专利名称：一种用于硅粉废料处理的干燥设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种干燥设备，具体涉及一种用于解决废砂浆回收过程中硅粉废料处理的干燥设备。
背景技术：
采用线切割技术加工晶硅硅片时，会产生大量的硅粉颗粒，该硅粉颗粒粒径在3 μ m以下，具有很高的表面能，能与水和空气反应，高表面活性的硅粉长时间和空气接触容易自燃，从而引发火灾。有报道称国内某厂家因为硅粉自燃造成了 3000万以上的损失。现有的砂浆回收工艺中，废砂浆经水稀释后，粘度降低，然后通过离心作用实现硅粉、碳化硅磨料和切割液的分离。其中大部分硅粉被当作废弃物丢掉，剩余部分硅粉通过和氢氧化钠溶液反应除去。该工艺生产过程中产生大量的硅粉，在存储、运输过程中存在火灾隐患。另夕卜，硅粉表面吸附有少量切割液，若随意丢弃，一方面造成资源浪费，另一方面造成环境污·染，硅粉本身的价值也没有得以利用。
发明内容针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种用于解决废砂浆回收过程中硅粉废料处理的干燥设备，该干燥设备能够使硅粉废料安全缓慢的释放表面能，除去硅粉中的水分，避免硅粉废料自燃，并回收硅粉废料吸附的切割液。为解决上述问题，本实用新型的技术方案是一种用于硅粉废料处理的干燥设备，其特征在于它包括依次相连的真空干燥机、冷凝器、储液罐和真空机组，所述真空干燥机顶部和底部分别设有进料口和卸料口，所述真空干燥机的进料口和卸料口装有机械密封。所述真空干燥机采用夹套加热方式，以蒸汽或者导热油作为加热介质。所述真空干燥机内部设有温度探头，在线监测系统温度。所述真空干燥机内部还设有搅拌装置，所述搅拌装置的传动轴采用机械密封方式。所述真空机组包括两级真空泵，可使装置内真空度达到lkPa。由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是经本实用新型处理后的硅粉废料可以作为产品销售，没有自聚发热现象，不会发生自燃，可以安全环保的进行储存和运输。处理过程中可以回收硅粉废料吸附的少量切割液，每吨可回收30-50kg切割液，可以产生可观的经济效益。本实用新型所述真空干燥机两端设有机械密封，可以保证干燥机内真空，避免了硅粉废料中的超细硅粉颗粒在设备内与空气接触，生产过程安全环保。
图I是本实用新型的结构示意图。[0013]图中，I.真空干燥机；2.冷凝器；3.储液罐；4.切割液排出管路；5.真空机组；
6.真空干燥机卸料口 ；7.真空干燥机进料口 ；8.真空干燥机蒸汽出口 ；9.加热介质入口 ；10.加热介质出口。
具体实施方式
以下结合附图并通过具体实施例来详细说明本实用新型。如图I所示，本实用新型包括真空干燥机1，所述真空干燥机I的顶部设有干燥机进料口 7，底部设有干燥机卸料口 6 ;所述真空干燥机采用夹套加热方式，以蒸汽或者导热油作为加热介质，包括其底部的加热介质入口 9和顶部的加热介质出口 10。所述真空干燥机I内部设有温度探头，可以连接在线监测系统。所述真空干燥机I顶部蒸汽出口 8与冷凝器2连接，所述的冷凝器2中物料冷凝后进入储液罐3，所述储液罐3内冷凝后液体通过切割液排出管路4排出，所述储液罐3上部连接真空机组5，所述真空机组5工作过程中控制系统压力为IkPa以下。 本实用新型的工作过程为吸附少量切割液的硅粉废料经真空干燥机进料口 7装进真空干燥机I后，开启真空机组5，当体系内压力到达IkPa以后开始加热干燥硅粉废料，真空干燥器I中产生的蒸汽经过蒸汽出口 8进入冷凝器2冷凝后再进入储液罐3，最后经过切割液排出管路4回收，浓度为10%-20%，作为原料回用，储液罐3上部连接的真空机组5为系统提供高真空环境。硅粉废料在加热干燥过程中细颗粒不断团聚，平稳释放表面能。干燥后的硅粉废料经真空干燥机卸料口 6卸出，温度50°C以下，颗粒中位径O. 1_，不再有自燃风险。
权利要求1.一种用于硅粉废料处理的干燥设备，其特征在于它包括依次相连的真空干燥机、冷凝器、储液罐和真空机组，所述真空干燥机顶部和底部分别设有进料口和卸料口，所述真空干燥机的进料口和卸料口装有机械密封。
2.如权利要求I所述的用于硅粉废料处理的干燥设备，其特征在于所述真空干燥机采用夹套加热方式，以蒸汽或者导热油作为加热介质。
3.如权利要求I所述的用于硅粉废料处理的干燥设备，其特征在于所述真空干燥机内部设有在线监测系统温度的温度探头。
4.如权利要求I所述的用于硅粉废料处理的干燥设备，其特征在于所述真空干燥机内部还设有搅拌装置，所述搅拌装置的传动轴采用机械密封方式。
5.如权利要求I所述的用于硅粉废料处理的干燥设备，其特征在于所述真空机组包括两级真空泵，可使装置内真空度达到lkPa。
专利摘要本实用新型公开了一种用于硅粉废料处理的干燥设备，其特征在于它包括依次相连的真空干燥机、冷凝器、储液罐和真空机组，所述真空干燥机顶部和底部分别设有进料口和卸料口，所述真空干燥机的进料口和卸料口装有机械密封。所述真空干燥机采用夹套加热方式，以蒸汽或者导热油作为加热介质。所述真空干燥机内部还设有温度探头和搅拌装置。所述真空机组包括两级真空泵，可使装置内真空度达到1kPa。本实用新型安全可靠，处理后的硅粉废料可以作为产品销售，储存和运输方便，没有自燃的危险。处理过程中可以回收硅粉废料吸附的少量切割液，经济效益可观。
文档编号F26B7/00GK202692608SQ20122036124
公开日2013年1月23日 申请日期2012年7月25日 优先权日2012年7月25日
发明者胡城, 张伟涛, 翟志强, 胡仰栋 申请人:青岛海林电子材料科技有限公司