专利名称：一种多晶硅料干燥系统的制作方法
技术领域：
—种多晶硅料干燥系统技术领域[0001]本实用新型涉及一种烘干系统，尤其涉及应用于硅料类材料清洗后需要避免二次污染的干燥系统。
背景技术：
[0002]现有的硅料烘干技术对有高洁静度要求的硅料类材料进行清洗后，要求表面不能附着有水，以免对后续工序造成不良影响。而现有的烘干系统大多采用电加热器预加热空气，再用普通鼓风机吹送的方法，烘干设定温度一般为80C°左右。然而，在实际使用时，存在因局部过热而损坏空气过滤器的问题，甚至有进而发生火灾的风险。[0003]如何提供一种使用安全的硅料干燥系统是业界亟待解决的技术问题。发明内容[0004]本实用新型为了解决现有硅料烘干系统的安全性欠佳的技术问题，提出一种安全、高效和低成本的多晶硅料干燥系统。[0005]本实用新型提出的多晶硅料干燥系统，包括鼓风机、通过第一管道与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置、该鼓风机的出风口通过第二管道与二级过滤装置的进风口连接、该二级过滤装置的出风口通过第三管道与烘干处理槽的进风口连接。[0006]优选的，烘干处理槽包括设于槽体上方的自动盖、槽体外壁包裹的保温棉，设于槽体内腔壁上多个方位的吹气管，该吹气管与所述的第三管道连通，烘干处理槽的出风口处连接有抽风管。[0007]优选的，抽风管由内衬钢丝网的PVC材料制作，该抽风管道上还设有调风阀。[0008]优选的，烘干处理槽内的清洗篮，该清洗篮的四周设有多个透风口、且底部设有隔杆。[0009]优选的，鼓风机连接有电机保护器、过滤保护器和相序保护器。[0010]优选的，鼓风机为高压涡流鼓风机。[0011]本实用新型使用时，不仅利用高压涡流鼓风机来产生流动的热空气，还利用了高压涡流鼓风机工作时产生的余热来加热空气，进一步提高了效率，节省了成本，然后再利用烘干处理槽上的各个方向的吹气孔，让硅片各个方向都能够接触热空气，清洗篮上多个透气孔更加促进了热空气的流通，从而达到快速、安全地烘干硅片的目的。
[0012]图I为本实用新型较佳实施例的结构示意图；[0013]图2为本实用新型较佳实施例的烘干处理槽的横截面示意图；[0014]图3为本实用新型较佳实施例的烘干处理槽的纵截面示意图。
具体实施方式
[0015]如图1所示，本实用新型较佳实施例提供的一种多晶硅料干燥系统，包括鼓风机 1、通过第一管道2与该鼓风机的进风口连接的一级(初效)过滤装置3、该鼓风机的出风口通过第二管道4与二级(高效)过滤装置5的进风口连接、该二级(高效)过滤装置5的出风口通过第三管道6与烘干处理槽7的进风口连接。[0016]如图2所示，烘干处理槽7包括设于槽体上方的自动盖8、槽体外壁包裹的保温棉9，设于槽体内腔壁上多个方位的吹气管10，该吹气管与图I中所示的第三管道6连通。 烘干处理槽7内的清洗篮13的四周设有多个透风口 14、且底部设有隔杆15。[0017]如图3所示，烘干处理槽7的出风口处连接有抽风管11。抽风管11由内衬钢丝网的PVC材料制作，该抽风管道上还设有调风阀12。[0018]鼓风机的数量可以根据需要来设置，本实施例，鼓风机1为一套高压涡流风机，并且连接有电机保护器、过滤保护器和相序保护器。[0019]本实用新型使用时，外界大气通过一级(初效)过滤装置3进行初步过滤后，进入高压涡流鼓风机1内，高压涡流鼓风机1工作时，气体从进气口被吸入，当进入侧通道(图中未标出)后旋转叶轮在旋转方向上给气体一个速度，同时叶片上的离心力使气体向外加速增加了压力，而随着旋转的进行，气体动能增加，使得沿侧通道的气体压力进一步增加。由于侧通道的出气口变窄，气体被挤出出口时增温，变成一股快速的热空气，再利用高压涡流鼓风机1工作时产生的余热，送入进风口产生二次进风，使得流动的空气温度达到约60°C，这种方法不仅安全，而且最大限度地利用了涡流鼓风机产生的热能，提高了转化效率。[0020]热空气再经过二级(高效)过滤装置5进一步过滤，去除金属粉尘以及其他杂质后，进入烘干处理槽7内，烘干处理槽7内各个方向上都设有吹气孔10，热空气流经吹气孔 10，从多个方向与硅片进行接触，为了进一步方便硅料烘干，清洗篮13四周留有许多透风口 14，并在底部设有隔杆15，以便保证清洗篮13内空气流畅，提高硅料干燥效率，从而降低成本。此外连接于烘干处理槽7出风口处的抽风管11由内衬钢丝网的PVC材料制作，可以有效地耐温及耐压，该抽风管道上还设有调风阀12，从而使空气不淤积在烘干处理槽7内， 避免影响风机的正常运作。[0021]以上具体实施例仅用以举例说明本实用新型的结构，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。权利要求1.一种多晶娃料干燥系统,其特征在于,包括鼓风机(I)、通过第一管道(2)与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置(3)、该鼓风机的出风口通过第二管道(4)与二级过滤装置(5 )的进风口连接、该二级过滤装置(5 )的出风口通过第三管道(6 )与烘干处理槽(7 )的进风口连接。
2.如权利要求I所述的多晶硅料干燥系统，其特征在于，所述的烘干处理槽(7)包括设于槽体上方的自动盖(8)、槽体外壁包裹的保温棉(9)，设于槽体内腔壁上多个方位的吹气管(10)，该吹气管与所述的第三管道(6)连通；所述烘干处理槽(7)的出风口处连接有抽风管(11)。
3.如权利要求2所述的多晶硅料干燥系统，其特征在于，所述的抽风管(11)由内衬钢丝网的PVC材料制作，该抽风管道上还设有调风阀(12 )。
4.如权利要求I所述的多晶硅料干燥系统，其特征在于，还包括设于所述烘干处理槽(7)内的清洗篮(13)，该清洗篮的四周设有多个透风口(14)、且底部设有隔杆(15)。
5.如权利要求4所述的多晶硅料干燥系统，其特征在于，所述的鼓风机(I)连接有电机保护器、过滤保护器和相序保护器。
6.如权利要求I所述的多晶硅料干燥系统，其特征在于，所述的鼓风机(I)为高压涡流鼓风机。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅料干燥系统，包括鼓风机、通过第一管道与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置、该鼓风机的出风口通过第二管道与二级过滤装置的进风口连接、该二级过滤装置的出风口通过第三管道与烘干处理槽的进风口连接。本实用新型利用鼓风机及其散热来加热空气，再从各个方向与硅片进行充分接触，从而达到安全、高效、低成本地烘干硅片的目的。
文档编号F26B25/18GK202813984SQ20122043676
公开日2013年3月20日 申请日期2012年8月30日 优先权日2012年8月30日
发明者左国军 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司