一种气体分布器的制造方法

文档序号:10192144阅读:377来源:国知局
一种气体分布器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及多晶硅生产设备领域,特别是涉及一种气体分布器。
【背景技术】
[0002]在现有的多晶硅生产工艺中,反应气体在进入反应器进行还原反应之前,需要利用石墨换热器对反应气体进行换热,待温度升高之后再输送至反应器内进行反应。
[0003]由于石墨具有耐高温、耐腐蚀的优点,可以被化工行业所广泛应用,因此,在多晶硅生产工艺中通常使用石墨换热器。作为反应炉内置换热器,管程气体通常需要输送至反应器中,而壳程气体则通常为尾气,需要进入回收工序,普通的管口式石墨换热器进出口设计不合理,进入反应器中的管程气体出口与进入回收工序的壳程气体的出口相互干扰。
[0004]因此,亟需一种气体分布器以解决上述技术问题。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型针对现有技术中存在的上述不足,提供一种气体分布器,用以解决管程气体出口与壳程气体出口分布不合理的问题。
[0006]本实用新型为解决上述技术问题,采用如下技术方案:
[0007]本实用新型提供一种气体分布器,包括分布器本体,分布器本体上设置有多个I型的第一通孔和多个L型的第二通孔,第一通孔贯穿气体分布器的上、下表面,第二通孔的第一端贯穿分布器本体的上表面,且第二通孔的第二端贯穿分布器本体的侧表面。
[0008]优选的,所述第二通孔的第二端位于所述分布器本体侧表面的中部。
[0009]优选的,所述分布器本体由石墨制成。
[0010]优选的,所述分布器本体呈圆柱状。
[0011]优选的,各第一通孔之间等间距排布,相邻的第一通孔的孔间距大于第一通孔与第二通孔的直径之和;
[0012]各第二通孔之间等间距排布,相邻的第二通孔的孔间距大于第一通孔与第二通孔的直径之和。
[0013]优选的,各列第一通孔与各列第二通孔间隔设置,各行第一通孔与各行第二通孔间隔设置。
[0014]本实用新型具有如下有益效果:
[0015]本实用新型通过在分布器本体上设置I型的第一通孔和L型的第二通孔,第一通孔贯穿分布器本体的上、下表面,用于输送壳程气体,第二通孔分别贯穿分布器本体的上表面和侧表面,用于输送管程气体,这样壳程气体与管程气体的输出方向各不相同,壳程气体从石墨换热器的底部输出,管程气体从石墨换热器的侧面输出,管程气体与壳程气体的出口分明,互不影响。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型实施例提供的气体分布器的立体图;
[0017]图2为本实用新型实施例提供的气体分布器A-A向剖视图;
[0018]图3为本实用新型实施例提供的气体分布器B-B向剖视图;
[0019]图4为本实用新型实施例提供的气体分布器的侧视图;
[0020]图5为本实用新型实施例提供的气体分布器的俯视图;
[0021 ]图6为包括本实用新型的气体分布器的安装示意图。
[0022]图例说明:
[0023]1、分布器本体 2、筒体3、列管
[0024]11、第一通孔 12、第二通孔 21、封头
[0025]22、管板121、第二通孔的第一端
[0026]122、第二通孔的第二端
【具体实施方式】
[0027]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案,下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0028]本实用新型提供一种气体分布器,通过在分布器本体上设置用于输送壳程气体的I型的第一通孔和用于输送管程气体的L型的第二通孔,第一通孔贯穿分布器本体的上、下表面,第二通孔分别贯穿分布器本体的上表面和侧表面,用以解决管程气体出口与壳程气体出口分布不合理的问题。
[0029]以下结合图1-5详细说明本实用新型的气体分布器的结构。如图1-5所示,一种体分布器,包括分布器本体1,分布器本体1上设置有多个I型的第一通孔11和多个L型的第二通孔12,第一通孔11贯穿分布器本体1的上、下表面,第二通孔的第一端121贯穿分布器本体1的上表面,且第二通孔的第二端122贯穿分布器本体的侧表面。第二通孔12和列管相连通,用于输送管程气体,第一通孔11与筒体(即换热器壳程)相连通,用于输送壳程气体。优选的,分布器本体1的厚度为100_。
[0030]本实用新型通过在分布器本体上设置I型的第一通孔和L型的第二通孔,第一通孔贯穿分布器本体的上、下表面,用于输送壳程气体,第二通孔分别贯穿分布器本体的上表面和侧表面,用于输送管程气体,这样壳程气体与管程气体的输出方向各不相同,壳程气体从石墨换热器的底部输出,管程气体从石墨换热器的侧面输出,管程气体与壳程气体的出口分明,互不影响。
[0031]优选的,第二通孔的第二端122位于分布器本体1侧表面的中部,从而增强气体分布器1的强度。
[0032]优选的,分布器本体1由石墨制成,呈圆柱状。
[0033]如图5所示,各第一通孔11之间等间距排布,相邻的第一通孔11的孔间距大于第一通孔11与第二通孔12的直径之和。各第二通孔12之间等间距排布,相邻的第二通孔12的孔间距大于第一通孔11与第二通孔12的直径之和。
[0034]等间距分布第二通孔12,可以将管程气体均匀输送至反应器内,提高反应速率和转化率。
[0035]优选的,各列第一通孔11与各列第二通孔12间隔设置,各行第一通孔11与各行第二通孔12间隔设置。也就是说,第一通孔11与第二通孔12交错排布,第一通孔与第二通孔互相不贯通。
[0036]本实用新型的气体分布器在使用时,放置在石墨换热器内,并通过列管3与石墨换热器的管板22相连。如图6所示,分布器本体1容置于石墨换热器的筒体2的底部,在筒体2的封头21处设置有管板22,列管3的一端与管板22相连,列管3的另一端与第二通孔的第一端121相连。管程气体可以经列管3进入第二通孔12,从第二通孔的第二端122经由管程出口输出,或者直接进入反应器内。壳程气体进入筒体腔体后,通过第一通孔11从壳程出口输出。
[0037]当管程出口不连接气体收集装置,而直接进入反应区域内时,包括本实用新型的气体分布器的石墨换热器可以作为高温反应炉内置换热器。当管程出口连接气体收集装置时,包括本实用新型的气体分布器的石墨换热器可以作为外置换热器独立使用。
[0038]可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式,然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种气体分布器,其特征在于,包括分布器本体,分布器本体上设置有多个I型的第一通孔和多个L型的第二通孔,第一通孔贯穿气体分布器的上、下表面,第二通孔的第一端贯穿分布器本体的上表面,且第二通孔的第二端贯穿分布器本体的侧表面。2.如权利要求1所述的气体分布器,其特征在于,所述第二通孔的第二端位于所述分布器本体侧表面的中部。3.如权利要求1所述的气体分布器,其特征在于,所述分布器本体由石墨制成。4.如权利要求1所述的气体分布器,其特征在于,所述分布器本体呈圆柱状。5.如权利要求1-4任一项所述的气体分布器,其特征在于,各第一通孔之间等间距排布,相邻的第一通孔的孔间距大于第一通孔与第二通孔的直径之和; 各第二通孔之间等间距排布,相邻的第二通孔的孔间距大于第一通孔与第二通孔的直径之和。6.如权利要求5所述的气体分布器,其特征在于,各列第一通孔与各列第二通孔间隔设置,各行第一通孔与各行第二通孔间隔设置。
【专利摘要】本实用新型提供一种气体分布器,通过在分布器本体上设置I型的第一通孔和L型的第二通孔,第一通孔贯穿气体分布器的上、下表面,用于输送壳程气体,第二通孔分别贯穿气体分布器的上表面和侧表面,用于输送管程气体,这样壳程气体与管程气体的输出方向各不相同,壳程气体从石墨换热器的底部输出,管程气体从石墨换热器的侧面输出,管程气体与壳程气体的出口分明,互不影响。
【IPC分类】F28F9/22, F28F21/02
【公开号】CN205102663
【申请号】CN201520906952
【发明人】黄彬, 王惠, 张伟, 张吉武, 侯雨, 相文强
【申请人】新特能源股份有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年11月13日
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