短波长紫外线放电灯和紫外线照射处理装置的制作方法

专利名称：：短波长紫外线放电灯和紫外线照射处理装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及至少在220nm以下的波长范围发光的短波长紫外线放电灯和搭载有该放电灯并利用从放电灯所放射的紫外线的紫外线照射处理装置。
背景技术：
：短波长范围的紫外线用于有害物、有机物的分解和杀菌等。特别地，220nm以下波长范围的紫外线具有分解H-OH的能量，因而在用于分解水中所包含的有机物的紫外线照射处理装置中加以应用。图7示出了以往的紫外线照射处理装置的例子。图7是示意性地表示以往的紫外线照射处理装置的结构的剖视图。在图7中，符号l表示不锈钢制筒体(cylinder),其两端由法兰盘7a、7b封闭。被处理水5从入水口的法兰盘7c侧向出水口的法兰盘7d侧流动，但为了防止被处理水5的短路(shortpass)，在筒体l内在其轴线上隔开预定间隔地配置有开孔的多个圆盘状回流板6a、6b、6c、6d、6e。符号4是短波长紫外线放电灯(以下称为放电灯)，放射包含220nm以下波长的紫外线在内的光。作为该放电灯，一般使用低压水银蒸气放电灯，该低压水银蒸气放电灯是由从220nm以下波长范围到长波长范围具有透过性的石英玻璃管构成的。符号2是贯穿回流板6a、6b、6c、6d、6e的孔而配置的透光管。透光管2的两端外周由法兰盘7a、7b水密地保持。上述放电灯4被安装在透光管2内，放电灯4所配置的空间与被处理水5隔离。另外，透光管2与放电灯4同样是由从220nm以下波长范围到长波长范围具有透过性的石英玻璃构成的(透光管2和放电灯4通常平行配置多根，但在图7中只示出了1根)。从放电灯4照射的紫外线透过透光管2而照射被处理水5。水分子H20的H-OH的键能为499kJ/mo1，因此，220nm以下波长的紫外线能分解水分子H20而生成OH自由基。所生成的OH自由基例如正如下式所示的那样，将水中有机物分解成CO、C02、H20。H20+hv(185nm)—H+OH自由基CnHU3k+OH自由基一CO、C02、H20(n、m、k为正整数)接着，就图7中的放电灯4进行详细的说明。放电灯4包括由石英玻璃构成的管体31和配置在管体31的两端的一对电极32a、32b。在管体31内封入有水银作为发光金属。而且一侧的电极32b由导线3沿着放电灯4的外壁被引导到另一端侧，与连接于另一侧电极32a的导线3—起收纳在灯头37中，由预定的导体构成的端子能够介由灯座38与电源进行电连接。导线3沿着放电灯4的外壁延伸，其绝缘材料必须是能耐来自放电灯4的发热的耐热材料。因此，作为导线3的绝缘材料，可以使用耐热性优良的、例如ETFE(乙烯-四氟乙烯共聚物)、FEP(四氟乙烯-六氟丙烯共聚物)、PFA(全氟垸基乙烯基醚共聚物)、PTFE(聚四氟乙烯树脂)等氟树脂。而且在一边往筒体l中通入预定的被处理水，一边将预定的电源供给到放电灯4上而将其点亮时，则放射出包含185nm的紫外线在内的水银特有的紫外线和可见光，从而发生上述有机物的分解反应，以致被处理水中的有机物变成CO、C02、H20等而得以除去。不过，放电灯4随着紫外线输出功率的降低，需要大概在半年1年间进行定期更换，但在以往的导线3使用氟树脂作为绝缘包覆体的放电灯4中，更换时存在刺激气味和对皮肤的刺激疼痛。这是利用220nm以下波长范围的装置特有的问题，是利用240280nm的波长范围的紫外线照射处理装置遇不到的现象。艮卩，氟树脂的C-F键能是539kJ/mo1，因此，即使受至lj240280nm的波长范围的紫外线的照射也不成为障碍，但被暴露在220nm以下波长范围的紫外线下时，则氟成分从构成导线3的氟树脂中分解。可以认为该氟与周围的湿气反应，从而生成有害的氟化氢或氢氟酸。当生成该氟化氢或氢氟酸时，存在如下问题与透光管2的构成材料的石英玻璃反应而在透光管2上产生白浊(发白)，在该白浊的作用下，对被处理物的照射光量降低，从而处理效率下降。另外，氟化氢或氢氟酸对人体有害，因此还存在使工作环境恶化这样的问题。因此，提出了如下结构的紫外线照射处理装置作为放电灯的导线，使用没有绝缘包覆的非绝缘导线，只要对放电灯供电的供给电源未被切断，则不能从透光管拔出放电灯(例如，参照专利文献l)。但是，在专利文献l所述的构造的紫外线照射处理装置中，虽能新颖地制作该装置，然而存在的问题是在已设置的具有以往构造的装置的情况下，改装需要费用和时间。另外，也存在操作者难以操作使用了非绝缘导线作为导线的放电灯这样的问题。为了避免生成氟化氢或氢氟酸，也可以考虑例如使用非卤素系的聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺等高分子化合物和如云母那样的无机绝缘体作为构成导线的绝缘体(例如，参照专利文献2)。不过，这样的非卤素系的绝缘体与氟树脂相比，介电常数较高，因此存在的问题是容易增加泄漏电流。艮P，氟树脂的介电常数为2.1左右，而例如聚酰亚胺和聚酰胺-酰亚胺的介电常数为3.2以上，云母为7.0以上，大部分的卤素系的绝缘体的介电常数具有比氟树脂高的倾向。电介质的电容容量与介电常数成正比，因而如果介电常数较高，则对地间和逆电位间的电容容量就增大。因此，从^VXcoC(I是电流、V是电压、C是电容容量，"是常数，"-2兀f)的关系可知，经由电容而向地、或逆电位流动的泄漏电流容易增加。通常，在紫外线照射处理装置上搭载有多个放电灯、多个用于驱动20100kHz的高频来稳定地点亮这些放电灯的电子镇流器。电子镇流器附加了如下的各种功能点亮、熄灯、全光点亮、调光点亮等遥控操作、放电灯不亮时的点亮异常显示、电源操作盘内过热时的温度异常显示、进而为了预先地防止事故的扩大的保护电路等。这些功能用数mA级的微小电流信号操纵，泄漏电流的增大即使非6常微小，也有可能引起电子镇流器的误动作，因此，使用聚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺或云母等高介电常数材料作为导线的绝缘体未必是最好的方法。专利文献l:日本特开2002-282851号公报专利文献2:日本特开2007-220549号公报
发明内容本发明的目的在于提供一种短波长紫外线放电灯和使用了该短波长紫外线放电灯的紫外线照射处理装置，其中在放射包含220nm以下波长范围的紫外线的短波长紫外线放电灯中，可以防止被处理物的处理效率的降低，对人体是安全的且运转操作的可靠性优良。本发明涉及一种短波长紫外线放电灯，其构成为在石英玻璃管的两端具有互相对置的一对电极，在该石英玻璃管内封入有至少在220nm以下波长范围发光的物质，沿着所述石英玻璃管的外壁将与一侧的所述电极电连接的导线引导到另一侧，在与电连接于另一侧的所述电极的导线相同的一侧与供给电源连接，所述短波长紫外线放电灯的特征在于沿着所述石英玻璃管的外壁被引导到另一电极附近的导线在由氟树脂绝缘体包覆的绝缘导体上具有金属制的外装构件。艮P，该短波长紫外线放电灯是放射包含220nm以下波长范围的紫外线的单灯头型的放电灯，具有沿着石英玻璃管的外壁延伸的导线。该导线在由氟树脂绝缘体包覆导线的绝缘导体上具有金属制的外装构件。利用该金属制的外装构件，即使包覆导线的绝缘体由氟树脂绝缘体构成，也由于在该绝缘体上设有金属制的外装构件，因而在由放电灯照射220nm以下的紫外线的情况下，氟树脂并不会直接暴露在紫外线下。这样，本发明的短波长紫外线放电灯由于导线的绝缘体的氟树脂并不直接暴露在紫外线下，所以能防止氟化氢或氢氟酸的产生。因此，本发明的短波长紫外线放电灯对人体是安全的，进而这些氟化氢或氢氟酸不会与构成透光管的石英玻璃反应而在透光管上产生白浊，从而能够防止对被处理物的照射光量的降低。另外，由于使用介电常数低的氟树脂作为导线的绝缘体，因而能够抑制泄漏电流的产生，能防止用于使放电灯点亮的电子镇流器的误动作，从而使运转操作的可靠性得以提高。作为本发明的短波长紫外线放电灯的由上述氟树脂绝缘体所包覆的绝缘导体，例如可以例示出利用氟树脂的挤出成形、管状包覆或带巻绕的方法包覆在导体上而形成的绝缘导体。在这些绝缘导体中，能以低成本容易地将氟树脂绝缘体包覆在导体上。另外，作为本发明的短波长紫外线放电灯的上述金属制的外装构件，例如可以例示出不锈钢、铝、铝合金、镍或镍合金等。这些金属的耐热性、耐紫外线性优良，耐氧化性优异，由这些金属制作的外装构件的耐久性优良。另外，本发明的短波长紫外线放电灯的外装构件是通过这些金属的蒸镀、管状包覆、带巻绕、纤维编织的方法或将这些方法加以组合而设置在上述绝缘导体上的。这些外装构件能以低成本容易地设置在绝缘导体上。另外，本发明的短波长紫外线放电灯的特征在于沿着上述石英玻璃管的外壁将与一侧的上述电极电连接的导线引导到另一侧，将该导线所引导的末端与电连接于上述另一侧电极的导线的末端收纳在成为一体的灯头中。该短波长紫外线放电灯容易与供给电源进行拆装，操作很方便。本发明的紫外线照射处理装置是将这些短波长紫外线放电灯内插于至少在220nm以下波长范围具有透光性的透光管中而构成的。根据该紫外线照射处理装置，经由透光管的壁将从短波长紫外线放电灯所放射的紫外线照射到被处理物上，由此例如可以用于水中有机物的分解反应处理。另外，本发明还涉及一种紫外线照射处理装置，其构成为将两灯头型的短波长紫外线放电灯内插于至少在220nm以下波长范围具有透光性的透光管中，该两灯头型的短波长紫外线放电灯在石英玻璃管对电极，且在该石英玻璃管内封入有至少在220nm以下波长范围发光的物质，所述紫外线照射处理装置的特征在于其构成是将金属制的外装构件设置在绝缘导体上，所述绝缘导体是由氟树脂绝缘体包覆经由与所述短波长紫外线放电灯的一侧的灯头嵌合的灯座进行电连接的导线而成的，其中，将该导线沿着所述短波长紫外线放电灯的外壁引导到另一侧，在与另一侧的灯头嵌合的灯座相同的一侧与用于点亮短波长紫外线放电灯的供给电源连接。艮口，本发明的紫外线照射处理装置将放射包括220nm以下波长范围的紫外线的双灯头型的短波长紫外线放电灯内插于在220nm以下波长范围具有透光性的透光管中，为了使维护变得容易而可以在一侧将该放电灯与供给电源连接，为此具有在透光管内延伸的导线。该导线在导线由氟树脂绝缘体包覆的绝缘导体上设有金属制的外装构件。由此，即使包覆导线的绝缘体由氟树脂构成，氟树脂也不会直接暴露在紫外线下。因此，能够防止氟化氢或氢氟酸的产生，因而对人体是安全的，而且也不会在构成透光性的石英玻璃上产生白浊，所以能够防止对被处理物的照射光量的降低。再者，由于使用介电常数低的氟树脂作为绝缘体，因而能够抑制泄漏电流的发生，故而能够防止用于使放电灯点亮的电子镇流器的误动作，从而能够谋求运转操作可靠性的提高。作为本发明的紫外线照射处理装置的由上述氟树脂绝缘体包覆的绝缘导体，例如可以例示出利用氟树脂的挤出成形、管状包覆或带巻绕的方法包覆在导体上而形成的绝缘导体。由此，能以低成本容易地将氟树脂绝缘体包覆在导体上。另外，作为本发明的紫外线照射处理装置的上述金属制的外装构件，例如可以例示出不锈钢、铝、铝合金、镍或镍合金等。这些金属的耐热性、耐紫外线性优良，耐氧化性优异，由这些金属制作的外装构件的耐久性优良。另外，本发明的紫外线照射处理装置的导线的外装构件是通过这些金属的蒸镀、管状包覆、带巻绕、纤维编织的方法或将这些方法加以组合而设置在上述绝缘导线上。这些外装构件能以低成本容易地设置在绝缘导线上。9根据本发明，能提供一种可以防止被处理物的处理效率的降低、对人体是安全的、且运转操作的可靠性优良的短波长紫外线放电灯和使用了该短波长紫外线放电灯的紫外线照射处理装置。图l是示意性地表示本发明的一实施方式的短波长紫外线放电灯的结构的剖视图。图2是示意性地表示用于图1所示的放电灯的导线的结构的剖视图。图3是示意性地表示图1所示的放电灯的变形例的剖视图。图4是示意性地表示本发明的一实施方式的紫外线照射处理装置的结构的剖视图。图5是示意性地表示用于本发明的实施例的试验用紫外线照射处理装置的结构的剖视图。图6是示意性地表示用于比较例的试验用导线的结构的剖视图。图7是示意性地表示以往的紫外线照射处理装置的结构的剖视图。符号说明1、筒体3、60、导线5、被处理水7a、7b、7c、7d、法兰盘21、导体23a、23b、外装构件32a、32b、灯丝34a、34b、34c、34d、钼箔36、罩38、50a、50b、灯座200、紫外线照射处理装置2、透光管4、100、100A、放电灯6a、6b、6c、6d、回流板10a、10b、供电管脚22、氟树脂绝缘体31、管体33a、33b、33c、33d、内部导线35a、35b、35c、35d、外部导线37、37a、37b、灯头70、橡胶罩具体实施例方式以下就本发明的实施方式进行说明，但本发明并不局限于此。图l是示意性地表示本发明的一实施方式的短波长紫外线放电灯的结构的剖视图。此外，对与上述图7所示的放电灯相同的构成部分标上相同的符号而简化或省略其说明。放电灯100具有管体31，该管体31是由从220nm以下波长范围到长波长范围具有透过性的外径15mm、全长1.6m的石英玻璃构成的。使管内径、放电电流和电位倾斜度的关系匹配的放电灯100是高效率且高输出型的。在管体31的两端以大约1.5m的间隔对置地配置有一对灯丝(电极)32a、32b。一对灯丝32a、32b分别卡止在内部导线33a、33b、33c、33d上，经由钼箔34a、34b、34c、34d和外部导线35a、35b、35c、35d而被保持在管体31内，并且被电导出至管体31的外部。另外，在管体31内封入有适量的水银和稀有气体。另外，放电灯100在一侧具有用于保护管端部的陶瓷制的罩36，在另一侧具有作为导电部的具有供电管脚10a、10b的陶瓷制的灯头37。导线60的一端被压接连接在与一侧的灯丝32b电连接的外部导线35c上，沿着管体31的外壁被引导到另一侧的灯丝32a附近，导线60的另一端在灯头37中通过软钎焊焊接在供电管脚10b上。灯丝32a的外部导线35b也在灯头37内通过软钎焊焊接在供电管脚10a上，构成所谓的单灯头型放电灯的形态。如图2所示，导线60是如下形成的用由FEP(四氟乙烯-六氟丙烯共聚物)的挤出成形所制作的氟树脂绝缘体22对由截面积约为0.6mn^的铜制的股线导线构成的导体21进行绝缘而得到绝缘导体，在该绝缘导体上将厚度为150ixm、宽度为8mm的铝制带巻绕成螺旋状作为外装构件23a，进而在该带上编织外径为500um的铝纤维作为外装构件23b。在此，利用FEP的挤出成形，将氟树脂绝缘体22包覆在由股线导线构成的导体21上而进行绝缘，但是除此以外，例如也可以利用管状包覆、带巻绕来进行包覆。另外，作为氟树脂绝缘体22，除了上述的FEP以外，例如也能使用ETFE、PFA、PTFE等公知的氟树脂。另外，作为外装构件23a、23b的材质，使用了铝，但除此以外，只要是耐热性、耐紫外线特性优良且难以氧化的金属，就没有特别的限定，例如优选的是不锈钢、铝、铝合金、镍或镍合金。将该放电灯100内插于在220nm以下波长范围具有透光性的公知的石英玻璃制的透光管(未图示)中而构成紫外线照射处理装置，当经由预定的电子镇流器(未图示)例如以1A的放电电流点亮时，则相当于放电灯100的电力的大约5。/。的7.5W被作为185nm的紫外线能量而放射，该紫外线的一部分也照射到沿着管体31的外壁延伸的导线60上。此时，作为外装构件23a、23b，在由FEP构成的氟树脂绝缘体22上将铝制的带巻绕成螺旋状，进而在带上编织了铝纤维，所以紫外线不会直接照射到氟树脂绝缘体22上。因此，能防止从导线60产生有害的氟化氢或氢氟酸，因而这些氟化氢或氢氟酸也不会与构成透光管的石英玻璃反应而在透光管上产生白浊，能防止对被处理物的照射光量的降低。另外，在导线60中，作为包覆由铜制的股线导线构成的导体21的氟树脂绝缘体22，由于使用介电常数低的例如FEP等氟树脂，因而难以发生泄漏电流，从而能够防止电子镇流器的误动作。在此，准备数百支放电灯IOO，将这些放电灯100内插于公知的透光管中而使紫外线照射处理装置运转，结果没有特别的不良情况而发挥出完满的性能。另外，已经确认该紫外线照射处理装置在使用了l年之后，在更换放电灯100时，安全、环境、健康方面当然不用说，而且在更换、处理、废弃作业之际都没有任何障碍。因此，根据本实施方式，沿着放电灯100的管体31外壁延伸的导线60的构成是在由FEP构成的氟树脂绝缘体22上将铝制的带巻绕成螺旋状、进而在该带上编织铝纤维作为外装构件23a、23b，因此，即使从放电灯100放射220nm以下的紫外线，也能防止有害的氟化氢或氢氟酸的产生，从而对人体是安全的。另外，这些氟化氢或氢氟酸不会与构成透光管的石英玻璃反应而在透光管上产生白浊，从而能够防止对被处理物的照射光量的降低。另外，使用介电常数低的氟树脂作为包覆由股线导线构成的导体21的氟树脂绝缘体22，因而能够防止电子镇流器的误动作，从而能够谋求运转操作可靠性的提高。此外，在本实施方式中，使用形态如图l所示的、与对置的电极32a、32b连接的供电管脚10a、10b被收纳在灯头37内的单灯头型放电灯，就放电灯100和紫外线照射处理装置进行了说明，但本发明并不局限于此。例如，也可以是形态如图3所示的、将导线60引出到管体31的前方、12与供给电源连接器连接的放电灯100A。接着，使用图4就本发明的一实施方式的紫外线照射处理装置进行说明。图4是仅示意性地表示适用双灯头型放电灯的紫外线照射处理装置的结构的放电灯和透光管的部分的剖视图。本实施方式为双灯头型放电灯，这一点与图l、图3所示的放电灯不同。此外，对与图1和图3所示的放电灯相同的构成部分标上相同的符号而简化或省略其说明。紫外线照射处理装置200是将放电灯100B内插于在220nm以下波长范围具有透光性的透光管2中而构成的。放电灯100B是放射包含220nm以下波长范围的紫外线的双灯头型放电灯。其结构是在分别与放电灯100B的两端的电极32a、32b电连接的灯头37a、37b上嵌合有灯座50a、50b，与灯座50b连接的导线60在透光管2内被延伸到灯座50a侧，在灯座50a侧可以拆装与用于点亮上述放电灯100B的供给电源的连接。此外，导线60如上所述，与图l、图2、图3所示的导线相同。在适用这样的两灯头型放电灯100B的紫外线照射处理装置200中，导线60(参照图2)的构成也是在由氟树脂绝缘体22包覆导体21所得到的绝缘导体上，将铝制的带巻绕成螺旋状、进而编织铝纤维作为外装构件23a、23b，因此，即使从放电灯100B放射220nm以下的紫外线，紫外线也不会直接照射到氟树脂绝缘体22上。因此，能够防止从导线60产生有害的氟化氢或氢氟酸，因而对人体是安全的，再者，这些氟化氢或氢氟酸不会与构成透光管的石英玻璃反应而在透光管上产生白浊，可以防止对被处理物的照射光量的降低。另外，也难以发生泄漏电流，从而能够防止电子镇流器的误动作。(其它实施方式)另外，本发明不限于上述实施方式的记载内容，在不脱离本发明的主旨的范围内可以适当地进行变更。例如，本实施方式在导线60中，用氟树脂绝缘体22包覆的导体21由股线导线构成，但导体21的形态是任意的，例如也能使用单线、集线或编织线。另外，在本实施方式中，就具有使导线60与一对灯丝32a、32b各自的单侧连接、且设置了供电管脚10a、10b的灯头37的即时启动型的低压水银蒸气放电灯，即在管体31之外延伸的导线60为1根的情况进行了说明，但本发明并不局限于此。例如，也可以是一对灯丝32a、32b与导线60分别连接、使灯丝32a、32b预热之后再放电的预热型的低压水银蒸气放电灯，即在管体31之外延伸的导线60为多根。放电灯100的灯头37的形状也是任意的。另外，放电灯IOO、IOOA、IOOB除了上述水银蒸气放电灯以外，例如也能适用于准分子灯(excimerlamp)、氙灯等在220nm以下波长范围发光的光源。这种情况也能得到与本实施方式同样的效果。另外，在紫外线照射处理装置中，插入放电灯IOO、IOOA、100B的透光管2不限于在其两端具有开口部的形状，也可以是其一端被封闭的。另外，该装置不只限于横型，也可以是纵型。实验例接着，参照图5和图6就模拟本发明的紫外线照射处理装置的实验例进行说明。在该实验例中，通过实验确认了在图14所示的一实施方式的导线60中，由金属制的外装构件包覆氟树脂绝缘体是合适的。图5(a)是示意性地表示本实验所使用的试验用紫外线照射处理装置的结构的剖视图。图5(b)是在图5(a)的A-Aa剖切的剖视图。图6是示意性地表示比较例所使用的试验用导线的结构的剖视图。(实验例l)使用图5(a)、图5(b)所示的试验用紫外线照射处理装置，在预定期限进行试验用导线300的紫外线耐久性试验，其结果示于表l中。该试验用紫外线照射处理装置的构成是遍及两灯头型的低压水银蒸气放电灯100B的管体的大致全长，在其周围集束了12根相同的试验用导线300并以镍裸线(未图示)绑紧之后，将该低压水银蒸气放电灯100B插入到石英玻璃制的透光管2中，用橡胶罩70封闭透光管2的两端，该低压水银蒸气放电灯100B放射包含185nm的波长在内的紫外线，外径为15mm，全长为1.6m。此外，之所以相对于l支放电灯IOOB，将试验用导线300设定为12根，是因为可以加速从在管体之外延伸的试验用导线300产生氟化氢或氢氟酸，从而使由石英玻璃构成的透光管2的内表面发生白浊的现象。本实验例所使用的试验用导线300的构成为在图2所示的导线60中，作为导体21，使用截面积大约为0.6mn^的镀锡的铜；作为氟树脂绝缘体22(厚度为0.15mm)，使用ETFE;作为外装构件23a、23b，巻绕厚度20Pm的铝制带，并在该带上编织镀锡的铜纤维。(比较例l)作为试验用导线300，使用图6所示的、剥离出厚度为0.15mm的由FEP构成的氟树脂绝缘体22的导线，除此以外，与实验例l同样地进行，结果示于表l中。(比较例2)作为试验用导线300，使用图6所示的、剥离出厚度为0.15mm的由ETFE构成的氟树脂绝缘体22的导线，除此以外，与实验例l同样地进行，结果示于表l中。(比较例3)作为试验用导线300，所使用的导线是适用由厚度为0.25mm的PVC(聚氯乙烯树脂)构成的绝缘体以代替图6所示的氟树脂绝缘体22、并剥离出该绝缘体所得到的，除此以外，与实验例l同样地进行，结果示于表1中。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>从表1可知，在使用金属制的外装构件作为试验用导线300的实施例1中，导线300的外侧表面虽变为黑色，但透光管2的外观看不出变化，未产生白浊。一般认为导线300外侧表面的黑色是在通过185mn的紫外线和氧而生成的臭氧的作用下，编织在最外部的镀锡的铜纤维中的锡生成了锡氧化物。在对被处理物照射紫外线的情况下，该锡氧化物不会成为任何障碍。因此，实验例l所用的使用了金属制的外装构件的导线300也能优选作为图1所示的单灯头型放电灯的导线使用。另外，在比较例1的、剥离出由FEP构成的氟树脂绝缘体22的导线300(参照图6)中，在透光管2的内侧表面产生了白浊。如上所述，在对被处理物照射紫外线的情况下，该白浊导致紫外线照度的衰减。另外，成为白浊的主要原因的氟化氢或氢氟酸的产生对人体有害。因此，比较例1所使用的剥离出氟树脂绝缘体22的导线300不适合作为图1所示的单灯头型放电灯的导线。另外，在比较例2的、剥离出由耐紫外线特性优良的ETFE构成的氟树脂绝缘体22的导线300中，氟树脂劣化而失去绝缘性。再者，透光管2的内侧表面与使用了具有比较例1所示的FEP的导线的情况相比，白浊的程度很明显。因此，剥离出比较例2所使用的氟树脂绝缘体22的导线300不适合作为图1所示的单灯头型放电灯的导线。另外，在比较例3的、使用了由PVC构成的绝缘体的导线中，PVC发生劣化，由PVC包覆的导体露出。因此，剥离出比较例3所使用的PVC绝缘体的导线不适合作为图l所示的单灯头型放电灯的导线。因此，在导体被氟树脂绝缘体绝缘的绝缘导体上设有金属制的外装构件的导线作为在放射220nm以下的紫外线的放电灯的管体之外延伸的导线是优选的。权利要求1.一种短波长紫外线放电灯，其构成为在石英玻璃管的两端具有互相对置的一对电极，在该石英玻璃管内封入有至少在220nm以下波长范围发光的物质，沿着所述石英玻璃管的外壁将与一侧的所述电极电连接的导线引导到另一侧，在与电连接于另一侧的所述电极的导线相同的一侧与供给电源连接，所述短波长紫外线放电灯的特征在于沿着所述石英玻璃管的外壁被引导到另一电极附近的导线在由氟树脂绝缘体包覆的绝缘导体上具有金属制的外装构件。2.根据权利要求l所述的短波长紫外线放电灯，其特征在于所述由氟树脂绝缘体所包覆的绝缘导体是利用氟树脂的挤出成形、管状包覆或带巻绕的方法包覆在导体上而形成的。3.根据权利要求l所述的短波长紫外线放电灯，其特征在于所述金属制的外装构件由不锈钢、铝、铝合金、镍或镍合金制成。4.根据权利要求l所述的短波长紫外线放电灯，其特征在于所述金属制的外装构件是通过蒸镀、管状包覆、带巻绕、纤维编织的方法或将这些方法加以组合而设置在所述绝缘导体上的。5.—种短波长紫外线放电灯，其构成为在石英玻璃管的两端具有互相对置的一对电极，在该石英玻璃管内封入有至少在220nm以下波长范围发光的物质，沿着所述石英玻璃管的外壁将与一侧的所述电极电连接的导线引导到另一侧，将该导线被引导的末端与电连接于所述另一侧的电极的导线的末端收纳在成为一体的灯头内，该灯头以能够拆装的方式与供给电源连接，所述短波长紫外线放电灯的特征在于沿着所述石英玻璃管的外壁被引导到另一电极附近的导线在由氟树脂绝缘体包覆的绝缘导体上具有金属制的外装构件。6.根据权利要求5所述的短波长紫外线放电灯，其特征在于所述由氟树脂绝缘体所包覆的绝缘导体是利用氟树脂的挤出成形、管状包覆或带巻绕的方法包覆在导体上而形成的。7.根据权利要求5所述的短波长紫外线放电灯，其特征在于所述金属制的外装构件由不锈钢、铝、铝合金、镍或镍合金制成。8.根据权利要求5所述的短波长紫外线放电灯，其特征在于所述金属制的外装构件是通过蒸镀、管状包覆、带巻绕、纤维编织的方法或将这些方法加以组合而设置在所述绝缘导体上的。9.一种紫外线照射处理装置，其特征在于其是将权利要求18的任一项所述的短波长紫外线放电灯内插于至少在220nm以下波长范围具有透光性的透光管中而成的。10.—种紫外线照射处理装置，其构成为将两灯头型的短波长紫外线放电灯内插于至少在220nm以下波长范围具有透光性的透光管中，该两灯头型的短波长紫外线放电灯在石英玻璃管的两端具有互相对置的一对电极，且在该石英玻璃管内封入有至少在220nm以下波长范围发光的物质，所述紫外线照射处理装置的特征在于其构成是将金属制的外装构件设置在绝缘导体上，所述绝缘导体是由氟树脂绝缘体包覆经由与所述短波长紫外线放电灯的一侧的灯头嵌合的灯座进行电连接的导线而成的，其中，将该导线沿着所述短波长紫外线放电灯的外壁引导到另一侧，在与另一侧的灯头嵌合的灯座相同的一侧与用于点亮所述短波长紫外线放电灯的供给电源连接。11.根据权利要求10所述的紫外线照射处理装置，其特征在于所述由氟树脂绝缘体所包覆的绝缘导体是利用氟树脂的挤出成形、管状包覆或带巻绕的方法包覆在导体上而形成的。12.根据权利要求10所述的紫外线照射处理装置，其特征在于所述金属制的外装构件由不锈钢、铝、铝合金、镍或镍合金制成。13.根据权利要求10所述的紫外线照射处理装置，其特征在于所述金属制的外装构件是通过蒸镀、管状包覆、带巻绕、纤维编织的方法或将这些方法加以组合而设置在所述绝缘导体上的。全文摘要本发明提供一种短波长紫外线放电灯和紫外线照射处理装置。本发明的目的在于在具有由氟树脂包覆的绝缘导体、且放射波长在220nm以下的紫外线的放电灯中，能够抑制对人体有害且成为放射光量减少的原因的氟化氢或氢氟酸的产生。本发明的放电灯具有石英玻璃管(31)、配置在其两端的一对电极(32a、32b)、沿着上述石英玻璃管的外壁延伸的导线(60)。上述导线是由金属制的外层构件包覆在由氟树脂构成的绝缘体所包覆的绝缘导体而形成的。紫外线虽照射到上述导线上，但紫外线不照射到氟树脂上，因此不会产生氟化氢或氢氟酸。文档编号C02F1/32GK101517695SQ20078003576公开日2009年8月26日申请日期2007年9月19日优先权日2006年9月26日发明者中野浩二,江村浩司,角谷祐公,辻中则子申请人:株式会社日本光电科技;栗田工业株式会社