固定在上述一对支撑部件37上。根据这样构成的处理装置，当不使用较厚的板材来形成上部吹拂器7和下部吹拂 器8时，则不能获得充分的刚性，因此，上部吹拂器7要向图4的箭头D1所示的斜下方挠曲， 下部吹拂器8要向同图的箭头D2所示的斜下方挠曲。然而，在上部吹拂器7在长度方向的中途部的2处设置有上部钩31，这些上部钩 31与设置在悬挂部件27的下端的上部卡止部29可摆动地卡合。因此，通过上述上部钩31 与上述上部卡止部29之间的卡合来阻止上部吹拂器7向着箭头D1所示的斜下方挠曲。上述悬挂部件27被安装在上部支撑部件25上，由于上部吹拂器7的重量经由上 述悬挂部件27而施加到该上部支撑部件25上，因此上部吹拂器7有可能与上部支撑部件 25 一起挠曲。然而，上述悬挂部件27能够相对于上部支撑部件25调整上下方向的安装位置，因 此，上部支撑部件25向下方产生挠曲的情况下，若上部支撑部件25相对于悬挂部件27的 安装位置向上方移动相应的量，则能够去除上部吹拂器7的挠曲。上部吹拂器7向着箭头D1所示的斜下方产生挠曲。对此，悬挂部件27沿垂直方 向上下移动。然而，设置在上部吹拂器7上的上部钩31的钩部31a相对于设置在悬挂部件 27的下端的上部卡止部29可摆动地卡合。因此，即使相对于上部吹拂器7的挠曲方向D1悬挂部件27的上升方向不是位于 同一直线状的反方向，但通过对应上部吹拂器7的挠曲值来使上述悬挂部件27上升，也能 够可靠地去除该上部吹拂器7的挠曲。并且，改变角度调整部件18相对于连结部件21的安装角度、变更上部吹拂器7相
7对于基板W的板面的倾斜角度的情况下，设置在上部吹拂器7上的上部钩31的钩部31a相 对于设置在悬挂部件27下端的上部卡止部29进行摆动，因此能够可靠地进行该角度变更。
S卩，为了去除上部吹拂器7的挠曲，不像以往那样地使设置在上部吹拂器7的上部 钩31与上部支撑部件25连结固定即可。因此，调整悬挂部件27相对于上部支撑部件25 的安装位置，不仅能够去除上部吹拂器7的的挠曲，还可以进行上部吹拂器7的角度设定。与上部吹拂器7同样，在下部吹拂器8的长度方向中途部的2处设置有下部钩35， 这些下部钩35与设置在提升部件32上端的下部卡止部34可摆动地卡合。因此，即使下部吹拂器8向图4的箭头D2所示的斜下方挠曲，若对应于该挠曲量 沿垂直方向使提升部件32上升来进行定位，则能够去除下部吹拂器8向斜下方的挠曲。并 且，下部钩35可摆动地卡合于设置在提升部件32的上端的下部卡止部34，因此也可进行下 部空气喷嘴8的角度设定。在图5的曲线图中，折线A是测量了上部吹拂器7没有被悬挂部件27所支撑时的 挠曲量的曲线图，折线B是测量了由1个悬挂部件27支撑了上部吹拂器7的长度方向中途 部时的挠曲量的曲线图，折线C是测量了由2个悬挂部件27支撑了长度方向中途部时的挠 曲量的曲线图。再者，图5的曲线图的纵轴是表示挠曲量(mm)、横轴是表示将上部吹拂器7 的长度方向进行了 11等分的位置。从该曲线图A C明显可知，通过由悬挂部件27来支撑上部吹拂器7，从而大大地 减少了挠曲量。另外，上部吹拂器7的长度为3m，材质是由不锈钢钢板做成的。在图6的曲线图中，折线D是测量了下部吹拂器8没有被提升部件32所支撑时的 挠曲值的曲线图，折线E是测量了由1个提升部件32支撑了下部吹拂器8的长度方向中途 部时的挠曲值的曲线图，折线F是测量了由2个提升部件32支撑了长度方向中途部时的挠 曲值的曲线图。从该曲线图D F明显可知，通过由提升部件32来支撑下部吹拂器8，从而大大地 减少了挠曲量。另外，下部吹拂器8与上部吹拂器7同样，长度为3m，材质是不锈钢钢板。 图6的曲线图的纵轴是表示挠曲量(mm)、横轴是表示将下部吹拂器8的长度方向进行了 11 等分的位置。再者，下部吹拂器8与上部吹拂器7的挠曲方向如图4的D1和D2所示那样，相对 于基板W的输送方向与上部吹拂器7为反方向。因此，以负数来表示上部吹拂器7的向下 方的挠曲值，以正数来表示下部吹拂器8的向下方的挠曲量。图7A是没有矫正上部吹拂器7的挠曲，在长度方向上的38处测量了以3000NL/ min向该上部吹拂器7供给了压缩气体时的基板W的板面的气体流速的曲线图。上部吹拂 器7配置为，如图7C所示那样，相对于基板W的板面的倾斜角度0为55度，并且上部吹拂 器7的长度方向中心的下端与基板W的板面之间的间隔d为5mm。S卩，当处于上部吹拂器7的挠曲没有被矫正的状态时，在上部吹拂器7的长度方向 中心，从该前端至基板W的距离为5mm，但随着向两端延伸而该距离变大。S卩，上部吹拂器7 的前端与基板W的上面之间的距离不是一定。当上部吹拂器7的前端与基板W的上面之间的距离不是一定时，如图7A所示那 样，在上部吹拂器7的长度方向上，在基板W的上面的气体的流速根据上部吹拂器7的前端 与基板W之间的距离而产生差。即，随着距离变大而流速变低。由此，不能够均勻地进行基板W的宽度方向的干燥处理，因此会产生干燥不均。图7B是矫正了上部吹拂器7的挠曲，在长度方向的38处测量了以3000NL/min向 该上部吹拂器7供给了压缩气体时的基板W的板面的气体流速的曲线图。再者，上部吹拂 器7相对于基板W的板面的配置为，如图7C所示那样，以55度的角度倾斜，在长度方向中 央前端与基板W的上面之间的距离被设定为5mm。根据图7B所知那样，当上部吹拂器7的挠曲被矫正时，在该上部吹拂器7的长度 方向上，在基板W的上面的气体流速几乎不产生差。由此，能够均勻地进行基板W的宽度方 向的干燥处理，因此不会产生干燥不均。在图7A、图7B的曲线图中，纵轴是表示基板W的上面的风速，横轴是表示上部吹拂 器7的长度方向的测量位置。再者，在上述一实施方式中，由悬挂部件以及提升部件保持了上部以及下部吹拂 器的长度方向中途部的2处，但保持各吹拂器的处所并不限定于2处，也可以是1处或者3 处以上。
权利要求
一种基板的处理装置，对在腔内水平输送的基板的上面和下面喷射气体，而对该基板进行干燥处理，该基板的处理装置的特征在于，具有上部吹拂器，与在上述腔内输送的上述基板的上面相对地配置，以预定的倾斜角度对该基板的上面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有上部钩；下部吹拂器，与上述基板的下面相对地配置，以预定的倾斜角度对该基板的下面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有下部钩；上部支撑部件以及下部支撑部件，分别沿与各吹拂器相同的方向平行地设置在上述上部吹拂器的上方和上述下部吹拂器的下方；悬挂部件，可沿垂直方向定位地设置在上述上部支撑部件的长度方向中途部，具有上述上部钩可摆动地卡合在下端的上部卡止部；以及提升部件，可沿垂直方向定位地设置在上述下部支撑部件的长度方向中途部，具有上述下部钩可摆动地卡合在上端的下部卡止部。
2.根据权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于，上述上部卡止部和下部卡止部为圆柱状，上述上部钩和下部钩的一端被分别固定在上述上部吹拂器以及下部吹拂器上，另一端 形成为分别与上述上部卡止部和下部卡止部卡合的卡合部。
3.根据权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于，上述上部吹拂器和上述下部吹拂器的长度方向的一端与另一端，以可进行倾斜角度和 上下方向的定位的方式，分别安装在一对连结部件的上下方向的中途部，上述上部支撑部件和上述下部支撑部件的长度方向的一端部与另一端部分别连结固 定在上述一对连结部件的上端和下端。
4.根据权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于，在上述上部支撑部件和下部支撑部件的长度方向中途部设置有多个上述悬挂部件和 提升部件。
全文摘要
本发明提供一种基板的处理装置，具有上部吹拂器(7)，以预定的角度对该基板的上面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有上部钩(31)；下部吹拂器(8)，以预定的角度对该基板的下面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有下部钩(35)；上部支撑部件(25)以及下部支撑部件(26)，平行地设置在上述上部吹拂器的上方和上述下部吹拂器的下方；悬挂部件(27)，可沿垂直方向定位地设置在上述上部支撑部件的长度方向中途部，具有上述上部钩可摆动地卡合在下端的上部卡止部的(29)；以及提升部件(32)，可沿垂直方向定位地设置在上述下部支撑部件的长度方向中途部，具有上述下部钩可摆动地卡合在上端的下部卡止部(34)。
文档编号F26B13/20GK101871721SQ20101017014
公开日2010年10月27日 申请日期2010年4月21日 优先权日2009年4月21日
发明者宫迫久显, 末吉秀树 申请人:芝浦机械电子株式会社