技术特征：
技术总结
本发明公开了一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具，属于热处理设备技术领域，主要包括：真空腔体、加热系统、出气管路、进气管路以及泄气管路。加热系统由氧化铝支撑板、电流加热夹具和加热电极构成。本发明可以对固定在夹具上的半导体样品直接通电加热，或把耐热金属片，如钨、钼等固定在夹具上，样品置于金属片上，通电后金属片用焦耳热加热样品。本发明适用于小尺寸样品，可用于不同尺寸的样品进行高真空快速退火、惰性气体氛围退火等。本发明采用电流加热，具有升温速度快、能耗低、占用体积小等特点。
技术研发人员：郝秀春;李宇翔
受保护的技术使用者：江苏大学
技术研发日：2019.05.28
技术公布日：2019.09.27