专利名称：用于侧面开盖的激光系统装调的气帘装置及环境隔离装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及激光技术领域，具体地说，本发明涉及一种用于侧面开盖的激光系统装调的环境隔离装置。
背景技术：
激光系统调试过程中需要洁净的环境，因此调试过程中往往需要将激光器和外部环境隔离。现有技术中，一般是给要维修或者调试的激光系统搭建一个封闭的临时房子，所要维修或者调试的激光系统的挂装箱体位于这个临时房子内，将外部的空气经过净化后，利用压力将洁净空气吹到该临时房子中，同时将临时房子内部不洁净的空气排出，通过此方式的循环，保证所述临时房子内部的空气洁净。这种方案在一定程度上实现了激光系统调试过程所需的洁净环境，然而，它还存在以下缺限(1)空间占据较大，运输、装配都比较困难；(2)外部空气由上方经过高效过滤网过滤成洁净空气过程中，高效过滤网要定期更 换(更换周期视外部空气的洁净度而定)，因此成本较高；(3)因为操作人员要置身于临时房子内部，人本身可能带入灰尘，因此无法实现完全隔离；(4)配电要求较高；(5)噪音较大。因此，当前迫切需要一种占用空间小、配电要求低、成本低且对灰尘的屏蔽效果好的用于激光系统装调的环境隔离装置。
发明内容
本发明的目的是提供一种占用空间小、配电要求低、成本低且对灰尘的屏蔽效果好的用于侧面开盖的激光系统装调的环境隔离装置。为实现上述发明目的，本发明提供了一种用于侧面开盖的激光系统装调的气帘装置，包括刚性管和供气装置，所述刚性管的两端具有气体入口和气体出口，所述供气装置与所述刚性管的气体入口连接，所述刚性管的下侧壁具有多个均匀排列的小孔。其中，所述刚性管从所述激光系统的箱体内部穿过，所述刚性管靠近所述激光系统的箱体的顶部和前侧箱壁。其中，所述刚性管为金属管。其中，所述小孔的中心之间的间隔不大于I. 5cm。其中，每个所述小孔的面积为O. 19^1. 76cm2。其中，所述气体入口处的气压可控。本发明还提供了相应的用于侧面开盖的激光系统装调的环境隔离装置，包括气帘装置，所述气帘装置安装在激光系统的箱体内部，用于在靠近前侧箱壁一侧生成平行于所述前侧箱壁的气帘。其中，所述环境隔离装置还包括空气粒子计数器，所述空气粒子计数器用于在所述气体入口处施加不同气压时实时测量箱体内部的洁净度。本发明还提供了一种基于上述环境隔离装置的环境隔离方法，包括下列步骤I)利用一个与待调试激光系统箱体完全一致的参考箱体测出使洁净度满足要求的气体入口处的气压取值区间；2)在对激光系统进行实际调试时，在激光系统未打开前侧箱壁之前，在刚性管的气体入口处通入小压力气体并保持一定时间以使所述气体充满所述箱体内部，缓慢将前侧箱壁螺钉松开，而后将气体压力增大至利用参考箱体所测得的气压取值区间内以形成气帘，再迅速打开激光系统的前侧箱壁。其中，所述步骤I)包括将气帘装置安装到参考箱体中，将空气粒子计数器安放在参考箱体内部，调节气帘装置的气压，从而改变气帘的气体流速，同时用空气粒子计数器实时测量参考箱体内部的洁净度，测出使洁净度满足要求的气压取值区间。与现有技术相比，本发明具有下列技术效果I、空间占据小，便于运输、装配。
2、对于配电要求较低。3、隔离效果好。4、成本低。5、噪声低。
图I示出了本发明一个实施例的气帘装置的刚性管结构示意图；图2示出了本发明一个实施例的环境隔离装置安装于侧挂激光系统装调的示意图。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步地描述。根据本发明的一个实施例，提供了一种用于侧挂激光系统装调的气帘装置(或称为气帘生成装置)，所述气帘装置包括刚性管和供气装置。图I示出该气帘装置的刚性管结构示意图。如图I所示，刚性管I的两端具有气体入口 2和气体出口 3，所述供气装置(图I中未示出)与所述刚性管I的气体入口 2连接。所述刚性管I的下侧的侧壁上具有多个均匀排列的小孔4。供气装置对气体入口 2充入一定压力的气体时，气流从均匀排列的小孔4中喷出，从而形成气帘，该气帘可以起到阻隔灰尘的作用。根据本发明的另一个实施例，提供了一种环境隔离装置，包括气帘装置，所述气帘装置安装在激光系统的箱体内部，用于在靠近前侧箱壁(即待打开的箱盖，)一侧生成平行于所述前侧箱壁的气帘。图2示出了气帘装置安装于激光器箱体内部的一个示例，所述刚性管I从所述激光系统的箱体内部穿过，刚性管I靠近激光系统的箱体的顶部和前侧箱壁，且刚性管I的两端具有气体入口 2和气体出口 3，所述供气装置(图I中未示出)与所述刚性管I的气体入口 2连接。所述刚性管I的一侧的侧壁上具有多个均匀排列的小孔4。将刚性管I安装到激光系统的箱体内部时，需要使刚性管I侧壁的小孔4均向下开口。这样在工作时可以形成一个从上往下吹的风帘，能够更好地起到阻隔灰尘的作用。如果从下往上吹，可能会导致来自操作人员身上或其它位置的灰尘被不断吹起，阻隔效果不佳。在一个实施例中，所述刚性管为金属管，例如铝管。在一个实施例中，所述小孔的中心之间的间隔为1.5cm。一般来说，小孔的中心之间的间隔不大于I. 5cm即可，这样可以保证气体吹下时具有足够的交叠率，以形成具有足够密度的“风帘”结构，从而将绝大多数的灰尘屏蔽在激光系统的箱体之外。在工艺水平允许时，可以将小孔中心之间的间隔做得更小(例如小于O. 5cm)，这样能够使气体吹下的交叠率更高，更容易形成高密度“风帘”结构，从而最大限度的将灰尘隔绝于箱体之外。在一个实施例中，每个所述小孔的面积均为1cm2。一般来说，小孔的优选面积在
O.19^1. 76cm2，这是因为小孔面积过小时，在气压较大时容易将风帘孔吹变形，而小孔面积过大时，会导致吹到箱底的气压变小，难以起到阻隔灰尘的作用。在一个实施例中，所述气体入口处的气压可控。所述环境隔离装置还包括空气粒子计数器，所述空气粒子计数器安放在所述激光系统的箱体内部，用于在所述气体入口处的施加不同气压时实时测量箱体内部的洁净度。当洁净度达到要求时，保持此时气体入口处的气压。在一个优选实施例中，还提供了一种基于上述气压可控的环境隔离装置的环境隔 离方法，其中，气体入口处的气压取值区间可以利用空箱体预先测得。具体做法如下取一个与待调试激光系统箱体完全一致的空箱体(为方便描述，将其称为参考箱体)，将气帘装置安装到参考箱体中，将空气粒子计数器安放在参考箱体内部。调节气帘装置的气压(例如气体入口处的气压)，从而改变气帘的气体流速，同时用空气粒子计数器实时测量参考箱体内部的洁净度，测出使洁净度满足要求的气压取值区间。然后，在对激光系统进行实际调试时，在激光系统未打开前侧箱壁之前，在刚性管的气体入口处通入小压力(例如20Pa)气体并保持一定时间(例如30分钟)，以保证气体充满箱体内部(例如使箱体内部达到O. 2个大气压)，然后缓慢将前侧箱壁螺钉松开，而后将气体压力增大至利用参考箱体所测得的气压取值区间内(例如5MPa)以形成气帘，再迅速打开激光系统的前侧箱壁(在气体压力增大后，由于压力较大，需快速将箱盖移走，以避免箱壁变形)。此时工作人员便可(直接在外界环境下)对激光系统进行维修、调试等工作。另外，本发明不仅适用于侧挂激光系统，也适用于其它的侧面开盖的激光系统，这是本领域技术人员易于理解的。最后，上述的实施例仅用来说明本发明，它不应该理解为是对本发明的保护范围进行任何限制。而且，本领域的技术人员可以明白，在不脱离上述实施例精神和原理下，对上述实施例所进行的各种等效变化、变型以及在文中没有描述的各种改进均在本专利的保护范围之内。
权利要求
1.一种用于侧面开盖的激光系统装调的气帘装置，包括刚性管和供气装置，所述刚性管的两端具有气体入口和气体出口，所述供气装置与所述刚性管的气体入口连接，所述刚性管的下侧壁具有多个均匀排列的小孔。
2.根据权利要求I所述的气帘装置，其特征在于，所述刚性管为金属管。
3.根据权利要求I所述的气帘装置，其特征在于，所述小孔的中心之间的间隔不大于I.5cm0
4.根据权利要求I所述的气帘装置，其特征在于，每个所述小孔的面积为O.19 I. 76cm2。
5.根据权利要求I所述的气帘装置，其特征在于，所述气体入口处的气压可控。
6.一种用于侧面开盖的激光系统装调的环境隔离装置，包括权利要求I至6中任一项所述的气帘装置，所述气帘装置安装在激光系统的箱体内部，用于在靠近前侧箱壁一侧生成平行于所述前侧箱壁的气帘。
7.根据权利要求6所述的气帘装置，其特征在于，所述刚性管从所述激光系统的箱体内部穿过，所述刚性管靠近所述激光系统的箱体的顶部和前侧箱壁。
8.根据权利要求7所述的环境隔离装置，其特征在于，所述环境隔离装置还包括空气粒子计数器，所述空气粒子计数器用于在所述气体入口处施加不同气压时实时测量箱体内部的洁净度。
9.一种基于权利要求7所述的环境隔离装置的环境隔离方法，其特征在于，包括下列步骤 1)利用一个与待调试激光系统箱体完全一致的参考箱体测出使洁净度满足要求的气体入口处的气压取值区间； 2)在对激光系统进行实际调试时,在激光系统未打开前侧箱壁之前,在刚性管的气体入口处通入小压力气体并保持一定时间以使所述气体充满所述箱体内部，缓慢将前侧箱壁螺钉松开，而后将气体压力增大至利用参考箱体所测得的气压取值区间内以形成气帘，再迅速打开激光系统的前侧箱壁。
10.根据权利要求9所述的环境隔离方法，其特征在于，所述步骤I)包括将气帘装置安装到参考箱体中，将空气粒子计数器安放在参考箱体内部，调节气帘装置的气压，从而改变气帘的气体流速，同时用空气粒子计数器实时测量参考箱体内部的洁净度，测出使洁净度满足要求的气压取值区间。
全文摘要
本发明提供一种用于侧面开盖的激光系统装调的气帘及环境隔离装置，其中环境隔离装置包括气帘装置，所述气帘装置包括刚性管和供气装置，所述刚性管的两端具有气体入口和气体出口，所述供气装置与所述刚性管的气体入口连接，所述刚性管的下侧壁具有多个均匀排列的小孔。所述气帘装置安装在激光系统的箱体内部，用于在靠近前侧箱壁一侧生成平行于所述前侧箱壁的气帘。本发明还提供了相应的环境隔离方法。与现有技术相比，本发明空间占据小，便于运输、装配；对于配电要求较低；隔离效果好；成本低；噪声低。
文档编号F24F9/00GK102914022SQ20121037046
公开日2013年2月6日 申请日期2012年9月27日 优先权日2012年9月27日
发明者樊仲维, 张晶, 林蔚然 申请人:北京国科世纪激光技术有限公司